基于MATLAB数值仿真的球头立铣刀加工表面三维形貌预测 被引量：1

1

作者 李玉炜 江安娜 +1 位作者 路冬 言兰 《工具技术》 北大核心 2022年第12期107-112,共6页

球头立铣刀在加工过程中和工件表面近似于点接触,因此在复杂曲面零件加工中有显著优势,但是由于球头立铣刀和工件表面的接触点变动范围大,容易造成表面微观形貌的不可控。鉴于表面形貌会对零件的使用性能产生一定影响,而进给量、切削宽... 球头立铣刀在加工过程中和工件表面近似于点接触,因此在复杂曲面零件加工中有显著优势,但是由于球头立铣刀和工件表面的接触点变动范围大,容易造成表面微观形貌的不可控。鉴于表面形貌会对零件的使用性能产生一定影响,而进给量、切削宽度、切削深度、刀具倾角以及球头半径等切削参数是影响球头立铣刀铣削加工过程中工件表面形貌的主要因素。基于经验公式和运动学原理对球头刀具铣削过程进行综合分析,并借助MATLAB软件仿真得到三维表面形貌。分析发现,进给量、切削宽度、刀具倾角以及球头半径对工件表面残留高度的影响较大,其中,进给量对进给方向的表面残留高度影响较大,切削宽度对切宽方向的表面残留高度影响较大。 展开更多

关键词 球头立铣刀 表面三维形貌 数值仿真

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超精密加工的三维表面形貌预测 被引量：20

2

作者 李荣彬 张志辉 李建广 《中国机械工程》 CAS CSCD 北大核心 2000年第8期845-848,共4页

描述并建立了仿真超精密加工的三维表面形貌模型。三维表面形貌模型由切削参数、刀具几何形状及刀具与工件的相对运动来表征 ,通过将预测的表面粗糙度轮廓线性映射到网格面元上来生成已加工表面的形貌。实际的加工和测量实验表明 ,仿真... 描述并建立了仿真超精密加工的三维表面形貌模型。三维表面形貌模型由切削参数、刀具几何形状及刀具与工件的相对运动来表征 ,通过将预测的表面粗糙度轮廓线性映射到网格面元上来生成已加工表面的形貌。实际的加工和测量实验表明 ,仿真的三维表面形貌和由激光干涉形貌仪测量得到的三维形貌具有很好的相似性。该模型可用来确定如刀具切削运动的迹线、表面波度等表面特征。 展开更多

关键词 建模 仿真 超精密加工 三维表面形貌预测

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套管磨损三维表面形貌恢复及其机理分析 被引量：6

3

作者 于会媛 张来斌 +4 位作者 樊建春 温东 陈强 郑文培 储胜利 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期477-481,共5页

在DCWT-1000型套管摩擦磨损试验机上进行了套管摩擦磨损试验,研究深井、超深井中"冲击-滑动"复合磨损对套管磨损行为的影响,采用三维表面形貌测试仪、光学显微镜及扫描电子显微镜观察分析了在不同载荷条件下套管磨损表面的微... 在DCWT-1000型套管摩擦磨损试验机上进行了套管摩擦磨损试验,研究深井、超深井中"冲击-滑动"复合磨损对套管磨损行为的影响,采用三维表面形貌测试仪、光学显微镜及扫描电子显微镜观察分析了在不同载荷条件下套管磨损表面的微观结构和表面形貌,在此基础上对套管磨损表面进行了三维恢复并计算套管磨损表面的主要形貌参数,探讨了套管磨损表面的磨损机理.结果表明:套管的磨损性能与载荷有关;在不同载荷条件下,套管磨损表面的三维形貌具有不同特点,且主要的表面形貌参数与载荷呈现出较好的相关性,证明了三维形貌分析方法能够真实反映套管磨损表面的情况;当冲击载荷和频率不大时,套管的磨损机制以磨粒磨损为主,兼有粘着磨损,随着冲击载荷和频率增加,套管磨损表面出现明显粘着剥落和疲劳剥落迹象,并出现疲劳裂纹扩展和连通,套管的磨损机制向粘着磨损和疲劳磨损转化,磨损趋向严重. 展开更多

