螺旋波等离子体推力器放电过程的流体模拟 被引量：1

1

作者 余水淋 陈留伟 +3 位作者 夏广庆 刘佳 杭观荣 吴秋云 《载人航天》 CSCD 北大核心 2018年第6期777-783,共7页

针对建立三维数值模型对螺旋波等离子体推力器放电进行数值模拟计算量过大的问题,使用COMSOL多物理场软件建立了二维轴对称结构,采用漂移-扩散流体模拟方法,分别改变工质气体种类、气体压强及射频功率,模拟了螺旋波等离子体放电过程,分... 针对建立三维数值模型对螺旋波等离子体推力器放电进行数值模拟计算量过大的问题,使用COMSOL多物理场软件建立了二维轴对称结构,采用漂移-扩散流体模拟方法,分别改变工质气体种类、气体压强及射频功率,模拟了螺旋波等离子体放电过程,分析了不同参数条件下放电室中电子数密度、电子温度、碰撞功率损耗分布情况,结果显示,在一定条件下气体压强越大,电子数密度越高,电子温度越低,碰撞功率损耗越大,在1600～2400 W范围内,随着射频功率增大,电子数密度和碰撞功率损耗增加,电子温度变化较小,电子数密度在10^(18 ) m^(-3)左右,为螺旋波等离子体推力器的设计与实验研究提供了参考。 展开更多

关键词 电子数密度 螺旋波等离子体推力器 射频放电 流体模拟 COMSOL

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螺旋波等离子体功率沉积特性的数值模拟研究

2

作者 崔瑞林 《力学学报》 北大核心 2025年第7期1611-1617,共7页

螺旋波等离子体凭借其高电离率、高密度等优势,在半导体制造与电推进领域具有重要应用价值.针对现有研究难以解析实验中多波耦合模式下功率沉积机制这一科学难题,本研究基于HELIC数值模拟,系统探究Trivelpiece-Gould(TG)波与Helicon(H)... 螺旋波等离子体凭借其高电离率、高密度等优势,在半导体制造与电推进领域具有重要应用价值.针对现有研究难以解析实验中多波耦合模式下功率沉积机制这一科学难题,本研究基于HELIC数值模拟,系统探究Trivelpiece-Gould(TG)波与Helicon(H)波的本征模式竞争规律及其在低、高阶波耦合模式下的功率沉积特性.通过构建参数化径向密度剖面模型(梯度参数s=2.1~3.4,峰化参数t=1.8~2.5),并结合自洽求解Maxwell-Boltzmann耦合方程组的数值方法,实现了多波模式跳变过程的动态重构.结果表明:在低阶波模式(W1,n_(e)=2.0×10^(12) cm^(-3))下,TG波通过径向电场局域化机制贡献61.8%的边界电子加热效率,而H波中心区功率沉积占比仅38.2%;当激发高阶本征模(W2-W4,ne=4.0×10^(12)~1.1×10^(13) cm^(-3))时,TG波边缘阻尼效应导致其功率占比骤降至16.5%,此时H波通过轴向驻波共振实现中心区83.5%的功率沉积主导,并诱导等离子体密度分布从边缘峰化(s=2.1)向中心聚集(s=3.4)的模态转变.研究结果为精确调控螺旋波等离子体参数分布及模式选择提供了重要理论支撑,对优化半导体刻蚀均匀性和电推进器比冲性能具有直接指导意义. 展开更多

