期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到102篇文章
< 1 2 … 6 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
化学气相沉积陶瓷薄膜高温摩擦磨损性能研究
1
作者 王旋 殷宇 +9 位作者 张立业 代野 周富 彭冬 白懿心 丁星星 董玲抒 花泽荟 戴明辉 丛大龙 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第15期68-76,共9页
目的对比研究不同陶瓷薄膜的耐高温磨损性能。方法采用化学气相沉积工艺制备了TiN/TiCN、TiN/Al_(2)O_(3)、TiN/TiCN/Al_(2)O_(3)3种陶瓷薄膜。通过划痕测试、显微硬度测试、高温摩擦磨损试验等测试方法,分别表征并评价3种陶瓷薄膜的附... 目的对比研究不同陶瓷薄膜的耐高温磨损性能。方法采用化学气相沉积工艺制备了TiN/TiCN、TiN/Al_(2)O_(3)、TiN/TiCN/Al_(2)O_(3)3种陶瓷薄膜。通过划痕测试、显微硬度测试、高温摩擦磨损试验等测试方法,分别表征并评价3种陶瓷薄膜的附着力、硬度、耐600℃高温磨损性能,并通过扫描电子显微镜和光学显微镜对磨痕形貌进行分析。结果化学气相沉积制备的3种陶瓷薄膜结构致密,无孔隙、裂纹等缺陷,且与基材结合界面良好,其中,TiN/TiCN/Al_(2)O_(3)多层薄膜与基体结合力最佳,为68.53 N,但其表层Al_(2)O_(3)薄膜与中间层TiCN薄膜结合强度较弱。600℃高温摩擦磨损结果表明,TiN/Al_(2)O_(3)薄膜具有最高的高温摩擦因数,平均为0.51,但其耐高温磨损性能最佳,体积磨损率为0.58×10^(‒5)mm^(3)/(N·m);而TiN/TiCN薄膜具有最低的高温摩擦因数,平均为0.37,但其耐高温磨损性能最差,体积磨损率为4.23×10^(‒5) mm^(3)/(N·m)。结论3种陶瓷薄膜高温摩擦磨损的主要损伤形式各异,TiN/TiCN薄膜的主要磨损机制为黏着磨损、氧化磨损和疲劳磨损,TiN/Al_(2)O_(3)薄膜的主要磨损机制为磨粒磨损,TiN/TiCN/Al_(2)O_(3)多层薄膜的主要磨损机制为磨粒磨损和氧化磨损。TiN/Al_(2)O_(3)薄膜的耐高温磨损性能最佳是由于其硬度较高,且化学性质稳定,主要磨损形式为磨粒磨损,较难被磨损去除。而TiN/TiCN薄膜耐高温磨损性能最差是由于TiCN薄膜硬度较低,在高温摩擦作用下,会发生氧化磨损、黏着磨损、疲劳磨损等多种损伤形式。 展开更多
关键词 化学气相沉积 陶瓷薄膜 高温摩擦磨损 结合力 耐磨性 磨损机制
在线阅读 下载PDF
陶瓷薄膜制备及应用 被引量：10
2
作者 卢旭晨 李佑楚 +1 位作者 韩铠 王风鸣 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第6期35-38,共4页
对各种薄膜制备方法的特点(即物理方法、化学方法)进行阐述,并且从氧化物和非氧化物的角度,综述了陶瓷薄膜作为硬质薄膜、气敏薄膜以及铁电、压电等微电子薄膜的应用。
关键词 陶瓷薄膜 制备 应用 PVC CVD SOL-GEL
在线阅读 下载PDF
新型高阻隔陶瓷薄膜包装材料及技术 被引量：13
3
作者 林晶 董文丽 +2 位作者 孙智慧 高德 刘壮 《包装工程》 CAS CSCD 北大核心 2007年第10期90-93,共4页
综述了高阻隔性陶瓷包装材料的应用现状、发展进程、镀膜的生产工艺,以及影响其性能的各方面因素,包括基材性能、基材预处理、镀膜技术等。
关键词 陶瓷薄膜 阻隔性能 蒸镀薄膜 溅射薄膜
在线阅读 下载PDF