关键词 三维表面形貌 磨损性能 评定参数 磨损机理

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超精密光学镜片三维表面形貌参数评定方法研究 被引量：8

4

作者 吴乙万 任志英 +2 位作者 高诚辉 林建兴 江伟 《计量学报》 CSCD 北大核心 2017年第4期410-415,共6页

分析了当前超精密光学镜片表面评定方法及其存在的不足,提出引用ISO 25178-2中规范的部分表面3D参数来表征精密光学镜片三维表面,找出光学镜片表面形貌与对应的光学性能存在的关系,并实现ISO对超精密光学镜片三维表面的评定。仿真实验表... 分析了当前超精密光学镜片表面评定方法及其存在的不足,提出引用ISO 25178-2中规范的部分表面3D参数来表征精密光学镜片三维表面,找出光学镜片表面形貌与对应的光学性能存在的关系,并实现ISO对超精密光学镜片三维表面的评定。仿真实验表明:当光学镜片表面的高度服从高斯分布时,其评价光学系统性能的传递函数随着均方值的减小而增大。用实例说明ISO的部分三维参数对光学镜片三维表面可以很好地区分,利用新的综合评价方法评定光学镜片表面形貌具有一定的可行性。 展开更多

关键词 计量学 光学镜片 三维表面形貌 参数评定 ISO 25178-2 传递蛹数

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基于形态变换的三维表面形貌方向特性研究 被引量：1

5

作者 刘小君 刘焜 +2 位作者 王伟 田杰 桂长林 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第23期2138-2141,共4页

针对面向功能的三维表面形貌表征存在的问题,基于灰值形态学的基本运算构造了边缘检测形态算法,有效地提取了三维形貌的形态学边缘,实现了三维形貌的纹理方向特征的提取,获得了表征纹理方向特性的表征参数。该方法不仅适用于直线纹理,... 针对面向功能的三维表面形貌表征存在的问题,基于灰值形态学的基本运算构造了边缘检测形态算法,有效地提取了三维形貌的形态学边缘,实现了三维形貌的纹理方向特征的提取,获得了表征纹理方向特性的表征参数。该方法不仅适用于直线纹理,而且也适用于曲线纹理,为分析表征三维形貌的各向异性特征提供了一个新的方法。把它引入到粗糙表面的润滑分析中,能够更确切地揭示出各向异性表面的纹理方向特性对润滑性能的影响规律。 展开更多

关键词 三维表面形貌 各向异性 灰值形态学 边缘检测 特征提取

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机械零件三维表面形貌测量与评定的研究 被引量：2

6

作者 杨旭东 李家春 谢铁邦 《机械设计与制造》 北大核心 2007年第8期102-104,共3页

介绍了机械零件三维表面形貌的测量与评定,分析了激光干涉式位移传感器的光学原理和干涉条纹信号的细分方法。激光干涉式位移传感器的精度达到了5nm左右。另外,带计量系统的二维工作台也是整个测量系统的关键部分。因为采用了光栅尺作... 介绍了机械零件三维表面形貌的测量与评定,分析了激光干涉式位移传感器的光学原理和干涉条纹信号的细分方法。激光干涉式位移传感器的精度达到了5nm左右。另外,带计量系统的二维工作台也是整个测量系统的关键部分。因为采用了光栅尺作为二维工作台的计量系统,所以在表面形貌的测量过程中二维工作台在X和Y两个水平方向上都能获得精确的定位。 展开更多

关键词 机械零件 三维表面形貌 测量与评定

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三维表面形貌的逾渗特性表征 被引量：4

7

作者 张彤 刘小君 +1 位作者 董磊 刘焜 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第12期2933-2942,共10页

为了建立表面形貌微观结构与其功能特性之间的关系,基于逾渗理论建立了表面形貌的逾渗模型,用逾渗概率、空体集团平均大小和空体集团分布系数对三维表面形貌的逾渗特性进行了量化表征。采用数字滤波技术生成具有给定自相关函数和纹理取... 为了建立表面形貌微观结构与其功能特性之间的关系,基于逾渗理论建立了表面形貌的逾渗模型,用逾渗概率、空体集团平均大小和空体集团分布系数对三维表面形貌的逾渗特性进行了量化表征。采用数字滤波技术生成具有给定自相关函数和纹理取向的数字化粗糙表面,分析了具有相同均方根粗糙度而结构不同的三维表面形貌的逾渗特性,给出了表面纹理方向参数和自相关长度对表面逾渗特性的影响,并借助部分三维形貌参数(ISO25178)建立了表面形貌与逾渗特性参数间的量化关系。结果表明:对于各向异性表面,沿横向搜索跨越空体集团,表面逾渗发生时的表面高度、逾渗阈值和逾渗体积均随着表面纹理方向参数的增大呈减小趋势,而空体集团分布系数呈增大趋势;沿纵向搜索时,其变化规律与横向相反。对于各向同性表面,逾渗发生时的表面高度和逾渗阈值随着表面自相关长度的增大呈先减小后小幅增大趋势,而逾渗体积和空体集团平均大小呈逐渐减小趋势。研究结果为面向功能的表面形貌设计提供了理论基础。 展开更多

