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斜入射高衍射效率双层衍射光学元件优化方法
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作者 刘子龙 付跃刚 +2 位作者 胡源 周新雨 关禹聪 《电光与控制》 北大核心 2025年第1期80-85,共6页
针对双层衍射光学元件传统优化方法斜入射时衍射效率偏低的问题,基于双层衍射光学元件衍射效率与入射角度及波长的理论关系模型,提出了角度优化设计方法。通过分析设计过程中不同入射角和微结构高度对衍射效率的影响,优化选取微结构高度... 针对双层衍射光学元件传统优化方法斜入射时衍射效率偏低的问题,基于双层衍射光学元件衍射效率与入射角度及波长的理论关系模型,提出了角度优化设计方法。通过分析设计过程中不同入射角和微结构高度对衍射效率的影响,优化选取微结构高度,显著提高了大视场下的衍射效率。为了验证上述理论,采用长短波衍射效率相等法、带宽积分平均衍射效率最大法以及提出的角度优化设计方法,分别对可见光波段和红外波段的双层衍射光学元件进行设计。结果表明,角度优化设计方法能够有效提高双层衍射光学元件的角度带宽积分平均衍射效率,进而提高光学系统的成像质量。最后,基于角度优化设计方法设计了长焦折衍混合系统,实现了高衍射效率下的高像质折衍混合系统。 展开更多
关键词 双层衍射光学元件 衍射效率 入射角度 折衍混合光学系统
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可见光波段计算单层衍射光学元件设计
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作者 邹慧田 朴明旭 +4 位作者 张贤 童英然 王浩然 娄一辰 蒋红梅 《红外与激光工程》 北大核心 2025年第8期320-331,共12页
在光学成像领域,为了优化系统结构并提升成像质量,单元件成像系统与计算成像技术的结合已成为一种关键的技术趋势。提出了一种计算单层衍射光学元件(Computational Single-layer Diffractive Optical Element,CSDOE)的设计方法,基于赛... 在光学成像领域,为了优化系统结构并提升成像质量,单元件成像系统与计算成像技术的结合已成为一种关键的技术趋势。提出了一种计算单层衍射光学元件(Computational Single-layer Diffractive Optical Element,CSDOE)的设计方法,基于赛德尔像差理论,推导了CSDOE的色差表达式,并通过分析不同颜色通道之间的关系,建立了考虑衍射效率的色差校正模型。设计并加工了焦距为50 mm、全视场为3°、波段范围为405~690 nm的CSDOE,利用考虑衍射效率的色差校正模型结合优化迭代算法处理图像,消除了色差与衍射效率对成像的影响。理论模拟和实际测试结果表明,对比度、灰度值梯度和标准差分别提高了17%、22.2%、21.7%和17.6%、41.1%、10.3%。该方法不仅实现了光学系统的小型化和轻量化,还为光学系统的设计与发展提供了新的思路。 展开更多
关键词 光学设计 计算成像 衍射元件 点扩散函数 消色差 衍射效率
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广角衍射光学元件的优化设计
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作者 杨亮亮 刘成林 +3 位作者 赵勇兵 沈法华 赵琪 刘建利 《红外技术》 CSCD 北大核心 2024年第3期256-260,共5页
为进一步研究入射角度的增大对衍射光学元件(diffractive optical element,DOE)衍射效率及微结构高度等参数的影响,分析了入射角度和周期宽度对带宽积分平均衍射效率的影响。基于扩展标量衍射理论,建立了DOE的微结构高度与入射角度和周... 为进一步研究入射角度的增大对衍射光学元件(diffractive optical element,DOE)衍射效率及微结构高度等参数的影响,分析了入射角度和周期宽度对带宽积分平均衍射效率的影响。基于扩展标量衍射理论,建立了DOE的微结构高度与入射角度和周期宽度的数学模型,提出了工作在一定入射角度范围内,基于复合带宽积分平均衍射效率(comprehensive polychromatic integral diffraction efficiency,CPIDE)最大化实现设计波长和微结构高度等结构参数的优化设计方法。以工作在红外波段的DOE为例进行分析。结果表明:当相对周期宽度为20,入射角度范围为0°~40°时,该DOE的CPIDE为94.15%,微结构高度为1.3396mm。该设计方法可以实现广角DOE的优化设计。 展开更多
