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移相器微位移旋转误差的分析及测试
被引量：
1
1
作者
武旭华
陈磊
颜加军
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第6期919-923,共5页
以压电陶瓷(PZT)微位移器为主要研究对象,引入一种处理静态干涉图的新方法——虚光栅移相叠栅条纹法,设计实验对一台实际使用的移相器微位移旋转误差进行测试研究,对其引起的波面旋转情况进行了定量的计算分析,并给出测试结果·用...
以压电陶瓷(PZT)微位移器为主要研究对象,引入一种处理静态干涉图的新方法——虚光栅移相叠栅条纹法,设计实验对一台实际使用的移相器微位移旋转误差进行测试研究,对其引起的波面旋转情况进行了定量的计算分析,并给出测试结果·用虚光栅移相叠栅条纹法处理实验中加有载频的干涉图时,不需要使用任何移相器件,可以进行动态位相的检测,整个移相过程用计算机进行控制,避免了引入额外的移相误差·
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关键词
移相干涉术
虚光栅叠栅条纹法
PZT移相器
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职称材料
题名
移相器微位移旋转误差的分析及测试
被引量：
1
1
作者
武旭华
陈磊
颜加军
机构
南京理工大学电光学院
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第6期919-923,共5页
基金
国防军工计量"十五"重点项目资助(60803134)
文摘
以压电陶瓷(PZT)微位移器为主要研究对象,引入一种处理静态干涉图的新方法——虚光栅移相叠栅条纹法,设计实验对一台实际使用的移相器微位移旋转误差进行测试研究,对其引起的波面旋转情况进行了定量的计算分析,并给出测试结果·用虚光栅移相叠栅条纹法处理实验中加有载频的干涉图时,不需要使用任何移相器件,可以进行动态位相的检测,整个移相过程用计算机进行控制,避免了引入额外的移相误差·
关键词
移相干涉术
虚光栅叠栅条纹法
PZT移相器
Keywords
Phase shifting interferometry （PSI）
Virtual grating moire fringe method
PZT phase shifter
分类号
TH744.3 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
移相器微位移旋转误差的分析及测试
武旭华
陈磊
颜加军
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
1
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