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螺旋电极压电扭转驱动器的设计与有限元分析 被引量:2
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作者 郭全圆 刘永刚 +1 位作者 曾奥柯 闫鹏飞 《压电与声光》 CAS 北大核心 2020年第6期825-830,共6页
该文设计了一种新型叉指型电极(IDE)结构形式的螺旋电极压电扭转驱动器,推导并建立了螺旋电极平面有效电极区域内点的应变理论方程。利用ABAQUS对该理论方程进行验证,并着重研究了电压、径向尺寸、圆盘厚度对该压电驱动器应变的影响。... 该文设计了一种新型叉指型电极(IDE)结构形式的螺旋电极压电扭转驱动器,推导并建立了螺旋电极平面有效电极区域内点的应变理论方程。利用ABAQUS对该理论方程进行验证,并着重研究了电压、径向尺寸、圆盘厚度对该压电驱动器应变的影响。结果表明,螺旋电极压电扭转驱动器能够产生较大的切向应变和径向应变输出;增大电压,减小压电圆盘径向尺寸和压电圆盘厚度,有利于提高驱动器的驱动性能;在螺旋角、压电圆盘径向尺寸和电压一定时,螺旋电极压电扭转驱动器的切向应变达到普通电极型的17.5倍,径向应变是普通电极型的1.6倍。 展开更多
关键词 螺旋电极压电扭转驱动器 螺旋电极 切向应变 径向应变 螺旋
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等间距螺旋电极压电驱动器制备与静态性能测试 被引量:1
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作者 张树良 刘永刚 +1 位作者 李海吉 王亚腾 《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第2期313-319,共7页
基于阿基米德螺线方程提出一种等间距螺旋电极压电驱动器,该文分析了其电极结构与驱动原理,采用丝网印刷法对该驱动器螺旋电极进行了印制,并完成待测元件的制备。搭建了位移测试平台测试元件的静态性能,并对其静态的径向位移及平面扭转... 基于阿基米德螺线方程提出一种等间距螺旋电极压电驱动器,该文分析了其电极结构与驱动原理,采用丝网印刷法对该驱动器螺旋电极进行了印制,并完成待测元件的制备。搭建了位移测试平台测试元件的静态性能,并对其静态的径向位移及平面扭转角进行了研究。试验结果表明,直径25 mm、厚2 mm、电极宽0.6 mm、电极中心距1.2 mm的等间距螺旋电极压电驱动器在频率0.5 Hz、电压200 V的正弦激励信号作用下,径向峰值位移可达1.02μm,为传统电极压电元件的1.57倍,扭转角度可达0.12 mrad,与传统型压电驱动器相比,该元件具有较大的径向位移输出,且产生的扭转角度明显。 展开更多
关键词 等间距 螺旋电极 压电驱动器 制备 扭转
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基于螺旋叉指电极的压电圆盘扭转致动器 被引量:2
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作者 芦志强 潘成亮 马玉婷 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2010年第5期758-761,共4页
为了获得高谐振频率、大扭转角的驱动元件,设计了一种新型的压电圆盘扭转致动器。以直径33mm、厚0.2mm的压电陶瓷圆盘作为基体,并在其一侧沉积上环形金属银膜,通过激光将金属膜刻蚀出21对螺旋形的叉指电极线,电极间距为0.97mm,宽约为110... 为了获得高谐振频率、大扭转角的驱动元件,设计了一种新型的压电圆盘扭转致动器。以直径33mm、厚0.2mm的压电陶瓷圆盘作为基体,并在其一侧沉积上环形金属银膜,通过激光将金属膜刻蚀出21对螺旋形的叉指电极线,电极间距为0.97mm,宽约为110μm,样品在3kV/mm电场下极化30min。实验结果表明,样品的扭转谐振频率可达225.6kHz,在驱动电压峰-峰为10V的条件下,最大扭转角度可达0.0184°。 展开更多
关键词 压电圆盘 扭转致动器 螺旋叉指电极
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螺旋叉指电极式压电圆片换能器的有限元分析与实验比较 被引量:3
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作者 肖广军 潘成亮 +1 位作者 刘永斌 潘巧生 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2015年第23期131-135,共5页
螺旋叉指电极式压电圆片换能器可以产生面内扭转运动,具有结构简单、加工方便、性能可靠等优点,可用于超声马达、光学扫描、黏度测量等领域;但表面螺旋叉指电极间陶瓷材料的极化方向变化复杂,给换能器的机电耦合分析和优化设计带来极大... 螺旋叉指电极式压电圆片换能器可以产生面内扭转运动,具有结构简单、加工方便、性能可靠等优点,可用于超声马达、光学扫描、黏度测量等领域;但表面螺旋叉指电极间陶瓷材料的极化方向变化复杂,给换能器的机电耦合分析和优化设计带来极大的难度。利用坐标变换思想与有限元方法,将压电圆片分割成若干子体,通过极化电场分析确定子体局部坐标系以定义材料参数,从而实现复杂极化情况下压电换能器的耦合仿真分析。利用ANSYS有限元软件,优化仿真分析过程,研究了该压电圆片换能器的静态扭转位移径向分布特性和动态导纳频率响应特性,并与实验结果相比较,证实了该方法的可行性和有效性。 展开更多
关键词 压电陶瓷 圆片换能器 螺旋叉指电极 面内扭转 有限元仿真
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