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题名用Zernike多项式实现光机分析的技术方法
被引量：13
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作者
李福
阮萍
马小龙
赵葆常
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机构
中国科学院西安光学精密机械研究所
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出处
《应用光学》
CAS
CSCD
2007年第1期38-42,共5页
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基金
国家高技术863基金资助(2003AA782032)
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文摘
由于光学软件不能直接利用有限元分析的结果,而Zern ike多项式的各项与光学像差有对应关系,因此常用Zern ike多项式作为光机接口。针对目前常用轴向位移作为拟合量描述拟合面形的不足,给出了几种常用的表面位移校正方法并说明了其优缺点。用具体实例比较各校正位移,并对其进行Zern ike多项式拟合,从拟合系数的差异可以看出,曲率比较大的表面必须采用校正位移进行拟合。最后指出:在不知道初始表面方程的情况下,轴向和法向校正位移均采用从初始表面出发的方法,如果已知初始表面方程,则轴向校正位移采用从变形表面出发的方法,法向校正位移仍采用从初始表面点出发进行计算。
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关键词
光机分析
表面位移校正
有限元分析
ZERNIKE多项式
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Keywords
optomechanical analysis
corrected surface displacement
finite element analysis
Zernike polynomials
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分类号
O439
[机械工程—光学工程]
TH744
[机械工程—光学工程]
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