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光纤相移点衍射干涉仪关键技术被引量：5: 1; 作者张宇金春水 +1 位作者马冬梅王丽萍《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2015年第1期254-259,共6页; 为了实现光学系统波像差的高精度检测,引入了改进的光纤相移点衍射干涉仪,介绍了其工作原理,并对干涉仪的关键部件包括激光光源及光纤的参数进行了选择和分析。经测试,激光光源功率稳定性约为1%(10 min),光斑尺寸在实现最佳耦合效率允... 展开更多; 关键词高精度检测光纤相移点衍射干涉仪光学系统波像差激光光源光纤; 在线阅读下载PDF 职称材料

双光纤相移点衍射干涉仪装调技术被引量：3: 2; 作者张宇金春水 +1 位作者马冬梅王丽萍《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2014年第1期145-150,共6页; 为了实现对极紫外光刻物镜系统波像差的超高精度检测,引入了双光纤相移点衍射干涉仪,介绍了其工作原理,并对干涉仪的装调方案进行了精密的设计。解决了各个元器件的精确定位问题,保证了进入光纤之前的测试光和参考光严格垂直,实现了耦... 展开更多; 关键词装调技术双光纤相移点衍射干涉仪光学系统波像差光学检测; 在线阅读下载PDF 职称材料

双光纤点衍射干涉投影系统误差校正及优化被引量：5: 3; 作者朱其幸王道档 +2 位作者卢毅伟孔明许新科《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2022年第3期347-354,共8页; 条纹投影测量技术为复杂曲面提供了一种大动态范围的非接触式三维形貌检测方式。在基于双光纤点衍射干涉的条纹投影检测系统中,系统结构参数对最终面形检测精度影响较大。通过建立系统结构几何分析模型,对系统结构参数进行了优化。针对... 展开更多; 关键词轮廓测量光纤点衍射干涉条纹投影几何误差校正复杂曲面; 在线阅读下载PDF 职称材料

大型衍射光栅刻划机拉杆结构的分析与改进被引量：5: 4; 作者糜小涛于宏柱 +4 位作者于海利姚雪峰宋楠冯树龙齐向东《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第3期745-752,共8页; 由于大型衍射光栅刻划机刻划系统的双拉杆结构不能使其满足精度指标要求,本文设计了一套单拉杆结构。讨论了石英导轨分度方向弯曲误差产生的原因及其减小该误差的方法,分析和比较了两种拉杆结构的鞍型滑块的受力情况。基于材料力学弯曲... 展开更多; 关键词光栅刻划机衍射光纤双拉杆结构单拉杆结构石英导轨; 在线阅读下载PDF 职称材料

点衍射干涉检测技术被引量：11: 5; 作者李瑶杨甬英 +2 位作者王晨陈元恺陈晓钰《中国光学》 EI CAS CSCD 2017年第4期391-414,共24页; 本文介绍了点衍射干涉仪不同发展阶段的特点和应用。点衍射干涉仪由波长量级的针孔产生高质量的球面波作为参考波前,能够得到衍射极限性能的分辨率。按照不同的光路特点,点衍射干涉仪可分为点衍射共路干涉和点衍射非共路干涉两种结构,... 展开更多; 关键词点衍射光纤点衍射针孔点衍射波前测量生物检测; 在线阅读下载PDF 职称材料

