期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
3
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
高精度衍射光栅刻划机的最新技术进展
被引量：
18
1
作者
时轮
郝德阜
齐向东
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第z1期438-439,共2页
采用高精度的衍射光栅刻划机刻划依然是制作高质量母光栅最重要的手段 ,因此 ,跟踪世界光栅刻划机的最新技术进展具有重要的现实意义。文中主要对工件台的双重定位技术和分度运动中的间歇式与连续式的技术融合进行了阐述 。
关键词
衍射光栅刻划机
双重定位
间歇式
连续式
在线阅读
下载PDF
职称材料
衍射光栅刻划机精密工作台定位特征识别试验研究
2
作者
金一
竺长安
《振动与冲击》
EI
CSCD
北大核心
2013年第1期89-93,98,共6页
针对机械式衍射光栅刻划机精密定位工作台定位过程中产生的振动信号特性与光学性能指标(杂散光强度和波前质量)之间的关系,提出利用改进的Hilbert-Huang变换(HHT)获得的时频谱和边际谱对超精密工作台精定位特性进行研究。首先,给出了基...
针对机械式衍射光栅刻划机精密定位工作台定位过程中产生的振动信号特性与光学性能指标(杂散光强度和波前质量)之间的关系,提出利用改进的Hilbert-Huang变换(HHT)获得的时频谱和边际谱对超精密工作台精定位特性进行研究。首先,给出了基于固有模态函数(IMF)筛选和瞬时频率差分求解的HHT信号处理算法。然后,设计了光学测量实验获得工作台50nm定位信号。最后,完成精密定位信号的特征提取和振动测试验证。结果表明:利用改进的HHT可以精确地完成精密定位信号的特征提取,从而为在衍射光栅的制造工艺中从根源上降低衍射光栅的杂散光强度和提高波前质量提供依据。
展开更多
关键词
衍射光栅刻划机
精密定位
Hilbert-Huang变换(HHT)
特征识别
试验研究
在线阅读
下载PDF
职称材料
衍射光栅刻划机的高精度开环定位系统
被引量：
1
3
作者
王晓琳
杨厚民
+1 位作者
郭杜
张宇华
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1999年第1期63-67,共5页
本文介绍以８０３１单片机为核心研制成的衍射光栅刻划机的开环控制的高精度定位系统。系统中采用了光栅干涉仪、程控放大器、干涉条纹细分和马达分级调速等方法，本系统既具有闭环控制的高精度特点，又具有开环控制简单、易操作等优点...
本文介绍以８０３１单片机为核心研制成的衍射光栅刻划机的开环控制的高精度定位系统。系统中采用了光栅干涉仪、程控放大器、干涉条纹细分和马达分级调速等方法，本系统既具有闭环控制的高精度特点，又具有开环控制简单、易操作等优点。实用表明：该系统控制的刻划机的定位精度σ＝３．６ｎｍ，最大定位误差为１４．６ｎｍ。
展开更多
关键词
开环控制
光栅
干涉仪
幅值细分
衍射光栅刻划机
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
高精度衍射光栅刻划机的最新技术进展
被引量：
18
1
作者
时轮
郝德阜
齐向东
机构
吉林工学院机电学院
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第z1期438-439,共2页
文摘
采用高精度的衍射光栅刻划机刻划依然是制作高质量母光栅最重要的手段 ,因此 ,跟踪世界光栅刻划机的最新技术进展具有重要的现实意义。文中主要对工件台的双重定位技术和分度运动中的间歇式与连续式的技术融合进行了阐述 。
关键词
衍射光栅刻划机
双重定位
间歇式
连续式
Keywords
Ruling engine Dual positioning Stop and go type Continuous type
分类号
TN2 [电子电信—物理电子学]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
衍射光栅刻划机精密工作台定位特征识别试验研究
2
作者
金一
竺长安
机构
中国科学技术大学精密机械与精密仪器系
出处
《振动与冲击》
EI
CSCD
北大核心
2013年第1期89-93,98,共6页
基金
"十一五"国家科技支撑计划重大项目(2006BAK03A02)
国家重大科研装备研制项目(ZBYZ2008-1)
中国科学院重大科研装备研制项目(YZ200804)
文摘
针对机械式衍射光栅刻划机精密定位工作台定位过程中产生的振动信号特性与光学性能指标(杂散光强度和波前质量)之间的关系,提出利用改进的Hilbert-Huang变换(HHT)获得的时频谱和边际谱对超精密工作台精定位特性进行研究。首先,给出了基于固有模态函数(IMF)筛选和瞬时频率差分求解的HHT信号处理算法。然后,设计了光学测量实验获得工作台50nm定位信号。最后,完成精密定位信号的特征提取和振动测试验证。结果表明:利用改进的HHT可以精确地完成精密定位信号的特征提取,从而为在衍射光栅的制造工艺中从根源上降低衍射光栅的杂散光强度和提高波前质量提供依据。
关键词
衍射光栅刻划机
精密定位
Hilbert-Huang变换(HHT)
特征识别
试验研究
Keywords
diffraction grating ruling engine
precision positioning
Hilbert-Huang transformation （HHT）
feature recognition
experimental study
分类号
TH89 [机械工程—精密仪器及机械]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
衍射光栅刻划机的高精度开环定位系统
被引量：
1
3
作者
王晓琳
杨厚民
郭杜
张宇华
机构
中国科学院长春精密光学机械研究所
北京理工大学光电工程系
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1999年第1期63-67,共5页
文摘
本文介绍以８０３１单片机为核心研制成的衍射光栅刻划机的开环控制的高精度定位系统。系统中采用了光栅干涉仪、程控放大器、干涉条纹细分和马达分级调速等方法，本系统既具有闭环控制的高精度特点，又具有开环控制简单、易操作等优点。实用表明：该系统控制的刻划机的定位精度σ＝３．６ｎｍ，最大定位误差为１４．６ｎｍ。
关键词
开环控制
光栅
干涉仪
幅值细分
衍射光栅刻划机
Keywords
Open loop control Grating interferometer Amplitude sub division
分类号
TH741.6 [机械工程—光学工程]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
高精度衍射光栅刻划机的最新技术进展
时轮
郝德阜
齐向东
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001
18
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
衍射光栅刻划机精密工作台定位特征识别试验研究
金一
竺长安
《振动与冲击》
EI
CSCD
北大核心
2013
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
衍射光栅刻划机的高精度开环定位系统
王晓琳
杨厚民
郭杜
张宇华
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1999
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
