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行星周转镀膜装置设计
被引量：
2
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作者
高晓生
何英杰
王展
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第1期44-48,共5页
针对现有的蒸镀圆柱形腔体杜瓦镀膜工艺存在工艺繁琐、膜层不均匀等问题,设计了行星周转镀膜装置。该转台针对镀膜机内特殊环境特点,采用摩擦行星轮组设计,优选材料,优化结构,对标准件进行特殊处理,最终实现行星周转镀膜装置的无污染、...
针对现有的蒸镀圆柱形腔体杜瓦镀膜工艺存在工艺繁琐、膜层不均匀等问题,设计了行星周转镀膜装置。该转台针对镀膜机内特殊环境特点,采用摩擦行星轮组设计,优选材料,优化结构,对标准件进行特殊处理,最终实现行星周转镀膜装置的无污染、重量轻、负载小、运转稳定、方便清洁、易于调整等要求。该行星周转镀膜装置的使用,使圆柱形腔杜瓦在公转时实现自传,实现圆柱形腔杜瓦的一次蒸镀,克服原有的三次平面蒸镀带来的问题。试验结果表明:杜瓦镀金引线膜层在粘附性、均匀性等关键指标上均优于原蒸镀方式,在实现产品质量提高的同时,降低了生产成本,提高了生产效率。
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关键词
摩擦轮
行星
组件
镀膜
系统
行星周转镀膜装置
平面蒸镀
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职称材料
题名
行星周转镀膜装置设计
被引量：
2
1
作者
高晓生
何英杰
王展
机构
中国空空导弹研究院
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第1期44-48,共5页
文摘
针对现有的蒸镀圆柱形腔体杜瓦镀膜工艺存在工艺繁琐、膜层不均匀等问题,设计了行星周转镀膜装置。该转台针对镀膜机内特殊环境特点,采用摩擦行星轮组设计,优选材料,优化结构,对标准件进行特殊处理,最终实现行星周转镀膜装置的无污染、重量轻、负载小、运转稳定、方便清洁、易于调整等要求。该行星周转镀膜装置的使用,使圆柱形腔杜瓦在公转时实现自传,实现圆柱形腔杜瓦的一次蒸镀,克服原有的三次平面蒸镀带来的问题。试验结果表明:杜瓦镀金引线膜层在粘附性、均匀性等关键指标上均优于原蒸镀方式,在实现产品质量提高的同时,降低了生产成本,提高了生产效率。
关键词
摩擦轮
行星
组件
镀膜
系统
行星周转镀膜装置
平面蒸镀
Keywords
Friction planetary wheel units, Vacuum deposition system, Planetary rotating apparatus
分类号
TH132 [机械工程—机械制造及自动化]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
行星周转镀膜装置设计
高晓生
何英杰
王展
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
2
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