关键词 螺旋波等离子体 TG-H 波耦合 本征模式 功率沉积

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螺旋波无电极等离子体推力器的李萨如加速机制

3

作者 石峰 王昊 《科学技术与工程》 北大核心 2018年第15期341-344,共4页

螺旋波无电极先进推力器(HEAT)是一种新概念的等离子体推力器,具有比冲高、寿命长、无电极烧蚀、可靠性高的优点,适用于未来的深空探测等长时间飞行任务。首先介绍了推力器的结构和工作原理,重点介绍了李萨如加速机制的原理;分析了HEAT... 螺旋波无电极先进推力器(HEAT)是一种新概念的等离子体推力器,具有比冲高、寿命长、无电极烧蚀、可靠性高的优点,适用于未来的深空探测等长时间飞行任务。首先介绍了推力器的结构和工作原理,重点介绍了李萨如加速机制的原理;分析了HEAT的电子运动轨迹。并用等离子体的漂移扩散模型推导出了具体的推力计算公式,在粒子的回旋半径和推力器的比值为特定的值的时候,推力有一个最大值。理论分析结果为后续的推力器的设计提供指导。 展开更多

关键词 无电极推力器 螺旋波等离子体 旋转电场 李萨如加速

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用于空间站的螺旋波等离子体推进研究进展

4

作者 夏广庆 张军军 +3 位作者 陈留伟 余水淋 刘佳 杭观荣 《载人航天》 CSCD 北大核心 2019年第2期265-270,共6页

针对如何利用空间站中气态物质作为电推力器的推进工质,产生空间站姿轨控所需动力,提高空间站物质利用率以及降低空间站长期运行成本,介绍了螺旋波等离子体推力器的工作原理及性能特点,结合气态物质的主要成分,综述了国内外对于复杂工... 针对如何利用空间站中气态物质作为电推力器的推进工质,产生空间站姿轨控所需动力,提高空间站物质利用率以及降低空间站长期运行成本,介绍了螺旋波等离子体推力器的工作原理及性能特点,结合气态物质的主要成分,综述了国内外对于复杂工质螺旋波等离子体推力器的最新研究进展,讨论了复杂工质螺旋波等离子体推力器的关键技术和研究方法,对复杂气体用于螺旋波等离子体推力器的应用进行了展望。 展开更多

关键词 空间站 电推进 螺旋波等离子体推力器 复杂工质 等离子体诊断

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螺旋波等离子体推进研究进展 被引量：19

5

作者 夏广庆 王冬雪 +1 位作者 薛伟华 张家良 《推进技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第6期857-863,共7页

螺旋波等离子体推力器是一种新概念磁等离子体推进装置,以其电离率高、无电极烧蚀、寿命长、比冲高等优点受到国内外学者的广泛关注,该新型推力器在未来长寿命深空探测器和卫星的动力系统中具有广阔的应用前景。概述了螺旋波等离子体推... 螺旋波等离子体推力器是一种新概念磁等离子体推进装置,以其电离率高、无电极烧蚀、寿命长、比冲高等优点受到国内外学者的广泛关注,该新型推力器在未来长寿命深空探测器和卫星的动力系统中具有广阔的应用前景。概述了螺旋波等离子体推力器的系统组成和工作原理、重点介绍了该推力器的研究进展、现状和关键技术,总结了国外在研的四种典型的推力器结构类型,并根据实际情况,提出了国内螺旋波技术在电推进领域的研究方向和发展思路。 展开更多

关键词 电推进 等离子体推力器 螺旋波等离子体 射频等离子体源

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等离子体哨声波性质的实验研究

6

作者 唐磊 张乔枫 +2 位作者 陆全明 高新亮 柯阳光 《空间科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第6期1006-1011,共6页

哨声波是地球内磁层中常见的一种等离子体波动,其不仅可以加速电子到相对论能量,还可散射电子沉降到大气层形成弥散极光.哨声波是一支右旋偏振波,在空间等离子体中其等相位面通常被认为是一个平面.近年来,地面等离子体实验正在成为研究... 哨声波是地球内磁层中常见的一种等离子体波动,其不仅可以加速电子到相对论能量,还可散射电子沉降到大气层形成弥散极光.哨声波是一支右旋偏振波,在空间等离子体中其等相位面通常被认为是一个平面.近年来,地面等离子体实验正在成为研究哨声波激发和传播的一种重要手段.本文在中国科学技术大学线性磁化等离子体装置(KLMP)上开展了磁环天线激发波动的实验,并利用3D磁探针测量了波动磁场的演化信息.测量结果发现,磁环天线激发了一种等相位面为螺旋状的右旋偏振波动,根据天线设置的不同,螺旋波模数分别为m=0和m=1.通过计算波动的波长和频率,确定这种螺旋波满足哨声波的色散关系,为进一步在等离子体实验装置中研究哨声波打下了基础. 展开更多