关键词 三维表面形貌 逾渗 表征参数 逾渗体积

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基于三维表面形貌测定法的水切割木竹材工艺参数优化 被引量：7

8

作者 蒋瞻 黄俣劼 +2 位作者 谢文博 王正 方九金 《林产工业》 北大核心 2020年第3期54-57,共4页

为优化木竹材超高压水射流切割加工工艺参数,以红橡木和竹地板为对象,采用正交试验法,研究磨料流速、切割压力、进给速度、靶距对水射流加工试件表面粗糙度的影响,探索优化工艺参数。利用扫描探针式三维表面形貌测定法测量试件切割面的... 为优化木竹材超高压水射流切割加工工艺参数,以红橡木和竹地板为对象,采用正交试验法,研究磨料流速、切割压力、进给速度、靶距对水射流加工试件表面粗糙度的影响,探索优化工艺参数。利用扫描探针式三维表面形貌测定法测量试件切割面的表面粗糙度值,分析三维表面形貌图。结果表明:红橡木磨料射流的试验影响因素排序为CADB;竹地板磨料射流的试验影响因素排序为BCAD。红橡木和竹地板优化工艺参数为:进给速度为250 mm/s,磨料流速为35 kg/h,靶距3 mm,切割压力为310 MPa。在此加工工艺条件下切割材料表面粗糙度相对较小,加工所得材料品质较好。 展开更多

关键词 木材 竹材 超高压水射流 表面粗糙度 三维表面形貌测定法 工艺参数

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三维表面形貌测量系统中移动工作台的校准

9

作者 单忠臣 《现代科技译丛（哈尔滨）》 1996年第2期36-41,共6页

以丝杠步进电机驱动和无刷式线性电机驱动的工作台为例，考察它们用于三维表面形貌测量系统中时，工作台的位移、速度特性以及动态稳定性、丝杠误差、间隙和定位可重复性，对三维表面数据的记录和特征化表征产生的影响，从而评价了这两... 以丝杠步进电机驱动和无刷式线性电机驱动的工作台为例，考察它们用于三维表面形貌测量系统中时，工作台的位移、速度特性以及动态稳定性、丝杠误差、间隙和定位可重复性，对三维表面数据的记录和特征化表征产生的影响，从而评价了这两种三维形和于静态和动态的数据采集的适用性。 展开更多

关键词 工作台 校准 三维表面形貌 测量系统

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表面形貌对滑动接触界面摩擦行为的影响 被引量：35

10

作者 杨本杰 刘小君 +2 位作者 董磊 王伟 刘焜 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期553-560,共8页

为了研究表面形貌对拉延形成的滑动接触界面摩擦行为的影响,设计了一种新型的摩擦试验装置.在油润滑条件下,针对具有单向沟槽、规则圆形凹坑和随机表面的铝合金试样,以不同滑动速度与接触压力进行一系列摩擦试验.利用非接触式三维轮廓... 为了研究表面形貌对拉延形成的滑动接触界面摩擦行为的影响,设计了一种新型的摩擦试验装置.在油润滑条件下,针对具有单向沟槽、规则圆形凹坑和随机表面的铝合金试样,以不同滑动速度与接触压力进行一系列摩擦试验.利用非接触式三维轮廓仪测量出试验前后试样的三维表面形貌参数,并选取表面高度算术平均偏差Sa,表面支承指数Sbi,中心区空体体积Vvc和谷区空体体积Vvv来分析滑动接触界面表面形貌的变化规律.结果表明:规则圆形凹坑表面比单向沟槽表面和随机表面具有较低的摩擦系数;在相对低的接触压力下,3种表面的摩擦系数随着接触压力的增大而减小,但在高的接触压力下,3种表面的摩擦系数随着接触压力的增大而增大;在接触压力一定的情况下,3种表面的摩擦系数对滑动速度有显著依赖性;表面形貌、滑动速度和接触压力是影响滑动接触界面摩擦行为的重要因素. 展开更多

关键词 表面形貌 滑动接触 摩擦 三维表面形貌参数

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不同滑动干摩擦条件下钢/铁摩擦副的摩擦磨损性能与表面形貌特征研究 被引量：32

