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螺旋波等离子体功率沉积特性的数值模拟研究
1
作者 崔瑞林 《力学学报》 北大核心 2025年第7期1611-1617,共7页
螺旋波等离子体凭借其高电离率、高密度等优势,在半导体制造与电推进领域具有重要应用价值.针对现有研究难以解析实验中多波耦合模式下功率沉积机制这一科学难题,本研究基于HELIC数值模拟,系统探究Trivelpiece-Gould(TG)波与Helicon(H)... 螺旋波等离子体凭借其高电离率、高密度等优势,在半导体制造与电推进领域具有重要应用价值.针对现有研究难以解析实验中多波耦合模式下功率沉积机制这一科学难题,本研究基于HELIC数值模拟,系统探究Trivelpiece-Gould(TG)波与Helicon(H)波的本征模式竞争规律及其在低、高阶波耦合模式下的功率沉积特性.通过构建参数化径向密度剖面模型(梯度参数s=2.1~3.4,峰化参数t=1.8~2.5),并结合自洽求解Maxwell-Boltzmann耦合方程组的数值方法,实现了多波模式跳变过程的动态重构.结果表明:在低阶波模式(W1,n_(e)=2.0×10^(12) cm^(-3))下,TG波通过径向电场局域化机制贡献61.8%的边界电子加热效率,而H波中心区功率沉积占比仅38.2%;当激发高阶本征模(W2-W4,ne=4.0×10^(12)~1.1×10^(13) cm^(-3))时,TG波边缘阻尼效应导致其功率占比骤降至16.5%,此时H波通过轴向驻波共振实现中心区83.5%的功率沉积主导,并诱导等离子体密度分布从边缘峰化(s=2.1)向中心聚集(s=3.4)的模态转变.研究结果为精确调控螺旋波等离子体参数分布及模式选择提供了重要理论支撑,对优化半导体刻蚀均匀性和电推进器比冲性能具有直接指导意义. 展开更多
关键词 螺旋波等离子体 TG-H 耦合 本征模式 功率沉积
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螺旋波等离子体推进研究进展 被引量:19
2
作者 夏广庆 王冬雪 +1 位作者 薛伟华 张家良 《推进技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第6期857-863,共7页
螺旋波等离子体推力器是一种新概念磁等离子体推进装置,以其电离率高、无电极烧蚀、寿命长、比冲高等优点受到国内外学者的广泛关注,该新型推力器在未来长寿命深空探测器和卫星的动力系统中具有广阔的应用前景。概述了螺旋波等离子体推... 螺旋波等离子体推力器是一种新概念磁等离子体推进装置,以其电离率高、无电极烧蚀、寿命长、比冲高等优点受到国内外学者的广泛关注,该新型推力器在未来长寿命深空探测器和卫星的动力系统中具有广阔的应用前景。概述了螺旋波等离子体推力器的系统组成和工作原理、重点介绍了该推力器的研究进展、现状和关键技术,总结了国外在研的四种典型的推力器结构类型,并根据实际情况,提出了国内螺旋波技术在电推进领域的研究方向和发展思路。 展开更多
关键词 电推进 等离子体推力器 螺旋波等离子体 射频等离子体
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VASIMR中螺旋波等离子体源设计 被引量:8
3
作者 李波 王一白 +1 位作者 张普卓 王守国 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第6期720-725,共6页
螺旋波等离子体具有密度高,可控性强且无电极等优点,被应用于可变比冲磁等离子体火箭(VASIMR,Variable Specific Impulse Magnetoplasma Rocket)中.设计了一个螺旋波等离子体源,并给出了其中2个关键部分———磁场线圈和螺旋波天线的设... 螺旋波等离子体具有密度高,可控性强且无电极等优点,被应用于可变比冲磁等离子体火箭(VASIMR,Variable Specific Impulse Magnetoplasma Rocket)中.设计了一个螺旋波等离子体源,并给出了其中2个关键部分———磁场线圈和螺旋波天线的设计.对螺旋波等离子体源进行了初步实验,结果表明,电子密度随射频输入功率的增加几乎呈线性上升,估计电子密度的量级在通入工质后完全可达1011cm-3. 展开更多
