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一种新型MEMS微电感制作工艺和模拟研究
被引量：
2
1
作者
谈志杰
沈娇艳
+2 位作者
程新利
王友清
潘涛
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2014年第2期278-281,共4页
采用光刻、干法刻蚀、电镀等微机电系统(MEMS)工艺设计了一种新型的带磁芯的螺线管微电感。采用COMSOL Multiphysics有限元软件,计算了不同频率交流载荷下的等效电阻、等效电感和阻抗随频率变化的关系。模拟结果表明,在1kHz^1MHz的频率...
采用光刻、干法刻蚀、电镀等微机电系统(MEMS)工艺设计了一种新型的带磁芯的螺线管微电感。采用COMSOL Multiphysics有限元软件,计算了不同频率交流载荷下的等效电阻、等效电感和阻抗随频率变化的关系。模拟结果表明,在1kHz^1MHz的频率范围内,其等效电感值基本不变,约为27nH,电阻值约为9Ω,射频模拟结果表明其共振频率为0.45GHz。
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关键词
微
机电系统(MEMS)
制作工艺
螺线管微电感
有限元模拟
COMSOL
MULTIPHYSICS
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职称材料
题名
一种新型MEMS微电感制作工艺和模拟研究
被引量：
2
1
作者
谈志杰
沈娇艳
程新利
王友清
潘涛
机构
苏州科技学院数理学院
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2014年第2期278-281,共4页
基金
江苏省产学研前瞻性联合研究基金资助项目(BY2011133)
江苏省高校自然科学基础研究基金资助项目(08KJD430007)
文摘
采用光刻、干法刻蚀、电镀等微机电系统(MEMS)工艺设计了一种新型的带磁芯的螺线管微电感。采用COMSOL Multiphysics有限元软件,计算了不同频率交流载荷下的等效电阻、等效电感和阻抗随频率变化的关系。模拟结果表明,在1kHz^1MHz的频率范围内,其等效电感值基本不变,约为27nH,电阻值约为9Ω,射频模拟结果表明其共振频率为0.45GHz。
关键词
微
机电系统(MEMS)
制作工艺
螺线管微电感
有限元模拟
COMSOL
MULTIPHYSICS
Keywords
micro-electro mechanical systems （MEMS）
fabrication process~ solenoid type micro-inductor~ fi-nite element analysis
COMSOL Multiphysics
分类号
TM552 [电气工程—电器]
TN602 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种新型MEMS微电感制作工艺和模拟研究
谈志杰
沈娇艳
程新利
王友清
潘涛
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2014
2
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