11

作者 张永振 朱均 +3 位作者 刘维民 陈跃 倪锋 铁喜顺 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期37-41,共5页

考察了不同滑动速度与接触压力条件下蠕墨铸铁的摩擦学性能及其三维表面形貌特征 .结果表明 :在与 40 Cr钢配副时 ,蠕墨铸铁的摩擦磨损性能与滑动速度和接触压力之积 (pv值 )呈现出良好的相关性 ;不同摩擦条件下的三维磨损表面形貌具有... 考察了不同滑动速度与接触压力条件下蠕墨铸铁的摩擦学性能及其三维表面形貌特征 .结果表明 :在与 40 Cr钢配副时 ,蠕墨铸铁的摩擦磨损性能与滑动速度和接触压力之积 (pv值 )呈现出良好的相关性 ;不同摩擦条件下的三维磨损表面形貌具有不同的特点 ,且主要表面形貌参数与 pv值之间呈现出较好的相关性 . 展开更多

关键词 蠕墨铸铁 滑动干摩擦 摩擦磨损性能 三维表面形貌

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轧辊表面脉冲激光三维微改形过程参数分析 被引量：10

12

作者 何云峰 都东 +2 位作者 刘莹 岁波 熊丽娟 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2003年第1期8-10,13,共4页

从研究和分析脉冲激光参数入手 ,提出了轧辊表面一种球冠状微凸新形貌的脉冲激光三维微改形 (毛化处理 )新机制 ,并最终成功获得了预先优化设计的新的三维微观形貌尺寸。在试验中 ,通过运用激光毛化新机制 ,对激光脉冲参数 (脉冲波形、... 从研究和分析脉冲激光参数入手 ,提出了轧辊表面一种球冠状微凸新形貌的脉冲激光三维微改形 (毛化处理 )新机制 ,并最终成功获得了预先优化设计的新的三维微观形貌尺寸。在试验中 ,通过运用激光毛化新机制 ,对激光脉冲参数 (脉冲波形、脉冲能量、脉冲宽度、离焦量等 )进行了分析研究和匹配 ,并获得了该新形貌及尺寸。另对脉冲激光参数与轧辊主要形貌参数的影响规律作了进一步的研究。结果表明 ,单脉冲能量的大小及其空间分布是形成球冠状微凸新形貌和尺寸的关键因素。 展开更多

关键词 轧辊 脉冲激光三维微改形 激光毛化 三维表面形貌 参数分析

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二维经验模态分解在工程表面形貌误差评定中的应用 被引量：8

13

作者 任志英 高诚辉 +2 位作者 罗德海 林有希 张世忠 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第2期425-432,共8页

针对目前表面微观形貌面形误差分离方法中存在边界畸变及自适应差等缺点,提出了将具有自适应时频分辨能力的二维经验模态分解算法(bidimensional empirical mode decomposition,BEMD)应用于三维工程表面面型误差分离中,同时用Riesz变换... 针对目前表面微观形貌面形误差分离方法中存在边界畸变及自适应差等缺点,提出了将具有自适应时频分辨能力的二维经验模态分解算法(bidimensional empirical mode decomposition,BEMD)应用于三维工程表面面型误差分离中,同时用Riesz变换构造单演信号,计算信号整体的频率特征,完成对二维经验模态分解算法的终止准则的改进,使其能严格按照ISO4287所规定的截止波长分离三维表面各频段形貌误差。仿真结果表明,本文新方法相比于国标ISO中高斯滤波以及常用小波滤波,在分离三维工程粗糙表面各面型误差时,所得分离图形效果远优于传统方法所得,且各频段误差对应的三维评定参数误差均小于5%。最后对光学镀膜元件实例进行分析,结果表明该算法能够很好地分离各形貌误差的的空间信息,所得参数评定基准面相对传统方法不存在边界畸变等问题,因此该方法在实际工程表面评定应用中具有可行性。 展开更多

关键词 二维经验模态分解 三维表面形貌 误差评定 终止准则 RIESZ变换

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TB6钛合金高速铣削表面粗糙度与表面形貌研究 被引量：20