关键词 可变比冲磁等离子体火箭 螺旋波等离子体 磁场线圈 螺旋天线
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螺旋波等离子体放电特性的射频补偿朗缪尔单探针测量研究 被引量:4
4
作者 马超 赵高 +2 位作者 刘忠伟 桑利军 陈强 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第8期989-993,共5页
采用射频补偿朗缪尔单探针研究了螺旋波放电中功率、气体压强、磁场强度等对等离子体参数的影响。结果表明,随着功率的增大,等离子体密度会出现两次明显的跳跃,分析认为放电模式经历了由容性模式到感性模式和波模式转变过程。实验发现... 采用射频补偿朗缪尔单探针研究了螺旋波放电中功率、气体压强、磁场强度等对等离子体参数的影响。结果表明,随着功率的增大,等离子体密度会出现两次明显的跳跃,分析认为放电模式经历了由容性模式到感性模式和波模式转变过程。实验发现磁场的增大、放电压强的增大都可以使模式转变的功率阈值提前。同时,在天线上端的测量到低场密度峰的存在,并进行了气压和功率的影响的研究,认为低场峰主要是由螺旋波放电模式引起。 展开更多
关键词 螺旋波等离子体 射频补偿探针 模式转变 低场密度峰
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螺旋波等离子体的密度与离子能量分布的诊断 被引量:6
5
作者 江南 王志强 +1 位作者 赵宁 李春茂 《真空科学与技术》 EI CSCD 北大核心 2002年第2期112-117,共6页
螺旋波等离子体是一种高密度的低温、低气压等离子体。这种等离子体在超大规模集成电路工艺、微机电系统加工、新型薄膜材料及纳米材料制备、材料表面改性以及气体离子激光器等方面具有广泛的应用前景。本文采用一套球栅阻滞场带通式能... 螺旋波等离子体是一种高密度的低温、低气压等离子体。这种等离子体在超大规模集成电路工艺、微机电系统加工、新型薄膜材料及纳米材料制备、材料表面改性以及气体离子激光器等方面具有广泛的应用前景。本文采用一套球栅阻滞场带通式能量分析器 ,对螺旋波等离子体在工艺室扩散区样品架表面的特性进行了一些初步的实验研究 ,主要测试了在样品附近的等离子体在其表面上所形成的离子流密度 (从而导出等离子体密度 )以及入射离子的能量分布 ,并对这些参数随射频输入功率的变化进行了研究。研究发现 ,在螺旋波等离子体的扩散区 ,离子能量分布的宽度比用离子温度预期的值大得多 。 展开更多
关键词 密度 诊断 螺旋波等离子体 离子能量分布
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螺旋波等离子体化学气相沉积法制备纳米碳化硅薄膜 被引量:3
6
作者 于威 王保柱 +2 位作者 孙运涛 韩理 傅广生 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第3期272-275,共4页
采用螺旋波等离子体化学气相沉积 (HWP CVD)技术在Si(10 0 )和石英衬底上合成了具有纳米结构的碳化硅薄膜。通过X射线衍射 (XRD)、傅立叶红外透射 (FTIR)和原子力显微镜 (AFM)等技术对所制备薄膜的结构、组分和形貌进行了分析 ,利用光... 采用螺旋波等离子体化学气相沉积 (HWP CVD)技术在Si(10 0 )和石英衬底上合成了具有纳米结构的碳化硅薄膜。通过X射线衍射 (XRD)、傅立叶红外透射 (FTIR)和原子力显微镜 (AFM)等技术对所制备薄膜的结构、组分和形貌进行了分析 ,利用光致发光技术研究了样品的发光特性。分析表明 ,在 70 0℃的衬底温度和 1.33Pa的气压条件下所制备纳米SiC薄膜的平均颗粒度在 3nm以下 ,红外透射谱主要表现为Si C吸收。结果说明HWP CVD为制备高质量纳米SiC薄膜的有效技术 ,所制备样品呈现出室温短波长可见发光特性 ,发光谱主峰位于 395nm附近。 展开更多
