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题名PDMS多层次蘑菇形微结构的制作
被引量：2
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作者
单晗
刘军山
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机构
大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室
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出处
《微纳电子技术》
北大核心
2020年第5期395-398,408,共5页
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基金
国家自然科学基金资助项目(51875083,51621064)。
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文摘
提出了一种基于光刻胶牺牲层技术的用于制作多层次SU-8模具的新方法,并进一步采用浇注成型的方法制作了聚二甲基硅氧烷(PDMS)多层次蘑菇形微结构。在多层次SU-8模具的制作过程中,使用了正性光刻胶BP212作为牺牲层,并采用超声辅助显影的方法使显影的时间大大缩短。通过对多层次SU-8模具预处理,有效减小了多层次SU-8模具与PDMS的结合力,从而提高了PDMS脱模的成功率。对制作的PDMS多层次蘑菇形微结构和PDMS单层次微柱结构进行了接触角测试。结果表明,PDMS多层次蘑菇形微结构的接触角为150.93°±1.6°,PDMS单层次微柱结构的接触角为139.19°±0.1°。由此可知PDMS多层次蘑菇形微结构具有优异的超疏水性能。
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关键词
聚二甲基硅氧烷(PDMS)
多层次
蘑菇形微结构
牺牲层
SU-8
超疏水
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Keywords
polydimethylsiloxane(PDMS)
multi-layer
mushroom-shaped microstructure
sacrificial layer
SU-8
super-hydrophobicity
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分类号
TH703
[机械工程—精密仪器及机械]
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