关键词 地面等离子体实验 哨声波 螺旋波 磁场测量

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VASIMR中螺旋波等离子体源设计 被引量：8

7

作者 李波 王一白 +1 位作者 张普卓 王守国 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第6期720-725,共6页

螺旋波等离子体具有密度高,可控性强且无电极等优点,被应用于可变比冲磁等离子体火箭(VASIMR,Variable Specific Impulse Magnetoplasma Rocket)中.设计了一个螺旋波等离子体源,并给出了其中2个关键部分———磁场线圈和螺旋波天线的设... 螺旋波等离子体具有密度高,可控性强且无电极等优点,被应用于可变比冲磁等离子体火箭(VASIMR,Variable Specific Impulse Magnetoplasma Rocket)中.设计了一个螺旋波等离子体源,并给出了其中2个关键部分———磁场线圈和螺旋波天线的设计.对螺旋波等离子体源进行了初步实验,结果表明,电子密度随射频输入功率的增加几乎呈线性上升,估计电子密度的量级在通入工质后完全可达1011cm-3. 展开更多

关键词 可变比冲磁等离子体火箭 螺旋波等离子体 磁场线圈 螺旋波天线

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螺旋波激发氢等离子体光谱诊断 被引量：9

8

作者 王加扣 吴卫东 +3 位作者 孙卫国 邓红艳 程新路 唐永建 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第10期1513-1517,共5页

利用螺旋波等离子体化学气相沉积(HWP-CVD)技术,以氢气为反应气体产生等离子体。通过采集氢的可见到紫外发射光谱,对等离子体进行了原位诊断,由氢Balm er系分析得到了不同实验参数对激发态氢原子相对密度的影响,通过对Fu lcher带的分析... 利用螺旋波等离子体化学气相沉积(HWP-CVD)技术,以氢气为反应气体产生等离子体。通过采集氢的可见到紫外发射光谱,对等离子体进行了原位诊断,由氢Balm er系分析得到了不同实验参数对激发态氢原子相对密度的影响,通过对Fu lcher带的分析,得到实验参数对氢振动温度的影响。结果表明:低压氢等离子体状态可借用日冕模型来诊断;激发态氢原子密度随入射功率增加而增加,随压强增加而减少,氢分子振动温度随压强增加先增大后减小;电子温度和电子密度是低压氢等离子体状态变化的关键因素。 展开更多

关键词 等离子体诊断 螺旋波等离子体化学气相沉积 Balmer系 Fulcher带

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螺旋波激发氢等离子体的电子温度及密度研究 被引量：7

9

作者 朱永红 吴卫东 +1 位作者 唐永建 孙卫国 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第4期308-312,共5页

采用射频调谐朗缪尔单探针方法对螺旋波激发的氢等离子体I-V特性曲线进行了测量。运用Druyvestey方法对氢等离子体的电子能量分布(EEDF)及电子密度ne的变化规律进行了研究,并与发射光谱诊断结果进行了比较。结果表明:ne随着射频功率的... 采用射频调谐朗缪尔单探针方法对螺旋波激发的氢等离子体I-V特性曲线进行了测量。运用Druyvestey方法对氢等离子体的电子能量分布(EEDF)及电子密度ne的变化规律进行了研究,并与发射光谱诊断结果进行了比较。结果表明:ne随着射频功率的增大成线性增大,本实验中最大值可达到1012cm-3量级,电子平均能量E随着射频功率的增大逐渐升高,并逐渐达到饱和;ne随着工作气压的增加而增大并出现峰值,存在一个最佳气压范围(2 Pa^4 Pa)使ne达到最大,E则随着工作气压的增加逐渐减小;氢气流量对ne的影响非常小,当氢气流量达到一定值(12 sccm)后,ne几乎不变化,E随着氢气流量的增加逐渐降低,最后趋于稳定;朗缪尔单探针方法与发射光谱法诊断的结果基本一致。 展开更多