关键词 螺旋波等离子体 化学气相沉积法 制备 纳米碳化硅薄膜
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螺旋波等离子体推进器中双层形成的PIC模拟 被引量:3
7
作者 夏广庆 徐宗琦 +3 位作者 邹存祚 郝剑昆 陈茂林 王鹏 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第11期259-265,共7页
建立了螺旋波等离子体推进器中双层等离子体形成过程的一维全粒子PIC模型,讨论了放电过程中电子加热模型和等离子体膨胀模型,计算了不同条件下螺旋波等离子体推进器中双层等离子体的分布。结果表明:采用氩气工质,在射频电流90A/m^2和... 建立了螺旋波等离子体推进器中双层等离子体形成过程的一维全粒子PIC模型,讨论了放电过程中电子加热模型和等离子体膨胀模型,计算了不同条件下螺旋波等离子体推进器中双层等离子体的分布。结果表明:采用氩气工质,在射频电流90A/m^2和工作压强0.05-0.15Pa的条件下,可产生双层等离子体,其密度为1.3×10^15-2.8×10^15 m^-3,双层电势降为10-30V,可加速氩离子束流,喷射速度为3-12km/s,双层加速效应对推进器的性能具有一定影响。 展开更多
关键词 电推进 螺旋波等离子体 双层等离子体 等离子体模拟 PIC模拟
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螺旋波等离子体放电特性研究进展 被引量:2
8
作者 张海宝 尹贤轶 +1 位作者 孙萌 陈强 《力学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第12期2913-2927,共15页
螺旋波等离子体是目前低温等离子体产生密度最高的等离子体源之一,在材料处理、薄膜沉积、宇航推进、磁约束聚变以及基础等离子体物理研究等领域都有很大的应用潜力.近年来国内外研究者普遍关注这种高密度等离子体源,一方面人们对螺旋... 螺旋波等离子体是目前低温等离子体产生密度最高的等离子体源之一,在材料处理、薄膜沉积、宇航推进、磁约束聚变以及基础等离子体物理研究等领域都有很大的应用潜力.近年来国内外研究者普遍关注这种高密度等离子体源,一方面人们对螺旋波等离子体的放电理论缺乏深入的认识,对等离子体激发和传播过程中能量的吸收存在多种假设,比较认可的是螺旋波等离子体通过螺旋波与TG波耦合效应实现能量沉积;另一方面,螺旋波等离子体放电过程中会表现出许多独特的现象,如低场峰、模式跃迁、无电流双层结构等,无法给出统一的解释,对这些放电特性的研究无疑有助于加深对螺旋波等离子体放电机制的理解.文章从放电机制和放电特性两方面出发回顾了近15年来螺旋波等离子体基础研究进展,总结了螺旋波等离子体放电过程中的低场峰现象、模式跃迁和无电流双层现象等研究结果.围绕螺旋波等离子体放电特性研究,展望了未来的研究重点,为理解螺旋波等离子体能量耦合机制,实现工业应用提供支撑. 展开更多
关键词 螺旋波等离子体 放电特性 低场峰 模式跃迁 无电流双层结构
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螺旋波等离子体的实验研究 被引量:10
9
作者 江南 王珏 凌一鸣 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2000年第3期207-209,共3页
螺旋波等离子体是一种高密度的低温低气压等离子体。利用一种环绕于玻璃管或石英管外壁的射频天线与磁化等离子体中的右旋极化波的共振 ,可以非常有效地通过朗道吸收加热电子 ,产生高密度等离子体。本文介绍了一种玻璃系统的螺旋波等离... 螺旋波等离子体是一种高密度的低温低气压等离子体。利用一种环绕于玻璃管或石英管外壁的射频天线与磁化等离子体中的右旋极化波的共振 ,可以非常有效地通过朗道吸收加热电子 ,产生高密度等离子体。本文介绍了一种玻璃系统的螺旋波等离子体的发生装置 ,这在国内尚属首次。利用朗廖尔双探针法初步研究了该螺旋波等离子体的特性。估计该等离子体中心区等离子体密度可超过 1× 1 0 12 cm-3 。 展开更多