ZnO陶瓷薄膜的制备及其低压压敏性质 被引量：10
4
作者 黄焱球 刘梅冬 +3 位作者 李楚容 曾亦可 刘少波 夏冬林 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2001年第5期384-386,共3页
利用新型 Sol- Gel法在镀有 Au底电极的单晶硅片上制备 Bi2 O3、Sb2 O3掺杂的 Zn O陶瓷薄膜。先驱体溶液由 Bi2 O3、Sb2 O3掺杂的 Zn O纳米粉体均匀分散于含有 Zn(CH3COO) 2 、Bi(NO3) 3及 Sb2 O3的溶胶中制成。薄膜由甩胶法制备 ,并由 ... 利用新型 Sol- Gel法在镀有 Au底电极的单晶硅片上制备 Bi2 O3、Sb2 O3掺杂的 Zn O陶瓷薄膜。先驱体溶液由 Bi2 O3、Sb2 O3掺杂的 Zn O纳米粉体均匀分散于含有 Zn(CH3COO) 2 、Bi(NO3) 3及 Sb2 O3的溶胶中制成。薄膜由甩胶法制备 ,并由 40 0°C预烧、75 0°C退火。制得的陶瓷薄膜 Zn O结晶良好 ,并存在β- Bi2 O3、Zn2 Sb3Bi3O1 4 及Zn7Sb2 O1 2 相 ,表现出良好的低压压敏性质。厚约为 3μm的 Zn O陶瓷薄膜非线性系数α为 6 .2、压敏电压为 5 V、漏电流为 8μA。 展开更多
关键词 陶瓷薄膜 低压压敏电阻 性能特征 氧化锌
在线阅读 下载PDF
复合陶瓷薄膜的制备及其分离应用 被引量：12
5
作者 曾智强 萧小月 +1 位作者 桂治轮 李龙土 《膜科学与技术》 CAS CSCD 1998年第2期12-15,共4页
介绍了复合陶瓷薄膜的制备研究以及它们在气体、液体分离方面的应用复合陶瓷薄膜继承了单纯组分陶瓷薄膜的优点，并且由于其丰富的表面特性。
关键词 陶瓷薄膜 复合陶瓷 膜分离 膜材料
在线阅读 下载PDF
陶瓷薄膜的Sol-Gel法制备 被引量：12
6
作者 卢旭晨 李佑楚 +1 位作者 韩铠 王风鸣 《中国陶瓷》 CAS CSCD 北大核心 1999年第1期1-4,共4页
本文从凝胶制备途径，即无机途径和有机途径角度，阐述了各途径溶胶－凝胶化过程的特点以及凝胶膜向陶瓷薄膜转化的过程。
关键词 陶瓷薄膜 溶胶-凝胶法 制备 PVD CVD
在线阅读 下载PDF
水热电化学技术及其在陶瓷薄膜制备中的应用 被引量：14
7
作者 高道江 肖定全 +2 位作者 张文 朱建国 申林 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第3期240-242,共3页
本文概括介绍软溶液工艺技术 (SoftSolutionProcess ing简记为SSP)中的重要工艺技术 水热电化学制备技术的基本原理和特点 ,重点介绍该技术在先进陶瓷薄膜材料 (尤其是具有钙钛矿结构ABO3 型薄膜 )制备中的主要应用及其优势 。
关键词 软溶液工艺技术 水热电化学技术 无机材料 陶瓷薄膜 制备
在线阅读 下载PDF
溶胶-凝胶法制备Al_2O_3-SiO_2陶瓷薄膜的研究 被引量：18
8
作者 曾智强 萧小月 +1 位作者 桂治轮 李龙土 《膜科学与技术》 CAS CSCD 1997年第5期16-20,共5页
研究了溶胶－凝胶（Ｓｏｌ－Ｇｅｌ）法制备Ａｌ２Ｏ３－ＳｉＯ２体系多孔陶瓷膜过程中的溶胶、凝胶反应通过冷冻复型法观察到溶胶颗粒的微观形貌，认为组分之间的去极化作用是导致溶胶颗粒团聚的原因利用ＦＴＩＲ对复合凝胶的热处... 研究了溶胶－凝胶（Ｓｏｌ－Ｇｅｌ）法制备Ａｌ２Ｏ３－ＳｉＯ２体系多孔陶瓷膜过程中的溶胶、凝胶反应通过冷冻复型法观察到溶胶颗粒的微观形貌，认为组分之间的去极化作用是导致溶胶颗粒团聚的原因利用ＦＴＩＲ对复合凝胶的热处理过程反应情况进行观测，结果表明，组分各自的相变互不影响，也不发生反应，由此可制得保持各组分特性的Ａｌ２Ｏ３－ＳｉＯ２复合陶瓷薄膜复合薄膜的ＴＥＭ形貌表明，组分在溶胶状态的去极化作用还导致薄膜的轻微不均匀性从薄膜的ＡＦＭ形貌可以看到，复合薄膜表面为片状堆垛结构。 展开更多