关键词 等离子体诊断 等离子体参数 射频调谐朗谬尔探针 螺旋波等离子体

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螺旋波等离子体的密度与离子能量分布的诊断 被引量：6

10

作者 江南 王志强 +1 位作者 赵宁 李春茂 《真空科学与技术》 EI CSCD 北大核心 2002年第2期112-117,共6页

螺旋波等离子体是一种高密度的低温、低气压等离子体。这种等离子体在超大规模集成电路工艺、微机电系统加工、新型薄膜材料及纳米材料制备、材料表面改性以及气体离子激光器等方面具有广泛的应用前景。本文采用一套球栅阻滞场带通式能... 螺旋波等离子体是一种高密度的低温、低气压等离子体。这种等离子体在超大规模集成电路工艺、微机电系统加工、新型薄膜材料及纳米材料制备、材料表面改性以及气体离子激光器等方面具有广泛的应用前景。本文采用一套球栅阻滞场带通式能量分析器 ,对螺旋波等离子体在工艺室扩散区样品架表面的特性进行了一些初步的实验研究 ,主要测试了在样品附近的等离子体在其表面上所形成的离子流密度 (从而导出等离子体密度 )以及入射离子的能量分布 ,并对这些参数随射频输入功率的变化进行了研究。研究发现 ,在螺旋波等离子体的扩散区 ,离子能量分布的宽度比用离子温度预期的值大得多 。 展开更多

关键词 密度 诊断 螺旋波等离子体 离子能量分布

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螺旋波等离子体推进器中双层形成的PIC模拟 被引量：3

11

作者 夏广庆 徐宗琦 +3 位作者 邹存祚 郝剑昆 陈茂林 王鹏 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第11期259-265,共7页

建立了螺旋波等离子体推进器中双层等离子体形成过程的一维全粒子PIC模型,讨论了放电过程中电子加热模型和等离子体膨胀模型,计算了不同条件下螺旋波等离子体推进器中双层等离子体的分布。结果表明：采用氩气工质,在射频电流90A/m^2和... 建立了螺旋波等离子体推进器中双层等离子体形成过程的一维全粒子PIC模型,讨论了放电过程中电子加热模型和等离子体膨胀模型,计算了不同条件下螺旋波等离子体推进器中双层等离子体的分布。结果表明：采用氩气工质,在射频电流90A/m^2和工作压强0.05-0.15Pa的条件下,可产生双层等离子体,其密度为1.3×10^15-2.8×10^15 m^-3,双层电势降为10-30V,可加速氩离子束流,喷射速度为3-12km/s,双层加速效应对推进器的性能具有一定影响。 展开更多

关键词 电推进 螺旋波等离子体 双层等离子体 等离子体模拟 PIC模拟

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螺旋波等离子体放电特性的射频补偿朗缪尔单探针测量研究 被引量：4

12

作者 马超 赵高 +2 位作者 刘忠伟 桑利军 陈强 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第8期989-993,共5页

采用射频补偿朗缪尔单探针研究了螺旋波放电中功率、气体压强、磁场强度等对等离子体参数的影响。结果表明,随着功率的增大,等离子体密度会出现两次明显的跳跃,分析认为放电模式经历了由容性模式到感性模式和波模式转变过程。实验发现... 采用射频补偿朗缪尔单探针研究了螺旋波放电中功率、气体压强、磁场强度等对等离子体参数的影响。结果表明,随着功率的增大,等离子体密度会出现两次明显的跳跃,分析认为放电模式经历了由容性模式到感性模式和波模式转变过程。实验发现磁场的增大、放电压强的增大都可以使模式转变的功率阈值提前。同时,在天线上端的测量到低场密度峰的存在,并进行了气压和功率的影响的研究,认为低场峰主要是由螺旋波放电模式引起。 展开更多