关键词 螺旋波等离子体 高密度等离子体 朗廖尔双探针
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自然掺杂p型ZnO薄膜的螺旋波等离子体辅助溅射沉积
10
作者 于威 张锦川 +3 位作者 许贺菊 张丽 杨丽华 傅广生 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期151-155,共5页
本工作通过调整工作气压,采用螺旋波等离子体辅助射频磁控溅射技术在A l2O3衬底上成功的制备了自然掺杂的p型ZnO薄膜。Hall测量显示在Ar/O2等离子体辅助下,随气压增加所沉积薄膜表现出从n型到p型再到n型的转变。p型ZnO薄膜载流子浓度为1... 本工作通过调整工作气压,采用螺旋波等离子体辅助射频磁控溅射技术在A l2O3衬底上成功的制备了自然掺杂的p型ZnO薄膜。Hall测量显示在Ar/O2等离子体辅助下,随气压增加所沉积薄膜表现出从n型到p型再到n型的转变。p型ZnO薄膜载流子浓度为1.30×1016cm-3,电阻率为99.68Ω.cm,霍尔迁移率为4 cm2.V-1.s-1。X射线衍射和原子力显微镜的分析结果显示ZnO薄膜的导电类型和薄膜的生长特征相关,等离子体中活性粒子载能的减小导致薄膜表面成核几率增加和ZnO晶粒逐渐减小。较高氧活性粒子浓度有利于自然掺杂p型ZnO薄膜生长,而活性氧粒子种类的变化使薄膜生长质量变差,施主缺陷增加,薄膜转化为n型导电。 展开更多
关键词 p-ZnO 螺旋波等离子体 自然掺杂 应力
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用于空间站的螺旋波等离子体推进研究进展
11
作者 夏广庆 张军军 +3 位作者 陈留伟 余水淋 刘佳 杭观荣 《载人航天》 CSCD 北大核心 2019年第2期265-270,共6页
针对如何利用空间站中气态物质作为电推力器的推进工质,产生空间站姿轨控所需动力,提高空间站物质利用率以及降低空间站长期运行成本,介绍了螺旋波等离子体推力器的工作原理及性能特点,结合气态物质的主要成分,综述了国内外对于复杂工... 针对如何利用空间站中气态物质作为电推力器的推进工质,产生空间站姿轨控所需动力,提高空间站物质利用率以及降低空间站长期运行成本,介绍了螺旋波等离子体推力器的工作原理及性能特点,结合气态物质的主要成分,综述了国内外对于复杂工质螺旋波等离子体推力器的最新研究进展,讨论了复杂工质螺旋波等离子体推力器的关键技术和研究方法,对复杂气体用于螺旋波等离子体推力器的应用进行了展望。 展开更多
关键词 空间站 电推进 螺旋波等离子体推力器 复杂工质 等离子体诊断
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螺旋波等离子体研究进展 被引量:4
12
作者 王陈文 张海宝 陈强 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2021年第8期710-720,共11页
螺旋波等离子体为目前能产生最高等离子体密度的低温等离子体源之一,在低温等离子体应用领域中备受关注。螺旋波等离子体源具有电离效率高、电子密度高、约束磁场低、结构相对简单、可在极低气压下放电等优点,使其在集成电路工艺、薄膜... 螺旋波等离子体为目前能产生最高等离子体密度的低温等离子体源之一,在低温等离子体应用领域中备受关注。螺旋波等离子体源具有电离效率高、电子密度高、约束磁场低、结构相对简单、可在极低气压下放电等优点,使其在集成电路工艺、薄膜沉积、刻蚀、表面改性和等离子体宇航推进等领域有着广泛的应用前景。本文综述了近年来螺旋波等离子体的主要研究进展,包括螺旋波等离子体的基本原理、耦合机制、低场峰现象、双电层结构等放电特性以及推进机制的研究进展,在此基础上展望了螺旋波等离子体未来的发展方向。 展开更多
关键词 螺旋波等离子体 耦合机制 低场峰 双层结构 推进