关键词 溶胶凝胶法 陶瓷薄膜 氧化铝 氧化硅 复合陶瓷
在线阅读 下载PDF
Al_2O_3-SiO_2-TiO_2复合陶瓷薄膜的制备与结构 被引量：4
9
作者 曾智强 萧小月 +1 位作者 桂治轮 李龙土 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第6期599-603,共5页
本文利用ＳｏｌＧｅｌ法制备了Ａｌ２Ｏ３ＳｉＯ２ＴｉＯ２复合陶瓷薄膜，讨论的主要内容是体系成分（Ａｌ∶Ｓｉ∶Ｔｉ摩尔比）对薄膜制备过程及结构的影响。通过分步水解法可以得到稳定的Ａｌ２Ｏ３ＳｉＯ２ＴｉＯ２复合溶... 本文利用ＳｏｌＧｅｌ法制备了Ａｌ２Ｏ３ＳｉＯ２ＴｉＯ２复合陶瓷薄膜，讨论的主要内容是体系成分（Ａｌ∶Ｓｉ∶Ｔｉ摩尔比）对薄膜制备过程及结构的影响。通过分步水解法可以得到稳定的Ａｌ２Ｏ３ＳｉＯ２ＴｉＯ２复合溶胶，进而制备复合陶瓷薄膜。组分间的静电作用是溶胶凝结的原因。三组分中，Ｓｉ／Ｔｉ摩尔比是决定溶胶稳定性的主要因素。通过ＸＲＤ对薄膜的相组成进行了分析，表明复合薄膜由Ａｌ４Ｔｉ２ＳｉＯ１２（２Ａｌ２Ｏ３·ＳｉＯ２·２ＴｉＯ２，准锐钛矿结构）、Ａｌ２Ｏ３、ＳｉＯ２和非晶态ＳｉＯ２组成，薄膜中各相的相对含量取决于体系成分。另外，透射电镜（ＴＥＭ）和原子力显微镜（ＡＦＭ）的分析结果表明：复合薄膜的主要结构特征是层状表面结构，微孔来自层状结构内部，而不是层间隙。薄膜的微观结构随成分改变化而变化。由薄膜的结构特征可以看到该薄膜有极大的表面改性潜力。 展开更多
关键词 复合薄膜 制备 陶瓷薄膜 膜技术
在线阅读 下载PDF
激光化学气相沉积TiC、TiN类陶瓷薄膜概况 被引量：5
10
作者 宋武林 朱培蒂 +1 位作者 陶曾毅 崔崑 《材料导报》 EI CAS CSCD 1994年第1期37-39,58,共4页
介绍了用LCVD法合成并沉积TiC、TiN类陶瓷膜的方法、原理、工艺特点以及LCVD法的一些独特优点。
关键词 激光 CVD 陶瓷薄膜 氮化钛 碳化钛
在线阅读 下载PDF
Al_2O_3透明陶瓷薄膜的制备与结构研究 被引量：2
11
作者 苏春辉 端木庆铎 +1 位作者 王艳 隋智通 《应用化学》 CAS CSCD 北大核心 1997年第6期42-44,共3页
Ａｌ２Ｏ３透明陶瓷薄膜的制备与结构研究苏春辉＊端木庆铎王艳隋智通（长春光学精密机械学院材料系长春１３００２２）（东北大学冶金学院沈阳）关键词Ａｌ２Ｏ３，透明陶瓷，薄膜，制备，结构１９９７－０３－２５收稿，１９９７－０... Ａｌ２Ｏ３透明陶瓷薄膜的制备与结构研究苏春辉＊端木庆铎王艳隋智通（长春光学精密机械学院材料系长春１３００２２）（东北大学冶金学院沈阳）关键词Ａｌ２Ｏ３，透明陶瓷，薄膜，制备，结构１９９７－０３－２５收稿，１９９７－０９－０１修回国家自然科学基金资助项... 展开更多
关键词 透明陶瓷薄膜 薄膜 三氧化二铝 陶瓷薄膜
在线阅读 下载PDF
溶胶—凝胶ZrO_2陶瓷薄膜早期干燥过程研究 被引量：5
12
作者 郭亚丽 张建华 +2 位作者 毕进子 李敏 张勤俭 《宇航材料工艺》 CAS CSCD 北大核心 2002年第3期59-61,共3页
采用无机盐先驱体 ,通过溶胶—凝胶法制备了ZrO2 溶胶 ,并对溶胶膜的早期干燥过程进行了研究。结果表明 :ZrO2 溶胶薄膜的早期干燥过程存在着两个恒速干燥期 ,第一恒速干燥期的干燥速度明显高于第二恒速干燥期 ;此外 ,在早期干燥过程中 ... 采用无机盐先驱体 ,通过溶胶—凝胶法制备了ZrO2 溶胶 ,并对溶胶膜的早期干燥过程进行了研究。结果表明 :ZrO2 溶胶薄膜的早期干燥过程存在着两个恒速干燥期 ,第一恒速干燥期的干燥速度明显高于第二恒速干燥期 ;此外 ,在早期干燥过程中 ,随着温度的升高 ,薄膜失重率急剧增加。为了获得质量理想的薄膜 。 展开更多
