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振动抛光在EBSD试样制备中的应用 被引量:6
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作者 郭明虎 林川 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第4期424-427,共4页
本文采用振动抛光制备EBSD试样,研究了振动幅度,加载重量和抛光时间3个变量对EBSD衍射花样质量的影响。试验结果表明,对于镍基高温合金来说,振幅对于抛光结果的影响最大,抛光时间的影响最小。
关键词 EBSD 振动抛光 衍射花样质量
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