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串联双微环谐振腔系统的相干特性研究
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作者 申恒瑞 曹凤才 +1 位作者 岳凤英 李玲 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2019年第5期108-112,共5页
为研究硅基光波导中耦合诱导透明和光学 Fano 共振效应,设计并加工了一种串联双环谐振腔结构。通过高温退火表面光滑化处理,使得波导粗糙度降低为 0.545nm,实验中利用垂直光栅耦合法对结构进行测试,测试结果表明:当两环半径相等时,由于... 为研究硅基光波导中耦合诱导透明和光学 Fano 共振效应,设计并加工了一种串联双环谐振腔结构。通过高温退火表面光滑化处理,使得波导粗糙度降低为 0.545nm,实验中利用垂直光栅耦合法对结构进行测试,测试结果表明:当两环半径相等时,由于相消干涉,产生 CRIT 效应;当两环半径不相等时,产生谐振分离现象。同时与传统的单环谐振腔结构相比,串联双环谐振腔结构半高全宽(FWHM)增强了3倍,并且降落端口消光比增加了20dB。 展开更多
关键词 硅基光波导 微环谐振腔 耦合诱导透明 表面光滑化处理 集成光学
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