关键词 螺旋波等离子体 射频补偿探针 模式转变 低场密度峰

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螺旋波等离子体化学气相沉积法制备纳米碳化硅薄膜 被引量：3

13

作者 于威 王保柱 +2 位作者 孙运涛 韩理 傅广生 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第3期272-275,共4页

采用螺旋波等离子体化学气相沉积 (HWP CVD)技术在Si(10 0 )和石英衬底上合成了具有纳米结构的碳化硅薄膜。通过X射线衍射 (XRD)、傅立叶红外透射 (FTIR)和原子力显微镜 (AFM)等技术对所制备薄膜的结构、组分和形貌进行了分析 ,利用光... 采用螺旋波等离子体化学气相沉积 (HWP CVD)技术在Si(10 0 )和石英衬底上合成了具有纳米结构的碳化硅薄膜。通过X射线衍射 (XRD)、傅立叶红外透射 (FTIR)和原子力显微镜 (AFM)等技术对所制备薄膜的结构、组分和形貌进行了分析 ,利用光致发光技术研究了样品的发光特性。分析表明 ,在 70 0℃的衬底温度和 1.33Pa的气压条件下所制备纳米SiC薄膜的平均颗粒度在 3nm以下 ,红外透射谱主要表现为Si C吸收。结果说明HWP CVD为制备高质量纳米SiC薄膜的有效技术 ,所制备样品呈现出室温短波长可见发光特性 ,发光谱主峰位于 395nm附近。 展开更多

关键词 螺旋波等离子体 化学气相沉积法 制备 纳米碳化硅薄膜

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径向压力和温度分布对螺旋波等离子体波场和能量吸收影响研究 被引量：2

14

作者 张磊 张百灵 +2 位作者 苌磊 李益文 段朋振 《推进技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第9期2152-2160,共9页

为了揭示螺旋波等离子体推力器中的等离子体源功率耦合机理,针对气体工质电离后被射频加热的稳态过程,考虑等离子体密度非均匀分布条件,采用三参数压力函数(fa,sp,tp)和温度函数(f_a,s_t,t_t)表示柱状等离子体内压力和温度的径向分布,... 为了揭示螺旋波等离子体推力器中的等离子体源功率耦合机理,针对气体工质电离后被射频加热的稳态过程,考虑等离子体密度非均匀分布条件,采用三参数压力函数(fa,sp,tp)和温度函数(f_a,s_t,t_t)表示柱状等离子体内压力和温度的径向分布,分析了径向压力梯度、温度梯度对螺旋波等离子体内功率沉积、波电场、波磁场和电流密度的影响。考虑梯度为正,梯度为负和梯度为零三种梯度类型。结果发现:压力梯度为正时,螺旋波在等离子体临近壁面处的功率沉积减弱,但射频波透入深度增加,原因是靠近管壁处等离子体密度较低,RF波径向单位长度衰减较少,透入深度增加。温度梯度为负时,柱状等离子体中心处能量沉积变强,原因是管中心位置等离子体密度较大,电子温度较高,与RF波能量耦合增强;横向截面的电磁场、电流密度分布在不同压力和温度梯度下基本不变,证明了m=1模式的稳定性。 展开更多

关键词 径向压力梯度 径向温度梯度 螺旋波 等离子体 功率沉积

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螺旋波等离子体的实验研究 被引量：10

15

作者 江南 王珏 凌一鸣 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2000年第3期207-209,共3页

螺旋波等离子体是一种高密度的低温低气压等离子体。利用一种环绕于玻璃管或石英管外壁的射频天线与磁化等离子体中的右旋极化波的共振 ,可以非常有效地通过朗道吸收加热电子 ,产生高密度等离子体。本文介绍了一种玻璃系统的螺旋波等离... 螺旋波等离子体是一种高密度的低温低气压等离子体。利用一种环绕于玻璃管或石英管外壁的射频天线与磁化等离子体中的右旋极化波的共振 ,可以非常有效地通过朗道吸收加热电子 ,产生高密度等离子体。本文介绍了一种玻璃系统的螺旋波等离子体的发生装置 ,这在国内尚属首次。利用朗廖尔双探针法初步研究了该螺旋波等离子体的特性。估计该等离子体中心区等离子体密度可超过 1× 1 0 12 cm-3 。 展开更多