14

作者 姚倡锋 武导侠 +1 位作者 靳淇超 杨振朝 《航空制造技术》 北大核心 2012年第21期90-93,97,共5页

TB6钛合金高速铣削以高效率、高质量的优点广泛应用于航空航天行业。面向高速铣削中表面粗糙度的工艺控制,通过高速端面铣削正交试验,研究并分析了高速铣削参数对表面粗糙度及三维表面形貌的影响。研究表明:表面粗糙度对每齿进给量变化... TB6钛合金高速铣削以高效率、高质量的优点广泛应用于航空航天行业。面向高速铣削中表面粗糙度的工艺控制,通过高速端面铣削正交试验,研究并分析了高速铣削参数对表面粗糙度及三维表面形貌的影响。研究表明:表面粗糙度对每齿进给量变化最为敏感,对铣削速度变化敏感次之,对铣削宽度的变化最不敏感;铣削速度优选范围为100～140m/min,每齿进给量优选范围为0.04～0.08mm/z,可保障表面粗糙度在0.7μm内;铣削速度和每齿进给量配比组合影响表面形貌的形成。 展开更多

关键词 TB6钛合金 高速铣削 表面粗糙度 三维表面形貌

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非下采样Contourlet变换在表面形貌评定中的应用 被引量：4

15

作者 炊明伟 冯有前 +2 位作者 王崴 李正朝 徐晓东 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第1期123-126,共4页

针对高斯滤波、小波滤波等方法在三维表面形貌分析中存在的不足,提出了一种基于非下采样Contourlet变换的三维表面形貌分析方法。该方法是先通过非下采样Contourlet分解变换,将三维表面形貌分解成不同尺度的子带;然后根据滤波截止波长,... 针对高斯滤波、小波滤波等方法在三维表面形貌分析中存在的不足,提出了一种基于非下采样Contourlet变换的三维表面形貌分析方法。该方法是先通过非下采样Contourlet分解变换,将三维表面形貌分解成不同尺度的子带;然后根据滤波截止波长,确定表面形貌不同成分所属的分解子带层数;最后通过非下采样Contourlet重构变换,重构表面形貌的不同成分。针对实际测量的三维表面形貌进行了分析,验证了该方法的有效性。 展开更多

关键词 三维表面形貌 非下采样CONTOURLET变换 表面评定

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基于激光共焦扫描显微镜方法的磨损表面三维数字化描述 被引量：6

16

作者 袁成清 严新平 彭中笑 《润滑与密封》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第12期33-36,共4页

表面形貌的精确描述在许多领域诸如材料、生物医学、摩擦学和机器状态监测等领域变得越来越重要。开发了一种基于激光共焦显微镜和图像处理技术的研究磨损表面及表面参数的新方法。首先用B io-rad Rad iance 2000激光共焦显微镜方法获... 表面形貌的精确描述在许多领域诸如材料、生物医学、摩擦学和机器状态监测等领域变得越来越重要。开发了一种基于激光共焦显微镜和图像处理技术的研究磨损表面及表面参数的新方法。首先用B io-rad Rad iance 2000激光共焦显微镜方法获得精确的三维表面形貌,然后用计算机辅助图像分析技术自动计算出表面特征参数。应用示例表明本文所研究的方法是可靠的,能对工程表面的表面粗糙度特征进行精确描述。 展开更多

关键词 磨损 三维表面形貌 激光共焦扫描显微镜

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改进中值滤波和最小二乘法在三维表面评定中的应用 被引量：2

17

作者 炊明伟 冯有前 +2 位作者 王崴 李正朝 徐晓东 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第6期118-121,共4页

为保证三维表面形貌评定的准确性,消除测量过程中产生的脉冲噪声和基准偏斜面的影响,提出了一种基于改进中值滤波和最小二乘法的三维表面形貌评定方法。该方法通过改进中值滤波去除表面形貌测量中产生的脉冲噪声,采用最小二乘法提取基... 为保证三维表面形貌评定的准确性,消除测量过程中产生的脉冲噪声和基准偏斜面的影响,提出了一种基于改进中值滤波和最小二乘法的三维表面形貌评定方法。该方法通过改进中值滤波去除表面形貌测量中产生的脉冲噪声,采用最小二乘法提取基准偏斜面,表面形貌去除脉冲噪声和测量基准偏斜面后得到评定表面形貌,在此基础上,通过高斯滤波法提取粗糙度表面,并计算表面形貌典型评定参数。实验结果表明,评定表面形貌的典型评定参数可更加准确地评定三维表面形貌。 展开更多

关键词 改进中值滤波 最小二乘法 三维表面形貌 表面评定

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三维表面粗糙度对18CrNiMo7-6钢旋转弯曲疲劳寿命的影响 被引量：8

18

作者 王栋 律谱 陈真真 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第11期283-289,共7页

