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题名大型衍射光栅刻划机刀架导轨设计
被引量：1
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作者
糜小涛
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机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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出处
《长春工业大学学报》
CAS
2014年第1期42-45,共4页
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基金
国家重大科研装备研制项目(ZBY2008-1)
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文摘
根据衍射光栅刻划机刀架导轨的精度指标要求以及刻划机的整体结构,设计了刀架导轨并建立了三维模型。运用ANSYS软件进行了刀架导轨静力学分析,分析结果表明,设计的刻划机刀架导轨满足其精度指标要求。
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关键词
衍射光栅刻划机
刀架导轨
静力学分析
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Keywords
diffraction grating ruling engine
cutter holder guider rail
static analysis
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分类号
TH122
[机械工程—机械设计及理论]
TH123
[机械工程—机械设计及理论]
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题名衍射光栅刻划机精密工作台定位特征识别试验研究
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作者
金一
竺长安
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机构
中国科学技术大学精密机械与精密仪器系
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出处
《振动与冲击》
EI
CSCD
北大核心
2013年第1期89-93,98,共6页
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基金
"十一五"国家科技支撑计划重大项目(2006BAK03A02)
国家重大科研装备研制项目(ZBYZ2008-1)
中国科学院重大科研装备研制项目(YZ200804)
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文摘
针对机械式衍射光栅刻划机精密定位工作台定位过程中产生的振动信号特性与光学性能指标(杂散光强度和波前质量)之间的关系,提出利用改进的Hilbert-Huang变换(HHT)获得的时频谱和边际谱对超精密工作台精定位特性进行研究。首先,给出了基于固有模态函数(IMF)筛选和瞬时频率差分求解的HHT信号处理算法。然后,设计了光学测量实验获得工作台50nm定位信号。最后,完成精密定位信号的特征提取和振动测试验证。结果表明:利用改进的HHT可以精确地完成精密定位信号的特征提取,从而为在衍射光栅的制造工艺中从根源上降低衍射光栅的杂散光强度和提高波前质量提供依据。
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关键词
衍射光栅刻划机
精密定位
Hilbert-Huang变换(HHT)
特征识别
试验研究
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Keywords
diffraction grating ruling engine
precision positioning
Hilbert-Huang transformation （HHT）
feature recognition
experimental study
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分类号
TH89
[机械工程—精密仪器及机械]
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