关键词 螺旋波等离子体 高密度等离子体 朗廖尔双探针

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螺旋波等离子体放电特性研究进展 被引量：2

16

作者 张海宝 尹贤轶 +1 位作者 孙萌 陈强 《力学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第12期2913-2927,共15页

螺旋波等离子体是目前低温等离子体产生密度最高的等离子体源之一,在材料处理、薄膜沉积、宇航推进、磁约束聚变以及基础等离子体物理研究等领域都有很大的应用潜力.近年来国内外研究者普遍关注这种高密度等离子体源,一方面人们对螺旋... 螺旋波等离子体是目前低温等离子体产生密度最高的等离子体源之一,在材料处理、薄膜沉积、宇航推进、磁约束聚变以及基础等离子体物理研究等领域都有很大的应用潜力.近年来国内外研究者普遍关注这种高密度等离子体源,一方面人们对螺旋波等离子体的放电理论缺乏深入的认识,对等离子体激发和传播过程中能量的吸收存在多种假设,比较认可的是螺旋波等离子体通过螺旋波与TG波耦合效应实现能量沉积;另一方面,螺旋波等离子体放电过程中会表现出许多独特的现象,如低场峰、模式跃迁、无电流双层结构等,无法给出统一的解释,对这些放电特性的研究无疑有助于加深对螺旋波等离子体放电机制的理解.文章从放电机制和放电特性两方面出发回顾了近15年来螺旋波等离子体基础研究进展,总结了螺旋波等离子体放电过程中的低场峰现象、模式跃迁和无电流双层现象等研究结果.围绕螺旋波等离子体放电特性研究,展望了未来的研究重点,为理解螺旋波等离子体能量耦合机制,实现工业应用提供支撑. 展开更多

关键词 螺旋波等离子体 放电特性 低场峰 模式跃迁 无电流双层结构

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自然掺杂p型ZnO薄膜的螺旋波等离子体辅助溅射沉积

17

作者 于威 张锦川 +3 位作者 许贺菊 张丽 杨丽华 傅广生 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期151-155,共5页

本工作通过调整工作气压,采用螺旋波等离子体辅助射频磁控溅射技术在A l2O3衬底上成功的制备了自然掺杂的p型ZnO薄膜。Hall测量显示在Ar/O2等离子体辅助下,随气压增加所沉积薄膜表现出从n型到p型再到n型的转变。p型ZnO薄膜载流子浓度为1... 本工作通过调整工作气压,采用螺旋波等离子体辅助射频磁控溅射技术在A l2O3衬底上成功的制备了自然掺杂的p型ZnO薄膜。Hall测量显示在Ar/O2等离子体辅助下,随气压增加所沉积薄膜表现出从n型到p型再到n型的转变。p型ZnO薄膜载流子浓度为1.30×1016cm-3,电阻率为99.68Ω.cm,霍尔迁移率为4 cm2.V-1.s-1。X射线衍射和原子力显微镜的分析结果显示ZnO薄膜的导电类型和薄膜的生长特征相关,等离子体中活性粒子载能的减小导致薄膜表面成核几率增加和ZnO晶粒逐渐减小。较高氧活性粒子浓度有利于自然掺杂p型ZnO薄膜生长,而活性氧粒子种类的变化使薄膜生长质量变差,施主缺陷增加,薄膜转化为n型导电。 展开更多

