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射频螺线管微电感的设计和仿真 被引量:4
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作者 方东明 赵小林 +1 位作者 王西宁 周勇 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05B期1878-1880,共3页
为了获得高性能MEMS螺线管微电感,考虑了几何结构参数对微电感性能的影响,用HFSS软件对特定结构的微电感进行仿真,仿真结果与实验研制的测量结果基本相符.测试结果表明微电感在较宽的工作频率范围内具有高Q值,可以应用在无线通讯领域.
关键词 螺线管电感 HFSS 品质因素 射频微机电系统
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液压系统中差动螺线管式电感传感器测量电路设计及应用 被引量:2
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作者 李苏铭 权龙 《科学技术与工程》 北大核心 2015年第11期69-74,共6页
为实现液压阀开口位置的精准测量,针对两线圈和三线圈的差动螺线管式电感位移传感器设计了两种不同传感器测量电路,实验比较其静、动态性能的优劣;并且对基于AD698的外围测量电路进行改进,从而提高位移检测的灵敏度。比较两种传感器的... 为实现液压阀开口位置的精准测量,针对两线圈和三线圈的差动螺线管式电感位移传感器设计了两种不同传感器测量电路,实验比较其静、动态性能的优劣;并且对基于AD698的外围测量电路进行改进,从而提高位移检测的灵敏度。比较两种传感器的静态输出特性;在Valvistor型液压插装阀系统中采用AD698测量电路实时检测。当系统压力相同时,阀开口大小对传感器测量电路响应速度的影响;且系统压力越大阀动态响应速度越快,同时检测了主阀位移量与流量的关系。 展开更多
关键词 差动螺线管电感传感器 检波电路 AD698 灵敏度
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一种新型MEMS微电感制作工艺和模拟研究 被引量:2
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作者 谈志杰 沈娇艳 +2 位作者 程新利 王友清 潘涛 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2014年第2期278-281,共4页
采用光刻、干法刻蚀、电镀等微机电系统(MEMS)工艺设计了一种新型的带磁芯的螺线管微电感。采用COMSOL Multiphysics有限元软件,计算了不同频率交流载荷下的等效电阻、等效电感和阻抗随频率变化的关系。模拟结果表明,在1kHz^1MHz的频率... 采用光刻、干法刻蚀、电镀等微机电系统(MEMS)工艺设计了一种新型的带磁芯的螺线管微电感。采用COMSOL Multiphysics有限元软件,计算了不同频率交流载荷下的等效电阻、等效电感和阻抗随频率变化的关系。模拟结果表明,在1kHz^1MHz的频率范围内,其等效电感值基本不变,约为27nH,电阻值约为9Ω,射频模拟结果表明其共振频率为0.45GHz。 展开更多
关键词 微机电系统(MEMS) 制作工艺 螺线管电感 有限元模拟 COMSOL MULTIPHYSICS
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