关键词 衍射光学元件 衍射效率 微结构高度 入射角度
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用于光束整形的衍射光学元件设计的混合算法 被引量:18
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作者 庞辉 应朝福 +2 位作者 范长江 林培秋 吴浩伟 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第6期977-981,共5页
提出了一种用于衍射光学元件优化设计的混合遗传迭代爬山算法,该算法将迭代量化傅里叶变换算法融入到遗传算法中,然后在整体遗传算法结束后,对找到的当前最优解再用爬山法进行局部寻优,从而得到最优的衍射光学元件表面相位分布.用该混... 提出了一种用于衍射光学元件优化设计的混合遗传迭代爬山算法,该算法将迭代量化傅里叶变换算法融入到遗传算法中,然后在整体遗传算法结束后,对找到的当前最优解再用爬山法进行局部寻优,从而得到最优的衍射光学元件表面相位分布.用该混合方法设计了衍射光学元件,可以将入射的高斯光束整形成方形的均匀光斑.模拟结果表明:该混合算法具有收敛速度快、设计准确度高等优点.相比于其它设计方法,本文提出的方法能较好地改善整形效果,特别适用于光束整形的衍射元件设计. 展开更多
关键词 衍射光学元件 遗传算法 混合算法 光束整形
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多层衍射光学元件的特性分析 被引量:15
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作者 白剑 马韬 +1 位作者 沈亦兵 侯西云 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2006年第z2期44-47,共4页
对采用不同材料多层衍射光学元件的衍射效率进行了分析。通过建立双层衍射光学元件的位相分布函数,实现了宽光谱范围内高衍射效率的多层结构设计.可见光波段设计结果表明多层衍射光学元件可在整个光谱范围内获得大于96%的衍射效率,克服... 对采用不同材料多层衍射光学元件的衍射效率进行了分析。通过建立双层衍射光学元件的位相分布函数,实现了宽光谱范围内高衍射效率的多层结构设计.可见光波段设计结果表明多层衍射光学元件可在整个光谱范围内获得大于96%的衍射效率,克服了传统单层衍射元件衍射效韭低的缺点,使衍射元件在混合光学系统中,特别是在可见光波段,充分发挥其校正色差、热差及提供非球面度的优势,从而实现体积小、重量轻、像质优越的光学系统. 展开更多
关键词 多层衍射元件 混合光学 衍射光学
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二元光学元件横向加工误差对衍射效率的影响 被引量:8
6
作者 殷可为 黄智强 +1 位作者 林妩媚 邢廷文 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2011年第9期46-49,54,共5页
横向加工误差包括对准误差和线宽误差,加工误差对衍射效率的影响是二元光学元件研究的重要问题。本文基于标量衍射理论,提出了一种与MATLAB相结合的分层计算方法,重点分析了4阶和8阶二元光学元件横向加工误差和衍射效率的关系。结果表明... 横向加工误差包括对准误差和线宽误差,加工误差对衍射效率的影响是二元光学元件研究的重要问题。本文基于标量衍射理论,提出了一种与MATLAB相结合的分层计算方法,重点分析了4阶和8阶二元光学元件横向加工误差和衍射效率的关系。结果表明,控制8阶二元光学元件对准误差,可抑制衍射效率的迅速下降,适当调整线宽能够减小对准误差造成的影响。这些结果对二元光学元件的加工有重要的参考价值。该方法简便且适用性强,可对二元光学元件的加工误差进行准确分析。 展开更多
