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多晶硅表面制绒技术研究现状
被引量：
15
1
作者
周兆忠
吴喆
冯凯萍
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第9期55-61,67,共8页
光伏产业在新能源发展规划中占有重要地位,目前多晶硅太阳能电池已经成为太阳能电池市场主流。硅片表面绒面的质量对太阳能电池转换效率有重要影响,多晶硅表面制绒技术也越来越受到世界各国的重视。掌握多晶硅表面制绒技术的原理及特点...
光伏产业在新能源发展规划中占有重要地位,目前多晶硅太阳能电池已经成为太阳能电池市场主流。硅片表面绒面的质量对太阳能电池转换效率有重要影响,多晶硅表面制绒技术也越来越受到世界各国的重视。掌握多晶硅表面制绒技术的原理及特点对提高表面绒面质量十分重要。首先分析多晶硅表面制绒的技术要求,随后根据不同的技术原理,依次对干法制绒技术、湿法制绒技术以及掩膜制绒技术进行综述,详细分析不同制绒技术的技术特点并阐述其应用实例,随后从绒面质量、制绒效率、成本以及环保性等方面对多晶硅制绒技术进行评述,最后对多晶硅制绒技术的发展趋势进行预测。
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关键词
太阳能电池
多晶硅
表面制绒
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职称材料
单晶硅制绒中影响金字塔结构因素的分析
被引量：
28
2
作者
李海玲
赵雷
+2 位作者
刁宏伟
周春兰
王文静
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第4期857-861,共5页
本文通过不同碱性溶液及添加不同活性剂制备出的具有不同金字塔结构的绒面,并探讨了影响金字塔成核的因素。采用扫描电镜和紫外-可见分光光度计对绒面的金字塔结构和反射特性进行了分析,结果表明腐蚀速率与金字塔尺寸成正比,金字塔结构...
本文通过不同碱性溶液及添加不同活性剂制备出的具有不同金字塔结构的绒面,并探讨了影响金字塔成核的因素。采用扫描电镜和紫外-可见分光光度计对绒面的金字塔结构和反射特性进行了分析,结果表明腐蚀速率与金字塔尺寸成正比,金字塔结构影响绒面减反特性。最后对造成金字塔结构差异的原因和金字塔成核过程进行了分析。
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关键词
单晶硅
表面制绒
腐蚀速率
成核与生长
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职称材料
基于负性光刻胶掩膜的湿法多晶硅制绒
被引量：
1
3
作者
丁彬
程现铁
+1 位作者
徐国庆
张宏
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第7期1748-1753,共6页
提出了一种用于大规模多晶硅太阳能电池生产的制绒工艺,采用负性光刻胶作为湿法刻蚀的掩膜,制备蜂巢状低反射率绒面。通过研究氢氟酸/硝酸溶液中各向同性刻蚀时腐蚀坑的形成过程,发现随着刻蚀时间的增加,在掩膜图形的开孔下逐渐形成六...
