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基于空心玻璃微珠的多层衍射光波导镜片高精度装配间隔控制
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作者 白家荣 姚鹏 +6 位作者 刘凯 刘祥 王茜 李丰国 褚东凯 侯士杰 屈硕硕 《光学精密工程》 北大核心 2025年第9期1420-1433,共14页
针对增强现实光学模组中多层衍射光波导镜片叠合装配的间隔精度控制需求,提出了一种基于空心玻璃微珠的精密间隔控制方法。通过理论计算与光学模拟仿真,得出衍射光波导镜片满足成像需求所允许的间隔误差。然后,设计分选工艺,自主搭建筛... 针对增强现实光学模组中多层衍射光波导镜片叠合装配的间隔精度控制需求,提出了一种基于空心玻璃微珠的精密间隔控制方法。通过理论计算与光学模拟仿真,得出衍射光波导镜片满足成像需求所允许的间隔误差。然后,设计分选工艺,自主搭建筛分设备,获取特定粒径分布的空心玻璃微珠,并作为超精密间隔标准物质,用于精密控制衍射光波导镜片的叠合装配间隔。最后,利用自主研发的高精度衍射光波导镜片叠合系统,完成了多层衍射光波导镜片的叠合装配实验。实验结果表明:分选后的空心玻璃微珠形状良好且粒径分布更加集中,平均粒径为38.36μm,标准偏差为1.60μm;通过50组衍射光波导镜片叠合样本的间隔误差验证,62%的样本能够满足高质量成像要求,98%的样本能够满足基本成像要求。该精密间隔控制方法能够满足多层衍射光波导镜片叠合装配的间隔精度以及误差范围,具有良好的应用前景。 展开更多
关键词 衍射光波导镜片 空心玻璃微珠 叠合装配 粒径精度 间隔误差
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