关键词 衍射光学元件 二元光学元件 横向误差 衍射效率 标量衍射理论 MATLAB
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制作在非球面基底上的红外衍射光学元件 被引量:16
7
作者 刘莉萍 王涌天 +1 位作者 李荣刚 焦明印 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期308-312,共5页
用金刚石车床车削的方法在锗材料上成功地加工了折射 衍射混合式红外光学透镜 ,其中的衍射面制作在非球面的基底上 ,是国内首个制作在曲面基底上的混合成像元件 .对折 衍射混合透镜和不带衍射环带的对比透镜的测试结果表明 ,衍射面加... 用金刚石车床车削的方法在锗材料上成功地加工了折射 衍射混合式红外光学透镜 ,其中的衍射面制作在非球面的基底上 ,是国内首个制作在曲面基底上的混合成像元件 .对折 衍射混合透镜和不带衍射环带的对比透镜的测试结果表明 ,衍射面加工效果良好 ,有效地减小了此单片镜系统的色差 ,明显提高了系统的成像质量 。 展开更多
关键词 衍射光学元件 金刚石车削 非球面基底 红外成像系统
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多层衍射光学元件成像特性的研究 被引量:5
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作者 董辉 崔庆丰 +1 位作者 裴雪丹 冷家开 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期694-698,共5页
讨论了多层衍射光学元件的光学成像性质.给出了优化设计多层衍射光学元件最大光栅厚度的方法,分析了构成多层结构的每块单层衍射元件的衍射效率对整体衍射效率的贡献作用.在0.436~0.656μm的可见光波段,多层衍射光学元件最低衍射效率... 讨论了多层衍射光学元件的光学成像性质.给出了优化设计多层衍射光学元件最大光栅厚度的方法,分析了构成多层结构的每块单层衍射元件的衍射效率对整体衍射效率的贡献作用.在0.436~0.656μm的可见光波段,多层衍射光学元件最低衍射效率可达到98%以上,克服了单层衍射元件偏离设计波长后衍射效率显著下降的缺点,改善了宽波段衍射效率.将多层衍射光学元件应用在折、衍射混合光学系统中能够明显提高系统的成像质量,同时使得光学系统体积减小,重量减轻,并且在某些系统中可以避免使用昂贵的特殊材料,从而可以降低光学系统的成本价格. 展开更多
关键词 衍射光学 多层衍射光学元件 衍射效率 光学设计
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遗传算法用于衍射光学元件的优化设计 被引量:8
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作者 陈焘 罗崇泰 +2 位作者 王多书 马勉军 刘宏开 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2004年第12期8-11,共4页
提出了一种基于遗传算法的衍射光学元件优化设计方法;在衍射光学元件设计中遗传算法运行参数对遗传算法性能有一定的影响:采用较大的群体规模,遗传算法越容易获得最优解;交叉算子越大,遗传算法全局搜索能力越强;选择算子对遗传算法的影... 提出了一种基于遗传算法的衍射光学元件优化设计方法;在衍射光学元件设计中遗传算法运行参数对遗传算法性能有一定的影响:采用较大的群体规模,遗传算法越容易获得最优解;交叉算子越大,遗传算法全局搜索能力越强;选择算子对遗传算法的影响不是太大;如果要进一步提高解的精度,可选取较大的终止代数。数值计算结果表明,用遗传算法优化设计的衍射光学元件,其误差小于 5.2%,衍射效率达到 91.2%。遗传算法很适合衍射光学元件的优化设计。 展开更多
关键词 遗传算法 衍射光学元件 优化设计
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衍射光学元件热稳定性的分析 被引量:7
10
作者 郭晴 王汝笠 +1 位作者 裴云天 严义埙 《光子学报》 EI CAS CSCD 1999年第5期463-466,共4页