极紫外光刻物镜系统波像差检测技术研究被引量：7: 6; 作者张宇金春水 +1 位作者马冬梅王丽萍《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2012年第12期3384-3389,共6页; 为了实现对极紫外光刻物镜系统波像差的超高精度检测,引入了双光纤相移点衍射干涉仪,对其检测方案进行了优化设计,在相移系统和光程差调节系统中引入了特伦结构,并且对光纤端面进行了抛光镀膜处理。将影响干涉仪检测精度及波面重复精度... 展开更多; 关键词光学检测双光纤相移点衍射干涉仪精度分析波面重复精度; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名光纤相移点衍射干涉仪关键技术被引量：5: 1; 作者张宇金春水马冬梅王丽萍; 机构东北电力大学理学院中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室; 出处《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2015年第1期254-259,共6页; 基金东北电力大学博士科研启动基金(BSJXM-201218); 文摘为了实现光学系统波像差的高精度检测,引入了改进的光纤相移点衍射干涉仪,介绍了其工作原理,并对干涉仪的关键部件包括激光光源及光纤的参数进行了选择和分析。经测试,激光光源功率稳定性约为1%(10 min),光斑尺寸在实现最佳耦合效率允许范围内,光束位置稳定度约为6μm,相干长度为1 cm左右,都在测试精度允许范围内;选择了纤芯直径为3.5μm的单模不保偏光纤,对光纤端面镀半反半透金属膜,实现了较高的条纹对比度和光能利用率,并设计了波前参考源,方便了光纤端面的抛光、镀膜及装卡。最后,利用选择的部件搭建了光纤相移点衍射干涉仪实验装置,为最终能够实现光学系统波像差的高精度检测提供了前期的准备。; 关键词高精度检测光纤相移点衍射干涉仪光学系统波像差激光光源光纤; Keywords high accuracy test fiber phase-shifting point diffraction interferometer wavefront aberration of optical system laser source fiber; 分类号 O436.1 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名双光纤相移点衍射干涉仪装调技术被引量：3: 2; 作者张宇金春水马冬梅王丽萍; 机构东北电力大学理学院中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室; 出处《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2014年第1期145-150,共6页; 基金东北电力大学博士科研启动基金(BSJXM-201218); 文摘为了实现对极紫外光刻物镜系统波像差的超高精度检测,引入了双光纤相移点衍射干涉仪,介绍了其工作原理,并对干涉仪的装调方案进行了精密的设计。解决了各个元器件的精确定位问题,保证了进入光纤之前的测试光和参考光严格垂直,实现了耦合系统与光纤之间最大的耦合效率和干涉条纹最大的条纹对比度,为最终能够实现极紫外光刻物镜系统波像差的超高精度检测提供了前期准备。装调完毕后,利用实验装置对某一光学系统进行了测量,使用十三步相移算法还原被检光学系统波像差,得到了较好的结果,测试结果为:PV值为37.82 nm,RMS值为7.83 nm。; 关键词装调技术双光纤相移点衍射干涉仪光学系统波像差光学检测; Keywords alignment technology double-fiber phase-shifting point diffraction interferometer optical system wavefront aberration optical test; 分类号 TH744.3 [机械工程—光学工程] O436.1 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名双光纤点衍射干涉投影系统误差校正及优化被引量：5: 3; 作者朱其幸王道档卢毅伟孔明许新科; 机构中国计量大学计量测试工程学院浙江大学温州研究院; 出处《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2022年第3期347-354,共8页; 基金国家自然科学基金(51775528) 浙江省自然科学基金(LY21E050016,LY17E050014)。; 文摘条纹投影测量技术为复杂曲面提供了一种大动态范围的非接触式三维形貌检测方式。在基于双光纤点衍射干涉的条纹投影检测系统中,系统结构参数对最终面形检测精度影响较大。通过建立系统结构几何分析模型,对系统结构参数进行了优化。针对双光纤点衍射探头投射角标定误差的影响,传统基于零级亮条纹定位的投射端投射角标定方法由于临近级次条纹光强较为接近难以区分而导致存在较大误差,为此提出了一种基于基准平面的投射角迭代校正方法,在原标定方法的基础上进一步提高了其标定精度,进而有效提高了面形检测精度。为验证所提出方法的可行性,搭建实验系统对不同斜率动态范围的待测物测量比对,结果表明校正前后的测量系统与三坐标测量机的测量结果偏差从0.418 2 mm减小至0.021 1 mm,实现了微米级的检测精度,为各类复杂曲面的高精度检测提供了一种可行的方法。; 关键词轮廓测量光纤点衍射干涉条纹投影几何误差校正复杂曲面; Keywords profilometry fiber-diffraction interferometry fringe projection geometrical error calibration complex surface; 分类号 TH741 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名大型衍射光栅刻划机拉杆结构的分析与改进被引量：5: 4; 作者糜小涛于宏柱于海利姚雪峰宋楠冯树龙齐向东; 机构中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第3期745-752,共8页; 基金国家重大科研装备研制项目(No.ZBY2008-1) 国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(No.11YQ120023) +2 种基金长春市科技计划资助项目(No.Y3B43HU140); 文摘由于大型衍射光栅刻划机刻划系统的双拉杆结构不能使其满足精度指标要求,本文设计了一套单拉杆结构。