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题名微克飞行器MEMS气动控制微系统
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作者
栗文凯
石云波
赵锐
马昊天
闫晓朋
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机构
中北大学电子测试技术重点实验室
山西北方机械制造有限责任公司
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出处
《探测与控制学报》
CSCD
北大核心
2024年第3期60-65,共6页
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基金
山西省基础研究计划面上项目(202103021224206)。
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文摘
针对微克飞行器对毫米级的控制系统的需求,借助MEMS技术,提出一种微型化的气动控制系统。借助蠕动电极可累积作用效果的特点,使控制系统在力与体积之间达到良好的平衡,达到在小体积内获得高驱动力的目标,通过理论分析和尺寸优化完成结构的设计,并进行有限元仿真分析。仿真结果表示,最终设计的微系统面积为22 mm×12 mm,可以产生433 mN的驱动力,可使控制面实现偏转角在12°范围内的角度调控。
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关键词
微克飞行器
控制系统
蠕动电极
控制面
姿态角
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Keywords
PAV
control system
peristaltic electrode
control plane
attitude angle
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分类号
TN215
[电子电信—物理电子学]
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