本文对折射元件和衍射元件的温度特性进行了分析,建立了透镜焦距和衍射效率随环境温度的变化关系,通过施密特红外望远镜系统的设计,比较了折射非球面与衍射光学校正板的温度特性对系统光学传递函数的影响。
关键词 衍射元件 热稳定性 焦距 衍射效率 光学传递函数
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旋转体时域有限差分法对轴对称亚波长衍射光学元件的分析 被引量:7
11
作者 刘玉玲 卢振武 +2 位作者 任智斌 李凤有 曹召良 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第10期1259-1263,共5页
采用旋转体时域有限差分法对轴对称亚波长衍射光学元件进行严格的矢量分析 推导了旋转体时域有限差分法的基本计算公式 ;给出了入射波的设置方法 ;采用了完全匹配层吸收边界条件 ;改进了平面波谱传播算法 ,大大简化了计算过程并提高了... 采用旋转体时域有限差分法对轴对称亚波长衍射光学元件进行严格的矢量分析 推导了旋转体时域有限差分法的基本计算公式 ;给出了入射波的设置方法 ;采用了完全匹配层吸收边界条件 ;改进了平面波谱传播算法 ,大大简化了计算过程并提高了计算速度 对多台阶微透镜和二元亚波长微透镜进行分析给出了它们焦平面的电场强度分布 数值计算结果表明 。 展开更多
关键词 亚波长 衍射光学元件 时域有限差分法 传播算法
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菲涅耳型衍射光学元件的研究 被引量:11
12
作者 杜春雷 郭履容 郭永康 《光子学报》 EI CAS CSCD 1997年第9期824-831,共8页
本文在衍射理论基础上,深入分析了菲涅耳型衍射光学元件的特性,针对连续及二元浮雕结构,建立了位相深度因子(M),波长匹配系数(α)与衍射效率的关系式,对影响衍射效率的因素进行了讨论.研究了设计与工艺的匹配问题,建立了数... 本文在衍射理论基础上,深入分析了菲涅耳型衍射光学元件的特性,针对连续及二元浮雕结构,建立了位相深度因子(M),波长匹配系数(α)与衍射效率的关系式,对影响衍射效率的因素进行了讨论.研究了设计与工艺的匹配问题,建立了数值孔径,最小特征尺寸与衍射效率的关系,为不同波段衍射光学元件的应用,及设计和评价衍射光学元件提供了有效的理论方法.本文最后举例分析了用于白光波前传感器中的小数值孔径微透镜列阵的性能,并对衍射效率及传递函数两个综合指标进行了测量. 展开更多
关键词 菲涅耳型 衍射光学元件 衍射效率
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采用分步迭代算法设计制作衍射光学元件 被引量:10
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作者 张巍 张晓波 +1 位作者 舒方杰 李永平 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第11期1665-1668,共4页
结合均匀照明相位器件的设计实例,介绍最新提出的基于迭代框架的优化方法,并应用该方法设计制作了16台阶的衍射光学元件并对其进行了测试,验证了设计原理及方法的正确性,且对加工中可能出现的误差进行了分析和讨论。测试结果验证了采用... 结合均匀照明相位器件的设计实例,介绍最新提出的基于迭代框架的优化方法,并应用该方法设计制作了16台阶的衍射光学元件并对其进行了测试,验证了设计原理及方法的正确性,且对加工中可能出现的误差进行了分析和讨论。测试结果验证了采用多台阶相位结构的设计方案能有效提高工艺宽容度。 展开更多
关键词 衍射光学元件 光束整形 均匀照明 分步迭代优化
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基于纳米压印的大角度衍射光学元件批量化制备方法 被引量:7
14
作者 刘鑫 张满 +3 位作者 庞辉 史立芳 曹阿秀 邓启凌 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第6期102-106,共5页
