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光纤准直非球面微透镜阵列模压成形
1
作者
高立恒
于谦
+4 位作者
周天丰
周佳
孙秀文
闫涛
阮本帅
《光学精密工程》
北大核心
2025年第1期75-83,共9页
为了提高光纤阵列准直用非球面微透镜阵列的加工精度和加工效率,深入研究了非球面微透镜阵列模具加工精度控制和面形误差补偿方法和理论。根据非球面微透镜阵列设计的光学几何结构特点,提出局部螺旋金刚石铣削方法,对磷化镍合金模具材...
为了提高光纤阵列准直用非球面微透镜阵列的加工精度和加工效率,深入研究了非球面微透镜阵列模具加工精度控制和面形误差补偿方法和理论。根据非球面微透镜阵列设计的光学几何结构特点,提出局部螺旋金刚石铣削方法,对磷化镍合金模具材料进行加工;针对模具材料和玻璃材料的高温特性及工艺参数会产生面形误差的问题,提出了非球面微透镜阵列模具补偿方法;通过模具轮廓补偿设计提高模压成形精度,提升光学性能,实现了10×10非球面微透镜阵列的高精度制造。实验结果表明:非球面微透镜阵列的面形误差PV控制在220~380 nm,表面粗糙度Ra可达7~10 nm。该方法为非球面微透镜阵列的高精度高效率批量制造提供了有效技术路径。
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关键词
超精密加工
螺旋金刚石铣削
非球面微透镜阵列
玻璃模压成形
面形误差
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职称材料
题名
光纤准直非球面微透镜阵列模压成形
1
作者
高立恒
于谦
周天丰
周佳
孙秀文
闫涛
阮本帅
机构
北京理工大学机械与车辆学院
江西凤凰光学科技有限公司
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
超丰微纳科技(宁波)有限公司
出处
《光学精密工程》
北大核心
2025年第1期75-83,共9页
基金
国家自然科学基金青年项目(No.52205440)
江西省重大科技研发专项“揭榜挂帅”(No.20213AAE02003)。
文摘
为了提高光纤阵列准直用非球面微透镜阵列的加工精度和加工效率,深入研究了非球面微透镜阵列模具加工精度控制和面形误差补偿方法和理论。根据非球面微透镜阵列设计的光学几何结构特点,提出局部螺旋金刚石铣削方法,对磷化镍合金模具材料进行加工;针对模具材料和玻璃材料的高温特性及工艺参数会产生面形误差的问题,提出了非球面微透镜阵列模具补偿方法;通过模具轮廓补偿设计提高模压成形精度,提升光学性能,实现了10×10非球面微透镜阵列的高精度制造。实验结果表明:非球面微透镜阵列的面形误差PV控制在220~380 nm,表面粗糙度Ra可达7~10 nm。该方法为非球面微透镜阵列的高精度高效率批量制造提供了有效技术路径。
关键词
超精密加工
螺旋金刚石铣削
非球面微透镜阵列
玻璃模压成形
面形误差
Keywords
ultraprecision machining
spiral diamond milling
aspherical microlens array
precision glass molding
form error
分类号
TG506.1 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
TH161.5 [机械工程—机械制造及自动化]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
光纤准直非球面微透镜阵列模压成形
高立恒
于谦
周天丰
周佳
孙秀文
闫涛
阮本帅
《光学精密工程》
北大核心
2025
0
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