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蚀刻添加剂对精细线路制作能力提升的研究
被引量：
3
1
作者
钟忆青
张威风
+1 位作者
金立奎
孙炳合
《印制电路信息》
2018年第A02期56-62,共7页
终端电子产品的飞速发展对印制电路板产品的线路等级提出了更高的要求，因此提升精细线路产品的制作能力和成品良率对工厂至关重要。文章探讨了在传统减成法的基础上引入一种能直接添加到蚀刻液中的蚀刻添加剂（EA—X，Etching Additive...
终端电子产品的飞速发展对印制电路板产品的线路等级提出了更高的要求，因此提升精细线路产品的制作能力和成品良率对工厂至关重要。文章探讨了在传统减成法的基础上引入一种能直接添加到蚀刻液中的蚀刻添加剂（EA—X，Etching Additive—x），通过试验验证：当面铜厚度为17．20μm和21．24μm时，加入EA—X对线宽／线距为30／30μm、35／35μm和40／40μm精细线路制作能力的提升作用。试验结果表明：加入蚀刻添加剂后，精细线路的线宽制程能力指数明显提升、一次良率上升、蚀刻因子增大。使用面铜厚度为35μm的测试板进行蚀刻试验。发现该蚀刻添加剂的作用原理为加速纵向蚀刻的同时充当护岸剂减缓侧蚀。本论文为减成法精细线路制作提供有效的改善思路。
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关键词
蚀刻添加剂
精细线路
蚀刻
因子
减成法
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职称材料
题名
蚀刻添加剂对精细线路制作能力提升的研究
被引量：
3
1
作者
钟忆青
张威风
金立奎
孙炳合
机构
珠海方正科技高密电子有限公司
出处
《印制电路信息》
2018年第A02期56-62,共7页
文摘
终端电子产品的飞速发展对印制电路板产品的线路等级提出了更高的要求，因此提升精细线路产品的制作能力和成品良率对工厂至关重要。文章探讨了在传统减成法的基础上引入一种能直接添加到蚀刻液中的蚀刻添加剂（EA—X，Etching Additive—x），通过试验验证：当面铜厚度为17．20μm和21．24μm时，加入EA—X对线宽／线距为30／30μm、35／35μm和40／40μm精细线路制作能力的提升作用。试验结果表明：加入蚀刻添加剂后，精细线路的线宽制程能力指数明显提升、一次良率上升、蚀刻因子增大。使用面铜厚度为35μm的测试板进行蚀刻试验。发现该蚀刻添加剂的作用原理为加速纵向蚀刻的同时充当护岸剂减缓侧蚀。本论文为减成法精细线路制作提供有效的改善思路。
关键词
蚀刻添加剂
精细线路
蚀刻
因子
减成法
Keywords
Etching Additive
Fine Line
Etching Factor
Subtractive Process
分类号
TN41 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
蚀刻添加剂对精细线路制作能力提升的研究
钟忆青
张威风
金立奎
孙炳合
《印制电路信息》
2018
3
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