针对大角度(大于50°)衍射光学元件低成本、批量化制备的需求,提出一种基于纳米压印技术的制备方法.首先利用光学曝光技术或电子束直写技术制备衍射元件的原始母板,然后将原始母板的结构通过纳米压印过程复制到压印胶上,完成衍射光... 针对大角度(大于50°)衍射光学元件低成本、批量化制备的需求,提出一种基于纳米压印技术的制备方法.首先利用光学曝光技术或电子束直写技术制备衍射元件的原始母板,然后将原始母板的结构通过纳米压印过程复制到压印胶上,完成衍射光学元件的制备.由于纳米压印母板可以多次重复使用,降低了制作成本,提高了效率.用该方法制备了不同特征尺寸(最小为250nm,衍射全角为70°)的衍射光学元件,具有良好的衍射效果,实现了对高深宽比浮雕结构的高保真复制.该技术可实现从微米到纳米跨尺度兼容的衍射光学元件的高保真、低成本、批量化制备. 展开更多
关键词 衍射光学元件 低成本 批量化 纳米压印 跨尺度兼容
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衍射光学元件的反应离子束蚀刻研究 被引量:5
15
作者 杨李茗 虞淑环 +2 位作者 许乔 舒晓武 杨国光 《光子学报》 EI CAS CSCD 1998年第2期147-151,共5页
本文提出了一种制作衍射光学元件的新方法———反应离子束蚀刻法对此技术研究的结果表明:反应离子束蚀刻法具有高蚀刻速率、蚀刻过程各向异性好、蚀刻参数控制灵活等特点,对于衍射光学元件和微光学元件的精细结构制作十分有利本... 本文提出了一种制作衍射光学元件的新方法———反应离子束蚀刻法对此技术研究的结果表明:反应离子束蚀刻法具有高蚀刻速率、蚀刻过程各向异性好、蚀刻参数控制灵活等特点,对于衍射光学元件和微光学元件的精细结构制作十分有利本文详细总结了反应离子束蚀刻过程中各工艺参数对蚀刻速率的影响。 展开更多
关键词 反应离子束蚀刻 衍射 光学元件 蚀刻工艺
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含多层衍射光学元件的折/衍射混合头盔目镜 被引量:4
16
作者 赵亚辉 范长江 +1 位作者 应朝福 徐建程 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2013年第3期402-406,共5页
基于对多层衍射元件的衍射效率的理论分析,设计了用于头盔显示器的含有多层衍射元件的60°视场折/衍射混合目镜系统。系统在设计波段和整个视场范围内衍射效率均在90%以上,提高了光能利用率和像面对比度。目镜的出瞳距离为22mm,出... 基于对多层衍射元件的衍射效率的理论分析,设计了用于头盔显示器的含有多层衍射元件的60°视场折/衍射混合目镜系统。系统在设计波段和整个视场范围内衍射效率均在90%以上,提高了光能利用率和像面对比度。目镜的出瞳距离为22mm,出瞳直径为8mm。调制传递函数(MTF)在25lp/mm时全视场均在0.38以上,满足VGA分辨率要求。目镜中畸变为4.8%,垂轴色差最大为10μm。整个系统结构紧凑,镜头总长26.8mm,最大直径16mm,全系统质量仅8g,实现了光学系统的轻小型化。 展开更多
关键词 光学 光学设计 头盔目镜 衍射混合 多层衍射光学元件
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大尺寸衍射光学元件的扫描离子束刻蚀 被引量:7
17
作者 邱克强 周小为 +5 位作者 刘颖 徐向东 刘正坤 盛斌 洪义麟 付绍军 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第8期1676-1683,共8页
总结了大尺寸衍射光学元件离子束刻蚀技术的研究进展。针对自行研制的KZ-400离子束刻蚀装置,提出了组合石墨束阑结构和多位置分步刻蚀策略来提高离子束刻蚀深度的均匀性,目前在450mm尺寸内的刻蚀深度均匀性最高可达±1%。建立了针... 总结了大尺寸衍射光学元件离子束刻蚀技术的研究进展。针对自行研制的KZ-400离子束刻蚀装置,提出了组合石墨束阑结构和多位置分步刻蚀策略来提高离子束刻蚀深度的均匀性,目前在450mm尺寸内的刻蚀深度均匀性最高可达±1%。建立了针对多层介质膜光栅的衍射强度一维空间分布在线检测系统以及用于透射衍射光学元件离子束刻蚀深度的等厚干涉在线检测系统,实现了对大尺寸衍射光学元件离子束刻蚀终点的定量、科学控制,提高了元件离子束刻蚀工艺的成功率。利用上述技术,成功研制出一系列尺寸的多层介质膜光栅、光束采样光栅、色分离光栅以及同步辐射光栅等多种衍射光学元件。 展开更多
关键词 衍射光学元件 离子束刻蚀 刻蚀深度 在线检测 多层介质膜光栅