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螺旋波等离子体推力器放电过程的流体模拟 被引量:1
13
作者 余水淋 陈留伟 +3 位作者 夏广庆 刘佳 杭观荣 吴秋云 《载人航天》 CSCD 北大核心 2018年第6期777-783,共7页
针对建立三维数值模型对螺旋波等离子体推力器放电进行数值模拟计算量过大的问题,使用COMSOL多物理场软件建立了二维轴对称结构,采用漂移-扩散流体模拟方法,分别改变工质气体种类、气体压强及射频功率,模拟了螺旋波等离子体放电过程,分... 针对建立三维数值模型对螺旋波等离子体推力器放电进行数值模拟计算量过大的问题,使用COMSOL多物理场软件建立了二维轴对称结构,采用漂移-扩散流体模拟方法,分别改变工质气体种类、气体压强及射频功率,模拟了螺旋波等离子体放电过程,分析了不同参数条件下放电室中电子数密度、电子温度、碰撞功率损耗分布情况,结果显示,在一定条件下气体压强越大,电子数密度越高,电子温度越低,碰撞功率损耗越大,在1600~2400 W范围内,随着射频功率增大,电子数密度和碰撞功率损耗增加,电子温度变化较小,电子数密度在10^(18 ) m^(-3)左右,为螺旋波等离子体推力器的设计与实验研究提供了参考。 展开更多
关键词 电子数密度 螺旋波等离子体推力器 射频放电 流体模拟 COMSOL
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非均匀磁场螺旋波等离子体研究进展
14
作者 孙萌 张海宝 陈强 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第12期877-889,共13页
螺旋波等离子体具有高电离率、低工作气压、低外加磁场、无内电极、静态均匀性好等特点,广泛应用于聚变研究、等离子体推进、等离子体材料处理等领域。均匀磁场和非均匀磁场下螺旋波等离子体的耦合效率有所不同,在螺旋波等离子体源中应... 螺旋波等离子体具有高电离率、低工作气压、低外加磁场、无内电极、静态均匀性好等特点,广泛应用于聚变研究、等离子体推进、等离子体材料处理等领域。均匀磁场和非均匀磁场下螺旋波等离子体的耦合效率有所不同,在螺旋波等离子体源中应用非均匀磁场可显著改善等离子体参数和射频能量吸收,提高等离子体电离效率。本文主要对非均匀磁场下的螺旋波等离子体的磁场设计及分布、放电特性、应用进行综述,并展望了非均匀磁场螺旋波等离子体的发展方向。 展开更多
关键词 螺旋波等离子体 非均匀磁场 耦合机制 天线设计 放电特性
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高功率螺旋波等离子体诊断试验研究 被引量:4
15
作者 孙斌 赵杨 +2 位作者 魏建国 方吉汉 谭畅 《推进技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第3期707-713,共7页
高功率螺旋波等离子体源作为可变比冲磁等离子体发动机(Variable Specific Impulse Mag-netoplasma Rocket,VASIMR)的第一级,其参数直接影响发动机的性能。为提高螺旋波源的等离子体密度和工质电离率,以4kW螺旋波等离子体源为研究对象,... 高功率螺旋波等离子体源作为可变比冲磁等离子体发动机(Variable Specific Impulse Mag-netoplasma Rocket,VASIMR)的第一级,其参数直接影响发动机的性能。为提高螺旋波源的等离子体密度和工质电离率,以4kW螺旋波等离子体源为研究对象,利用射频补偿Langmuir探针诊断等离子体的离子密度和电子温度。试验结果表明,在强磁场条件下,随着功率的升高,螺旋波等离子体源内部共出现两次放电模式转换,最终进入了螺旋波放电模式。在达到螺旋波放电模式后,羽流区域的等离子体密度超过1×10^(12)cm^(-3),初步评估,放电天线区域的离子密度超过2×10^(14)cm^(-3),离子密度在放电管中心区域较高,沿径向逐渐降低。研究结果为30kW磁等离子体发动机的研制提供依据。 展开更多