讨论了石英导轨分度方向弯曲误差产生的原因及其减小该误差的方法,分析和比较了两种拉杆结构的鞍型滑块的受力情况。基于材料力学弯曲变形理论,建立了石英导轨分度方向弯曲误差模型。在该模型的基础上仿真了双、单拉杆结构下刻划系统的石英导轨在分度方向上的弯曲变形误差。最后,使用双频激光干涉仪对石英导轨上的两个特征测量点进行了测量。测量结果显示：改进后的拉杆结构使得石英导轨在两特征测量点处的位移误差由50.36nm降低到小于10nm,满足大型衍射光栅刻划机刻划系统在分度方向上5~10nm的精度指标要求。; 关键词光栅刻划机衍射光纤双拉杆结构单拉杆结构石英导轨; Keywords grating ruling engine diffraction optical fiber double-rod structure single-rod structure quartz guide rail; 分类号 TN305.7 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名点衍射干涉检测技术被引量：11: 5; 作者李瑶杨甬英王晨陈元恺陈晓钰; 机构浙江大学光电科学与工程学院现代光学仪器国家重点实验室; 出处《中国光学》 EI CAS CSCD 2017年第4期391-414,共24页; 基金国家自然科学基金资助项目(No.61627825 No.11275172) 现代光学仪器国家重点创新基金资助项目(No.MOI2015B06)~~; 文摘本文介绍了点衍射干涉仪不同发展阶段的特点和应用。点衍射干涉仪由波长量级的针孔产生高质量的球面波作为参考波前,能够得到衍射极限性能的分辨率。按照不同的光路特点,点衍射干涉仪可分为点衍射共路干涉和点衍射非共路干涉两种结构,主要应用于高精度波前检测和面形检测。共路干涉结构简单紧凑,对环境振动不敏感,对光源相干度要求不高,可利用光束偏振态及光栅衍射分束的特性对传统点衍射板进行改造,在全共路点衍射干涉仪中引入时间相位调制技术和干涉对比度可调技术,可进一步提高波前检测精度。采用反射式针孔和各种光纤结构发展了非共路点衍射干涉仪,实现了大口径、高精度球面反射镜面形的测量。本文重点阐述了用于极紫外光刻投影物镜中高精度球面反射镜面形检测的反射式针孔点衍射干涉仪,并展望了点衍射检测技术在生物检测等领域的应用前景和发展趋势。; 关键词点衍射光纤点衍射针孔点衍射波前测量生物检测; Keywords point diffraction fiber point diffraction pinhole point diffraction wavefront measurement biological detection; 分类号 TN247 [电子电信—物理电子学] TH741 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名极紫外光刻物镜系统波像差检测技术研究被引量：7: 6; 作者张宇金春水马冬梅王丽萍; 机构东北电力大学理学院中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室; 出处《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2012年第12期3384-3389,共6页; 基金中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室资助项目(09Q03FQ090); 文摘为了实现对极紫外光刻物镜系统波像差的超高精度检测,引入了双光纤相移点衍射干涉仪,对其检测方案进行了优化设计,在相移系统和光程差调节系统中引入了特伦结构,并且对光纤端面进行了抛光镀膜处理。将影响干涉仪检测精度及波面重复精度的误差源引入到干涉图中进行整体分析,得到干涉仪的检测精度及波面重复精度,为了验证双光纤相移点衍射干涉仪的切实可行性及理论分析结果的正确性,搭建了原理实验装置,对同一被检光学系统进行了512次测量,将其分成8组,最终8组测量的波面重复精度能够达到0.13 nm,优于λ/4000。; 关键词光学检测双光纤相移点衍射干涉仪精度分析波面重复精度; Keywords optical testing double-fiber phase-shifting point diffraction interferometer accuracy analysis wavefront repeatability; 分类号 O436.1 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	光纤相移点衍射干涉仪关键技术	张宇金春水马冬梅王丽萍	《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心	2015	5	在线阅读下载PDF 职称材料
2	双光纤相移点衍射干涉仪装调技术	张宇金春水马冬梅王丽萍	《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心	2014	3	在线阅读下载PDF 职称材料
3	双光纤点衍射干涉投影系统误差校正及优化	朱其幸王道档卢毅伟孔明许新科	《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心	2022	5	在线阅读下载PDF 职称材料
4	大型衍射光栅刻划机拉杆结构的分析与改进	糜小涛于宏柱于海利姚雪峰宋楠冯树龙齐向东	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2015	5	在线阅读下载PDF 职称材料
5	点衍射干涉检测技术	李瑶杨甬英王晨陈元恺陈晓钰	《中国光学》 EI CAS CSCD	2017	11	在线阅读下载PDF 职称材料
6	极紫外光刻物镜系统波像差检测技术研究	张宇金春水马冬梅王丽萍	《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心	2012	7	在线阅读下载PDF 职称材料