关键词 p-ZnO 螺旋波等离子体 自然掺杂 应力

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两种螺旋波天线对非均匀等离子体波场结构的影响

18

作者 张磊 徐晓枫 +2 位作者 张百灵 李益文 段朋振 《空军工程大学学报（自然科学版）》 CSCD 北大核心 2018年第4期14-19,共6页

基于气体工质电离后被射频加热的稳态过程,在石英管中等离子体沿径向不均匀分布条件下,研究分析了1Loop型和Boswell型等2种螺旋波天线激发出的射频波功率对波场结构的影响情况。运用Helic程序求解管内电磁场相关的4个径向微分方程,得到... 基于气体工质电离后被射频加热的稳态过程,在石英管中等离子体沿径向不均匀分布条件下,研究分析了1Loop型和Boswell型等2种螺旋波天线激发出的射频波功率对波场结构的影响情况。运用Helic程序求解管内电磁场相关的4个径向微分方程,得到波电场和波磁场的分布情况。通过分析两型天线对螺旋波等离子体波场结构的影响,对比2种天线的性能。结果发现:L型天线激发的波场属于强静电弱磁波场,B型天线激发波场则属于强静电强磁波场;B型天线相比L型天线能够在天线覆盖范围内产生强波电场,该天线下更多功率耦合进了等离子体中。L天线激发波电场受密度梯度影响显著,L天线对靠近壁面处等离子体影响范围大于B天线,B型天线激发波场能量更强。 展开更多

关键词 螺旋波天线 螺旋波等离子体 波电磁场 波场结构

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Langmuir探针法结合发射光谱法诊断螺旋波低压氢等离子体

19

作者 高映雪 吴卫东 +1 位作者 戴阳 姜帆 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2011年第4期365-371,共7页

采用Langmuir探针法结合发射光谱法对螺旋波诱导的低压氢等离子体进行诊断,根据Druyvesteyn方法和日冕模型分析电子能量几率函数(EEPF)、有效电子温度(Teff)、电子密度(ne)及激发态氢原子密度(nH*)随实验参数的变化规律。结果表明:随射... 采用Langmuir探针法结合发射光谱法对螺旋波诱导的低压氢等离子体进行诊断,根据Druyvesteyn方法和日冕模型分析电子能量几率函数(EEPF)、有效电子温度(Teff)、电子密度(ne)及激发态氢原子密度(nH*)随实验参数的变化规律。结果表明:随射频功率(Prf)、气压(p)和约束磁场(B)的增大,EEPF峰位由高能向低能移动,Teff下降;当Prf从25W增大至35W左右时,ne发生跳跃增长,而nH*始终随Prf增大线性增长;随p增大,ne和nH*都呈现先增加后减小的变化规律;随B增强,ne线性增长,而nH*先增大后减小。 展开更多

关键词 螺旋波等离子体 LANGMUIR探针 发射光谱 Druyvesteyn方法 日冕模型

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螺旋波激发甲烷等离子体光谱诊断(英文)

20

作者 罗利霞 计晶晶 马淑一 《原子与分子物理学报》 CAS CSCD 北大核心 2013年第4期531-536,共6页

利用螺旋波激发等离子体化学气相沉积(LPP-CVD)技术,以甲烷和氦气为反应气体产生等离子体.通过采集到甲烷的可见光到紫外发射光谱,对甲烷等离子体进行原位诊断,发现存在CH、Hα及Hβ等碎片粒子的光辐射,同时,分析了不同入射功率、气压... 利用螺旋波激发等离子体化学气相沉积(LPP-CVD)技术,以甲烷和氦气为反应气体产生等离子体.通过采集到甲烷的可见光到紫外发射光谱,对甲烷等离子体进行原位诊断,发现存在CH、Hα及Hβ等碎片粒子的光辐射,同时,分析了不同入射功率、气压下CH粒子以及Hβ、Hγ的相对强度变化情况.结果表明:CH粒子的相对强度随着射频功率是先增大而后减小,随工作气压的增大而逐渐减小;随气压及功率的增加,Hβ、Hγ相对强度变化的总体趋势都是先增加而后减小的. 展开更多

关键词 等离子体诊断 螺旋波等离子体化学气相沉积 甲烷

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