目的探究固定载荷下三维表面粗糙度Sa对18CrNiMo7-6钢旋转弯曲疲劳寿命的影响。方法通过砂纸研磨制备不同表面粗糙度及纹理方向的18CrNiMo7-6钢旋转弯曲疲劳试样,测量所有试样的表面粗糙度参数Sa及三维表面形貌参数Sq、Sz、Ssk、Sku。... 目的探究固定载荷下三维表面粗糙度Sa对18CrNiMo7-6钢旋转弯曲疲劳寿命的影响。方法通过砂纸研磨制备不同表面粗糙度及纹理方向的18CrNiMo7-6钢旋转弯曲疲劳试样,测量所有试样的表面粗糙度参数Sa及三维表面形貌参数Sq、Sz、Ssk、Sku。对试样进行旋转弯曲疲劳试验,分析疲劳寿命。结果在相同或相近粗糙度的情况下,轴向纹理疲劳试样疲劳寿命大于周向纹理疲劳试样疲劳寿命。相同纹理方向的情况下,表面三维粗糙度Sa越低,试样疲劳寿命越高。试样疲劳寿命次数与表面粗糙度参数Sa及三维表面形貌参数Sq、Sz、Ssk、Sku均有明显的相关性。结论对于18CrNiMo7-6钢旋转弯曲疲劳试样,拥有平行于疲劳应力的机械加工纹理比垂直于疲劳应力的机械加工纹理具有更小的危害性。降低18CrNiMo7-6试样表面粗糙度,能够有效提高试样旋转弯曲疲劳寿命。纹理方向平行于疲劳应力方向的试样,表面偏斜度Ssk对零件疲劳寿命影响不明显。 展开更多

关键词 三维粗糙度 疲劳寿命 旋转弯曲疲劳 三维表面形貌特征 18CrNiMo7-6钢 纹理方向

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CMP加工后芯片三维形貌表征参数体系 被引量：2

19

作者 黄静飞 任志英 +1 位作者 罗德海 路纯红 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第6期716-725,共10页

针对当前化学机械抛光(chemical mechanical polishing,CMP)后的芯片表面形貌的表征常常只停留在研究二维轮廓特征,无法完整地表达整个三维表面形貌信息,仅使用单一的评定指标来表征其表面的不平整程度等问题,建立了1个科学、全面的芯... 针对当前化学机械抛光(chemical mechanical polishing,CMP)后的芯片表面形貌的表征常常只停留在研究二维轮廓特征,无法完整地表达整个三维表面形貌信息,仅使用单一的评定指标来表征其表面的不平整程度等问题,建立了1个科学、全面的芯片表面形貌评定参数体系应用于工程表面粗糙度评定中,通过分析芯片表面形貌的幅值分布特征,结合芯片表面的统计特性,基于ISO 25178-2标准表征参数建立适用于芯片表面三维评定的表征参数体系.仿真结果表明:CMP加工后芯片表面形貌的幅值近似服从高斯分布;分形维数D可以准确表征芯片表面形貌,反映其复杂程度;通过幅度参数、空间参数、混合参数和分形参数建立的芯片表面形貌评定体系能够从多方面表征芯片三维表面形貌特征,对芯片表面形貌参数评定具有一定的可行性. 展开更多

关键词 化学机械抛光 三维表面形貌 表征参数 ISO 25178-2 分形维数

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钠钙玻璃微磨削表面粗糙度与表面形貌

20

作者 温雪龙 王超 +1 位作者 巩亚东 程军 《东北大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期743-746,共4页

针对钠钙玻璃材料进行了一系列的微磨削实验研究,主要探讨了不同磨削因素对工件加工表面粗糙度和三维表面形貌的影响.根据微磨削加工的特点,在不同的加工条件下,分别用200#和500#两种磨粒微磨棒对钠钙玻璃材料进行三因素五水平正交试验... 针对钠钙玻璃材料进行了一系列的微磨削实验研究,主要探讨了不同磨削因素对工件加工表面粗糙度和三维表面形貌的影响.根据微磨削加工的特点,在不同的加工条件下,分别用200#和500#两种磨粒微磨棒对钠钙玻璃材料进行三因素五水平正交试验.通过分析加工后表面粗糙度和表面形貌的变化规律,找出影响加工质量的主要因素.研究结果表明:主轴转速与进给速度是影响表面粗糙度和三维表面形貌的主要因素,磨削深度对其影响不大,为今后提高微磨削加工的表面质量以及微磨削领域的深入研究提供了参考. 展开更多

关键词 微磨削 钠钙玻璃 表面粗糙度 三维表面形貌

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