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硅反射靶增强的飞秒激光融石英微半球谐振子释放技术: 1; 作者庄须叶乔琦 +3 位作者高忠峰韩诗林胡友旺李平华《光学精密工程》北大核心 2025年第6期905-915,共11页; 融石英微半球谐振陀螺具有结构简单、抗干扰能力强、精度高等优势,是最具发展潜力的微型振动式陀螺之一。融石英微半球谐振子是微半球陀螺的核心部件,其制备过程需要利用激光释放,而释放界面的表面质量是微半球谐振子性能优良的重要影... 展开更多; 关键词飞秒激光释放融石英反射靶材 FDTD仿真; 在线阅读下载PDF 职称材料

融石英表面高质量亚波长光栅结构的飞秒激光加工被引量：4: 2; 作者刘洋朱香平 +2 位作者靳川张笑墨赵卫《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第7期57-66,共10页; 采用钛蓝宝石飞秒激光加工系统在融石英表面诱导表面周期性微纳结构,研究了激光诱导表面周期结构的形成过程以及激光能量密度、脉冲数、光斑大小和脉冲的空间间隔对融石英表面激光诱导表面周期结构的形貌的影响。实验结果表明,飞秒激光... 展开更多; 关键词飞秒激光加工表面形貌亚波长结构融石英周期性结构; 在线阅读下载PDF 职称材料

离子束抛光去除函数的在位快速计算与抛光实验被引量：1: 3; 作者张旭王大森 +4 位作者夏超翔郭海林黄思玲赵仕燕聂凤明《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第20期158-165,共8页; 目的基于BP神经网络使用法拉第杯扫描离子束流实现离子束抛光去除函数的在位快速计算。方法对于空间分布不同的离子束流,通过法拉第杯扫描方法获得电流密度分布信息,通过刻蚀实验计算去除函数分布信息,使用BP神经网络对电流密度和去除... 展开更多; 关键词离子束抛光去除函数半高全宽 BP神经网络法拉第扫描融石英; 在线阅读下载PDF 职称材料