提出了一种用于大规模多晶硅太阳能电池生产的制绒工艺,采用负性光刻胶作为湿法刻蚀的掩膜,制备蜂巢状低反射率绒面。通过研究氢氟酸/硝酸溶液中各向同性刻蚀时腐蚀坑的形成过程,发现随着刻蚀时间的增加,在掩膜图形的开孔下逐渐形成六方分布的球面形状的腐蚀坑,腐蚀坑的深径比(深度/开孔直径)出现先上升然后下降的趋势。同理论计算值对比发现,随着刻蚀时间增加,掩膜和硅片的附着紧密性及掩膜的阻挡效应降低,酸液可能渗入了掩膜和硅片的界面,横向刻蚀速度快速上升,降低了深径比,导致实际的反射率高于理论计算值。尽管如此,本文还是成功制备了孔径15微米的蜂巢状绒面,反射率达到了22.9%。
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关键词
多晶硅太阳能电池
表面制绒
湿法刻蚀
光刻法
负性光刻胶
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职称材料
题名
多晶硅表面制绒技术研究现状
被引量：
15
1
作者
周兆忠
吴喆
冯凯萍
机构
衢州学院机械工程学院
合肥工业大学宣城校区机械工程系
出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第9期55-61,67,共8页
基金
国家自然科学基金(51275272)
衢州市科技计划项目(20121041)
中央高校基本科研业务费专项资金(JZ2014HGBZ0366)
文摘
光伏产业在新能源发展规划中占有重要地位,目前多晶硅太阳能电池已经成为太阳能电池市场主流。硅片表面绒面的质量对太阳能电池转换效率有重要影响,多晶硅表面制绒技术也越来越受到世界各国的重视。掌握多晶硅表面制绒技术的原理及特点对提高表面绒面质量十分重要。首先分析多晶硅表面制绒的技术要求,随后根据不同的技术原理,依次对干法制绒技术、湿法制绒技术以及掩膜制绒技术进行综述,详细分析不同制绒技术的技术特点并阐述其应用实例,随后从绒面质量、制绒效率、成本以及环保性等方面对多晶硅制绒技术进行评述,最后对多晶硅制绒技术的发展趋势进行预测。
关键词
太阳能电池
多晶硅
表面制绒
Keywords
solar cell, multicrystalline silicon, surface texturing
分类号
TB305 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
单晶硅制绒中影响金字塔结构因素的分析
被引量：
28
2
作者
李海玲
赵雷
刁宏伟
周春兰
王文静
机构
中国科学院电工研究所太阳能电池组太阳能热利用及光伏系统重点实验室
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第4期857-861,共5页
基金
中国科学院知识创新工程重要方向项目(KGCX2-YW-382)
文摘
本文通过不同碱性溶液及添加不同活性剂制备出的具有不同金字塔结构的绒面,并探讨了影响金字塔成核的因素。采用扫描电镜和紫外-可见分光光度计对绒面的金字塔结构和反射特性进行了分析,结果表明腐蚀速率与金字塔尺寸成正比,金字塔结构影响绒面减反特性。最后对造成金字塔结构差异的原因和金字塔成核过程进行了分析。
关键词
单晶硅
表面制绒
腐蚀速率
成核与生长
Keywords
mono-crystalline
texturing
etching rate
nucleation and growth
分类号
O649 [理学—物理化学]
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职称材料
题名
基于负性光刻胶掩膜的湿法多晶硅制绒
被引量：
1
3
作者
丁彬
程现铁
徐国庆
张宏
机构
西安交通大学电气工程学院电力设备电气绝缘国家重点实验室
西安交通大学苏州研究院
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第7期1748-1753,共6页
基金
江苏省自然科学基金(BK20141215)
文摘
提出了一种用于大规模多晶硅太阳能电池生产的制绒工艺,采用负性光刻胶作为湿法刻蚀的掩膜,制备蜂巢状低反射率绒面。通过研究氢氟酸/硝酸溶液中各向同性刻蚀时腐蚀坑的形成过程,发现随着刻蚀时间的增加,在掩膜图形的开孔下逐渐形成六方分布的球面形状的腐蚀坑,腐蚀坑的深径比(深度/开孔直径)出现先上升然后下降的趋势。同理论计算值对比发现,随着刻蚀时间增加,掩膜和硅片的附着紧密性及掩膜的阻挡效应降低,酸液可能渗入了掩膜和硅片的界面,横向刻蚀速度快速上升,降低了深径比,导致实际的反射率高于理论计算值。尽管如此,本文还是成功制备了孔径15微米的蜂巢状绒面,反射率达到了22.9%。
关键词
多晶硅太阳能电池
表面制绒
湿法刻蚀
光刻法
负性光刻胶
Keywords
polycrystalline silicon solar cell
surface texturization
wet etching
photolithography
negative photoresist
分类号
TM914.4 [电气工程—电力电子与电力传动]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
多晶硅表面制绒技术研究现状
周兆忠
吴喆
冯凯萍
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
15
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
单晶硅制绒中影响金字塔结构因素的分析
李海玲
赵雷
刁宏伟
周春兰
王文静
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
28
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
基于负性光刻胶掩膜的湿法多晶硅制绒
丁彬
程现铁
徐国庆
张宏
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
1
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