关键词 螺旋波等离子体 射频补偿探针 离子密度 诊断
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径向温度和压强分布对螺旋波等离子体能量分布和场型的影响 被引量:1
16
作者 何超 吴东升 平兰兰 《中国科学技术大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2019年第12期985-994,共10页
针对射频波加热等离子体的稳态过程,考虑等离子体径向密度呈抛物线分布和高斯分布,分析讨论了径向压强和温度分布对两种密度分布的螺旋波等离子体内功率沉积以及电场和电流密度的分布影响.考虑正梯度、负梯度和零梯度三种梯度模型.通过... 针对射频波加热等离子体的稳态过程,考虑等离子体径向密度呈抛物线分布和高斯分布,分析讨论了径向压强和温度分布对两种密度分布的螺旋波等离子体内功率沉积以及电场和电流密度的分布影响.考虑正梯度、负梯度和零梯度三种梯度模型.通过研究表明:正温度梯度更有利于等离子体中心处的功率的吸收;正压强梯度增大了等离子体边缘处感应电场,减小了中心处电流密度,并减弱了边缘处功率沉积,波能量耦合深度加深,更有利于中心处功率的耦合吸收;等离子体径向密度为高斯分布时,等离子体边缘处电场强度较高,电流密度较小,射频波在边缘处沉积能量较少且变化不大,进而造成波能量的耦合深度大大增加;等离子体径向密度为抛物线分布时,等离子体中心处和边缘处功率沉积较大,其中边缘处附近功率沉积尤为突出且明显高于高斯分布时的.三种温度和压强分布对两种密度结构的等离子体中电场强度与电流密度分布与变化趋势影响基本相似,由此证明m=1模式的稳定性. 展开更多
关键词 螺旋波等离子体 功率吸收 密度分布 压强梯度 温度梯度
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高通鸟笼线圈激发螺旋波等离子体特性研究
17
作者 汤栋 付唯 +5 位作者 陈建军 王宏彬 芶富均 孙寿华 叶宗标 张坤 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2023年第1期117-124,共8页
研制了高通鸟笼线圈,使用氩气作为工质气体对射频天线的工作性能进行了初步评估。利用COMSOL5.4模拟出了鸟笼天线在13.56MHz的工作频率下,电场和磁场呈线性极化分布。对鸟笼线圈进行了电路结构解剖,推导出了其谐振频率计算公式。利用热... 研制了高通鸟笼线圈,使用氩气作为工质气体对射频天线的工作性能进行了初步评估。利用COMSOL5.4模拟出了鸟笼天线在13.56MHz的工作频率下,电场和磁场呈线性极化分布。对鸟笼线圈进行了电路结构解剖,推导出了其谐振频率计算公式。利用热耦合红外测温仪测试了正常工作状态下的鸟笼线圈外表温度明显低于传统射频天线,电容器最高温度仅65.8°。使用光谱仪对螺旋波等离子体放电光谱特性进行诊断。通过朗缪尔探针诊断了不同压强和磁场强度下螺旋波等离子体密度,在1.0Pa、600Gs、射频功率700W条件下等离子体密度达到1.62×10^(18)m^(-3)。诊断了正向功率和反向功率对应的等离子体密度,其与磁滞现象变化趋势雷同。测试了螺旋波等离子体的径向密度分布,其在轴心处密度达到最高。探究了无磁场条件下等离子体特性,其密度值不会发生大幅度跃迁,纵向磁场是引发螺旋波等离子体放电的关键因素,低压条件下有利于得到更低的电子温度,最低达到2.67eV。表明鸟笼线圈低热耗、高馈入的特性使其在激发大体积的高密度螺旋波等离子体方面具有明显优势,可以投入到下一阶段氢气螺旋波等离子体的激发工作中。 展开更多
关键词 氢负离子中性化 高通鸟笼线圈 螺旋波等离子体 等离子体密度
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螺旋波激发氢等离子体光谱诊断 被引量:9
18
作者 王加扣 吴卫东 +3 位作者 孙卫国 邓红艳 程新路 唐永建 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第10期1513-1517,共5页
