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硅通孔电镀填充铜的蠕变性能 被引量:1
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作者 武伟 秦飞 +2 位作者 安彤 陈沛 宇慧平 《北京工业大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2016年第6期837-842,共6页
为了研究TSV-Cu的蠕变性能,首先利用典型的TSV工艺制作了电镀Cu的TSV试样,然后利用纳米压痕法对TSV-Cu进行了压痕蠕变测试.采用恒加载速率/载荷与恒载荷法相结合的方式,对TSV-Cu的蠕变行为进行了研究,测量了TSV-Cu在不同压入应变速率和... 为了研究TSV-Cu的蠕变性能,首先利用典型的TSV工艺制作了电镀Cu的TSV试样,然后利用纳米压痕法对TSV-Cu进行了压痕蠕变测试.采用恒加载速率/载荷与恒载荷法相结合的方式,对TSV-Cu的蠕变行为进行了研究,测量了TSV-Cu在不同压入应变速率和最大压入深度条件下的蠕变行为.通过对保载阶段的数据进行处理,得到了不同加载条件下的蠕变速率敏感指数m.结果表明:压入应变速率和最大压入深度等加载条件对m的影响不很明显. 展开更多
关键词 硅通孔 TSV-Cu 纳米压痕 蠕变速率敏感指数
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激光选区熔化Ti-6Al-4V合金纳米压痕蠕变研究 被引量:3
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作者 董广辉 杨诗婷 +3 位作者 姜爱峰 郎风超 田宪会 李继军 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第2期252-259,共8页
目的研究原始态和退火态激光选区熔化Ti-6Al-4V合金的室温压痕蠕变特性。方法利用光学显微镜观察原始态和退火态激光选区熔化Ti-6Al-4V合金的显微组织。基于纳米压痕技术结合恒载荷法,测量原始态和退火态合金在室温下的最大压痕深度、... 目的研究原始态和退火态激光选区熔化Ti-6Al-4V合金的室温压痕蠕变特性。方法利用光学显微镜观察原始态和退火态激光选区熔化Ti-6Al-4V合金的显微组织。基于纳米压痕技术结合恒载荷法,测量原始态和退火态合金在室温下的最大压痕深度、蠕变位移和蠕变速率敏感指数等压痕蠕变参数,并分析两种状态下合金的蠕变机理。结果原始态合金的显微组织几乎全为α相,退火态合金的显微组织为网篮组织。荷载分别为200、300、400 mN时,加载阶段原始态合金的最大压痕深度比退火态合金的最大压痕深度分别提高43%、42%、34%;保载阶段,原始态合金的蠕变位移比退火态合金的蠕变位移分别提高129%、128%、139%。原始态合金的蠕变速率敏感指数m值分别为0.054、0.050、0.046,退火态合金的m值分别为0.041、0.032、0.022,相同荷载下原始态的m值均大于退火态的m值。结论退火处理形成的网篮组织,使退火态合金的蠕变速率敏感指数m值降低,从而使其蠕变抗力增强。原始态和退火态激光选区熔化Ti-6Al-4V合金的蠕变机理均为位错蠕变。 展开更多
关键词 激光选区熔化 纳米压痕 TI-6AL-4V 压痕蠕变 蠕变速率敏感指数m
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微观压痕法测量Sn-Ag-Cu系无铅钎料的力学性能 被引量:3
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作者 王凤江 钱乙余 马鑫 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期688-693,共6页
Sn-Ag-Cu系合金是最有可能替代Sn-Pb钎料的无铅钎料。介绍了一种测量其力学性能的新方法,即通过微压痕仪精确测量不同加载速率下压子的压入深度h与加载载荷F的关系来确定钎料的弹性模量E和蠕变速率敏感指数m。结果表明加载速率对钎料蠕... Sn-Ag-Cu系合金是最有可能替代Sn-Pb钎料的无铅钎料。介绍了一种测量其力学性能的新方法,即通过微压痕仪精确测量不同加载速率下压子的压入深度h与加载载荷F的关系来确定钎料的弹性模量E和蠕变速率敏感指数m。结果表明加载速率对钎料蠕变压痕F-h曲线和压入深度有着重要的影响;OliverPharr方法确定的钎料弹性模量取决于卸载过程而与加载速率无关。基于压痕做功概念定义了压痕蠕变硬度和蠕变应变速率,从而给出钎料的蠕变速率敏感指数。Sn3.5Ag0.75Cu与Sn3.0Ag0.5Cu钎料蠕变压痕测试表明合金成分影响SnAgCu系无铅钎料的力学性能。 展开更多
关键词 无铅钎料 微压痕 弹性模量 蠕变速率敏感指数 Sn-Ag-Cu系
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Sn-Cu-Ni焊点纳米压痕试验分析 被引量:9
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作者 王俭辛 赖忠民 孙丹丹 《焊接学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第12期59-62,116,共4页
为研究金属间化合物与无铅焊点力学性能之间的关系,采用纳米压痕法测定了Sn-Cu-Ni焊点中金属间化合物及钎料基体的弹性模量和压痕硬度等力学性能参量.结果表明,Sn-Cu-Ni焊点中(Cu,Ni)6Sn5金属间化合物的弹性模量为113.2 GPa±4.8GPa... 为研究金属间化合物与无铅焊点力学性能之间的关系,采用纳米压痕法测定了Sn-Cu-Ni焊点中金属间化合物及钎料基体的弹性模量和压痕硬度等力学性能参量.结果表明,Sn-Cu-Ni焊点中(Cu,Ni)6Sn5金属间化合物的弹性模量为113.2 GPa±4.8GPa,压痕硬度为5.59 GPa±0.32 GPa,均与钎料基体有较大差异.并基于Mayo-Nix方法计算得到Sn-Cu-Ni,Sn-Cu-Ni-0.05Ce和Sn-Pb钎料基体的蠕变应变速率敏感指数m分别为0.128 6,0.124 8和0.183 2,蠕变应力指数n分别为7.776 0,8.012 8和5.458 5,表明Sn-Cu-Ni系列抗蠕变性能优于Sn-Pb钎料,且微量Ce元素的添加有利于提高Sn-Cu-Ni焊点的抗蠕变性能. 展开更多
关键词 无铅钎料 纳米压痕 弹性模量 蠕变应变速率敏感指数
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