支撑应力对光刻透镜透射波前畸变的影响被引量：7: 4; 作者王平田伟 +1 位作者王汝冬王立朋《中国光学》 EI CAS 2013年第1期57-63,共7页; 为了设计光刻物镜的支撑结构,建立了支撑应力对透镜透射波前影响的模型,研究了该模型中支撑应力与折射率的关系及支撑应力对透镜透射波前畸变的影响。首先,根据晶体理论,建立了融石英透镜波前畸变与支撑应力之间关系的仿真模型。然后,... 展开更多; 关键词光学设计光刻投影物镜波前畸变应力双折射融石英元件支撑; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名硅反射靶增强的飞秒激光融石英微半球谐振子释放技术: 1; 作者庄须叶乔琦高忠峰韩诗林胡友旺李平华; 机构山东理工大学机械工程学院中南大学机电工程学院; 出处《光学精密工程》北大核心 2025年第6期905-915,共11页; 基金泰山学者青年专家项目(No.tsqn201909108) 山东省自然基金面上项目(No.ZR2021MF042)。; 文摘融石英微半球谐振陀螺具有结构简单、抗干扰能力强、精度高等优势,是最具发展潜力的微型振动式陀螺之一。融石英微半球谐振子是微半球陀螺的核心部件,其制备过程需要利用激光释放,而释放界面的表面质量是微半球谐振子性能优良的重要影响因素。开发一种快速、高表面质量的释放方法是高性能石英微半球谐振子制备的必要工艺技术。通过在融石英下方放置硅反射靶材并将激光聚焦在融石英谐振子下表面,增强飞秒激光在切割融石英材料内的光场强度,提高融石英微半球谐振子的释放速度和表面质量。通过建立融石英材料内激光强度的简化数学模型和FDTD仿真,分析了飞秒激光加工过程中激光能量场分布,确定了最优的加工工艺参数。实验结果表明,在单脉冲能量为2.2μJ,释放速度为0.2~0.5 mm/s时,释放300μm厚的石英片,可获得释放宽度在34.31~35.16μm之间,释放表面粗糙度小于400 nm的释放效果,释放宽度较聚焦上表面提高了约236%。有效提高了微半球谐振子的释放质量,为制备高质量的融石英谐振子提供了技术支撑。; 关键词飞秒激光释放融石英反射靶材 FDTD仿真; Keywords femtosecond laser release fused silica reflective target curve fitting Finite-Difference Time-Domain(FDTD)simulation; 分类号 TN249 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名融石英表面高质量亚波长光栅结构的飞秒激光加工被引量：4: 2; 作者刘洋朱香平靳川张笑墨赵卫; 机构中国科学院西安光学精密机械研究所瞬态光学与光子技术国家重点实验室中国科学院大学; 出处《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第7期57-66,共10页; 基金国家自然科学基金国家重大科研仪器研制项目(No.52127817) 中国科学院重大科研仪器设备研制项目(No.ZDKYYQ20220007)。; 文摘采用钛蓝宝石飞秒激光加工系统在融石英表面诱导表面周期性微纳结构,研究了激光诱导表面周期结构的形成过程以及激光能量密度、脉冲数、光斑大小和脉冲的空间间隔对融石英表面激光诱导表面周期结构的形貌的影响。实验结果表明,飞秒激光在融石英表面可以诱导出周期性的亚波长结构,主要以垂直于激光偏振方向的光栅状结构为主,其周期在百纳米量级且具有更好的可复现性。在激光光斑控制在1μm附近时,所得到的形貌具有较高的规则性。根据实验结果设计了聚焦高斯光斑低通量的加工方式。所制备的光栅结构具有200~300 nm的周期,平均深度约为300 nm。; 关键词飞秒激光加工表面形貌亚波长结构融石英周期性结构; Keywords Femtosecond laser processing Surface morphology Subwavelength structures Fused silica Periodic structure; 分类号 TN249 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名离子束抛光去除函数的在位快速计算与抛光实验被引量：1: 3; 作者张旭王大森夏超翔郭海林黄思玲赵仕燕聂凤明; 机构中国兵器科学研究院宁波分院; 出处《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第20期158-165,共8页; 基金浙江省自然科学基金(LY23E050006) 所列基金(YQJJ2023-05) 宁波市自然科学基金重点项目(2022J317)。; 文摘目的基于BP神经网络使用法拉第杯扫描离子束流实现离子束抛光去除函数的在位快速计算。方法对于空间分布不同的离子束流,通过法拉第杯扫描方法获得电流密度分布信息,通过刻蚀实验计算去除函数分布信息,使用BP神经网络对电流密度和去除函数分布之间的关系进行拟合,建立基于BP神经网络计算去除函数的模型。使用该模型可以实现对去除函数的在位快速计算,并应用于光学元件的离子束抛光实验中。结果利用上述方法建立的BP神经网络模型计算的去除函数体积去除率和实验方法获得的去除函数体积去除率的误差为5.09%,使用计算的去除函数进行了离子束抛光实验,抛光样件为直径320 mm的融石英,抛光后光学元件表面PV值为0.197λ(波长λ=632.8 nm),RMS值为0.009λ,收敛率达到4.19,实现了光学元件表面的超精密抛光。结论使用建立的BP神经网络模型可以实现离子束抛光去除函数的在位快速计算,该模型对融石英及其他材料的光学元件均适用,计算的去除函数精度满足光学元件离子束超精密加工需求,并提高了离子束抛光的效率。; 关键词离子束抛光去除函数半高全宽 BP神经网络法拉第扫描融石英; Keywords ion beam polishing removal function full width at half height BP neural network Faraday scanning fused silica; 分类号 TH161 [机械工程—机械制造及自动化]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名支撑应力对光刻透镜透射波前畸变的影响被引量：7: 4; 作者王平田伟王汝冬王立朋; 机构中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室; 出处《中国光学》 EI CAS 2013年第1期57-63,共7页; 基金国家科技重大专项(02专项)资助项目(No.2009ZX02205); 文摘为了设计光刻物镜的支撑结构,建立了支撑应力对透镜透射波前影响的模型,研究了该模型中支撑应力与折射率的关系及支撑应力对透镜透射波前畸变的影响。首先,根据晶体理论,建立了融石英透镜波前畸变与支撑应力之间关系的仿真模型。然后,分析了不同支撑结构下支撑应力与融石英透镜波前的关系。最后,分析了支撑应力造成的透射波前畸变的性质,并选择合适的物镜支撑结构。研究结果表明:光刻物镜支撑结构的支撑应力对透镜的透射波前有很大的影响:3点支撑的波前畸变PV值为3.69 nm;随着支撑点数量的增加,支撑应力造成的透射波前畸变逐渐减少;采用大于9点的支撑结构即可满足光刻投影物镜的元件支撑需求。; 关键词光学设计光刻投影物镜波前畸变应力双折射融石英元件支撑; Keywords optical design lithographic object lens wavefront distortion stress birefringence fused silica lens mounting; 分类号 TH703 [机械工程—精密仪器及机械] TN305.7 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	硅反射靶增强的飞秒激光融石英微半球谐振子释放技术	庄须叶乔琦高忠峰韩诗林胡友旺李平华	《光学精密工程》北大核心	2025	0	在线阅读下载PDF 职称材料
2	融石英表面高质量亚波长光栅结构的飞秒激光加工	刘洋朱香平靳川张笑墨赵卫	《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2023	4	在线阅读下载PDF 职称材料
3	离子束抛光去除函数的在位快速计算与抛光实验	张旭王大森夏超翔郭海林黄思玲赵仕燕聂凤明	《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心	2024	1	在线阅读下载PDF 职称材料
4	支撑应力对光刻透镜透射波前畸变的影响	王平田伟王汝冬王立朋	《中国光学》 EI CAS	2013	7	在线阅读下载PDF 职称材料