利用螺旋波等离子体化学气相沉积(HWP-CVD)技术,以氢气为反应气体产生等离子体。通过采集氢的可见到紫外发射光谱,对等离子体进行了原位诊断,由氢Balm er系分析得到了不同实验参数对激发态氢原子相对密度的影响,通过对Fu lcher带的分析... 利用螺旋波等离子体化学气相沉积(HWP-CVD)技术,以氢气为反应气体产生等离子体。通过采集氢的可见到紫外发射光谱,对等离子体进行了原位诊断,由氢Balm er系分析得到了不同实验参数对激发态氢原子相对密度的影响,通过对Fu lcher带的分析,得到实验参数对氢振动温度的影响。结果表明:低压氢等离子体状态可借用日冕模型来诊断;激发态氢原子密度随入射功率增加而增加,随压强增加而减少,氢分子振动温度随压强增加先增大后减小;电子温度和电子密度是低压氢等离子体状态变化的关键因素。 展开更多
关键词 等离子体诊断 螺旋波等离子体化学气相沉积 Balmer系 Fulcher带
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螺旋波激发氢等离子体的电子温度及密度研究 被引量:7
19
作者 朱永红 吴卫东 +1 位作者 唐永建 孙卫国 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第4期308-312,共5页
采用射频调谐朗缪尔单探针方法对螺旋波激发的氢等离子体I-V特性曲线进行了测量。运用Druyvestey方法对氢等离子体的电子能量分布(EEDF)及电子密度ne的变化规律进行了研究,并与发射光谱诊断结果进行了比较。结果表明:ne随着射频功率的... 采用射频调谐朗缪尔单探针方法对螺旋波激发的氢等离子体I-V特性曲线进行了测量。运用Druyvestey方法对氢等离子体的电子能量分布(EEDF)及电子密度ne的变化规律进行了研究,并与发射光谱诊断结果进行了比较。结果表明:ne随着射频功率的增大成线性增大,本实验中最大值可达到1012cm-3量级,电子平均能量E随着射频功率的增大逐渐升高,并逐渐达到饱和;ne随着工作气压的增加而增大并出现峰值,存在一个最佳气压范围(2 Pa^4 Pa)使ne达到最大,E则随着工作气压的增加逐渐减小;氢气流量对ne的影响非常小,当氢气流量达到一定值(12 sccm)后,ne几乎不变化,E随着氢气流量的增加逐渐降低,最后趋于稳定;朗缪尔单探针方法与发射光谱法诊断的结果基本一致。 展开更多
关键词 等离子体诊断 等离子体参数 射频调谐朗谬尔探针 螺旋波等离子体
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Langmuir探针法结合发射光谱法诊断螺旋波低压氢等离子体
20
作者 高映雪 吴卫东 +1 位作者 戴阳 姜帆 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2011年第4期365-371,共7页
采用Langmuir探针法结合发射光谱法对螺旋波诱导的低压氢等离子体进行诊断,根据Druyvesteyn方法和日冕模型分析电子能量几率函数(EEPF)、有效电子温度(Teff)、电子密度(ne)及激发态氢原子密度(nH*)随实验参数的变化规律。结果表明:随射... 采用Langmuir探针法结合发射光谱法对螺旋波诱导的低压氢等离子体进行诊断,根据Druyvesteyn方法和日冕模型分析电子能量几率函数(EEPF)、有效电子温度(Teff)、电子密度(ne)及激发态氢原子密度(nH*)随实验参数的变化规律。结果表明:随射频功率(Prf)、气压(p)和约束磁场(B)的增大,EEPF峰位由高能向低能移动,Teff下降;当Prf从25W增大至35W左右时,ne发生跳跃增长,而nH*始终随Prf增大线性增长;随p增大,ne和nH*都呈现先增加后减小的变化规律;随B增强,ne线性增长,而nH*先增大后减小。 展开更多
关键词 螺旋波等离子体 LANGMUIR探针 发射光谱 Druyvesteyn方法 日冕模型
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