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基于瑞利-索末菲积分的大衍射角衍射光学元件设计方法 被引量:3
18
作者 庞辉 张满 +2 位作者 邓启凌 邱琪 杜春雷 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第5期167-172,共6页
针对现有的衍射光学元件设计方法只适用于小角度衍射的情况,本文提出了一种基于瑞利-索末菲衍射积分的设计方法,可以用来设计具有大衍射角的衍射光学元件。先对目标光场进行坐标变换和强度调整,再利用改进的Gerchberg-Saxton算法优化得... 针对现有的衍射光学元件设计方法只适用于小角度衍射的情况,本文提出了一种基于瑞利-索末菲衍射积分的设计方法,可以用来设计具有大衍射角的衍射光学元件。先对目标光场进行坐标变换和强度调整,再利用改进的Gerchberg-Saxton算法优化得到衍射光学元件的相位分布。分别采用本文方法和原有的基于夫琅禾费衍射积分的方法设计衍射光学元件实现线条结构光和不同角度方框图形的光场重构,结果表明:原有的设计方法只适用于衍射角全角小于25°的情况,当衍射角大于25°时,重构光场会出现显著的枕形畸变和不均匀的强度分布。而本文方法在小角度和大角度衍射下都能重构出准确的衍射角和较为均匀的强度分布. 展开更多
关键词 衍射光学 衍射光学元件 瑞利-索末菲积分 光学设计 计算全息 相位恢复 迭代算法
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衍射光学元件检测及数据处理 被引量:5
19
作者 张云龙 汪志斌 +2 位作者 张峰 郭小岗 李军琪 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2018年第3期355-358,共4页
衍射光学元件以其优异的光学性能,能够调制出理想的波面,较球面、非球面光学系统在校正色差方面具有较大优势。衍射光学元件的加工难点在于其加工精度不仅要求非球面基底的面形满足精度要求,还需要衍射结构的相位突变点及高度满足要求... 衍射光学元件以其优异的光学性能,能够调制出理想的波面,较球面、非球面光学系统在校正色差方面具有较大优势。衍射光学元件的加工难点在于其加工精度不仅要求非球面基底的面形满足精度要求,还需要衍射结构的相位突变点及高度满足要求。由于其面形非连续性,存在相位突变点,传统的检测方式难于满足要求。对轮廓仪检测误差来源进行分析,结合检测数据分析加工误差数据,在此基础上进行数据处理,并将该方法获得的误差数据应用于零件加工,实现口径120mm衍射面加工面形误差为0.539μm。 展开更多
关键词 衍射光学元件 数据处理 误差分析 面形检测
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用于共孔径相干合成的衍射光学元件设计 被引量:4
20
作者 颜宏 张卫 +2 位作者 叶一东 陈黎 田飞 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第6期6-11,共6页
分析了衍射光学元件实现共孔径相干合成的物理过程,建立了基于衍射光学元件的共孔径相干合成数学模型,推导了合成光束复振幅与入射光束和衍射光学元件相位分布之间的关系。提出用合成光束强度分布的均匀性作为评价函数的优化方法,获得... 分析了衍射光学元件实现共孔径相干合成的物理过程,建立了基于衍射光学元件的共孔径相干合成数学模型,推导了合成光束复振幅与入射光束和衍射光学元件相位分布之间的关系。提出用合成光束强度分布的均匀性作为评价函数的优化方法,获得了一维衍射合束器的相位分布。与文献报道的衍射光学元件分束器相比,可获得更高的合成效率。采用模拟退火算法结合随机并行梯度下降算法优化合束器设计,提高了计算效率,获得了多束衍射合束器的相位分布和合成效率。分析了单子束失效及合束器像差对合成效率的影响,结果表明:随着合束数量的增加,单子束失效对合成效率的影响逐渐减小;若使合成效率退化小于5%,衍射光学元件的波像差均方根值应控制在λ/28以内。 展开更多
关键词 衍射光学元件 衍射分束器 相干合成 模拟退火算法 随机并行梯度下降算法 衍射效率
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