关键词 ZRO2 陶瓷薄膜 早期干燥 溶胶凝胶法 失重率
在线阅读 下载PDF
LaNiO_3纳米陶瓷薄膜氧敏特性的研究 被引量：7
13
作者 侯峰 阴育新 徐廷献 《天津大学学报（自然科学与工程技术版）》 EI CAS CSCD 2000年第6期693-696,共4页
以 L a(NO3) 3· 6 H2 O和 Ni(NO3) 2 · 6 H2 O为原料 ,采用柠檬酸为螯合剂 ,利用溶胶 -凝胶法合成了钙钛矿型稀土复合氧化物 L a Ni O3纳米陶瓷薄膜 。
关键词 LANiO3薄膜 SOL-GEL法 氧敏特性 纳米陶瓷薄膜
在线阅读 下载PDF
ISG法制备钙钛矿纳米陶瓷薄膜 被引量：8
14
作者 侯峰 徐廷献 阴育新 《天津大学学报（自然科学与工程技术版）》 EI CAS CSCD 2000年第3期397-400,共4页
采用 ISG法合成钙钛矿稀土复合氧化物 L a MO3(M为 Ni3+、Co3+或 Fe3+ )纳米陶瓷薄膜 .研究了 p H值对柠檬酸与 L a3+ 和 M离子络合的影响及络合方式对形成 L a MO3的作用 ,发现 L a MO3前驱体凝胶膜对形成陶瓷薄膜有很大影响 ,慢的干... 采用 ISG法合成钙钛矿稀土复合氧化物 L a MO3(M为 Ni3+、Co3+或 Fe3+ )纳米陶瓷薄膜 .研究了 p H值对柠檬酸与 L a3+ 和 M离子络合的影响及络合方式对形成 L a MO3的作用 ,发现 L a MO3前驱体凝胶膜对形成陶瓷薄膜有很大影响 ,慢的干燥速度。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 钙钛矿 纳米陶瓷薄膜 ESG法
在线阅读 下载PDF
无铅压电陶瓷薄膜的制备及应用研究 被引量：4
15
作者 陆雷 肖定全 +1 位作者 田建华 朱建国 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期705-708,共4页
无铅压电陶瓷的制备和应用是过去10年左右国际上研究的热点之一。近年来,由于无铅压电陶瓷薄膜可望在信息、传感、航空、机械、生物、医学等行业获得广泛应用,这类薄膜的制备和应用研究也已引起国际上的关注,并推动着无铅压电陶瓷薄膜... 无铅压电陶瓷的制备和应用是过去10年左右国际上研究的热点之一。近年来,由于无铅压电陶瓷薄膜可望在信息、传感、航空、机械、生物、医学等行业获得广泛应用,这类薄膜的制备和应用研究也已引起国际上的关注,并推动着无铅压电陶瓷薄膜材料和制备技术的不断发展。结合作者的研究工作,概括介绍了无铅压电陶瓷薄膜材料的研究进展,包括主要的无铅压电陶瓷薄膜材料;这类薄膜的主要制备方法,特别是射频磁控溅射法、脉冲激光沉积法和溶胶-凝胶法;以及无铅压电陶瓷薄膜材料可能的器件应用。 展开更多
关键词 无铅压电陶瓷薄膜 薄膜制备技术 薄膜器件
在线阅读 下载PDF
TiO_2-K_2O-LiZnVO_4陶瓷薄膜的制备及其湿敏性能研究 被引量：6
16
作者 应皆荣 万春荣 何培炯 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1999年第1期10-12,16,共4页
】采用溶胶凝胶法制备了ＴｉＯ２－Ｋ２Ｏ－ＬｉＺｎＶＯ４陶瓷薄膜湿敏元件，研究了薄膜的结构和元件的感湿性能。薄膜主要由金红石型ＴｉＯ２构成，化学组成为Ｔｉ∶Ｋ∶Ｌｉ∶Ｚｎ∶Ｖ∶Ｏ＝１∶０．０４∶０．１∶０．１∶０．１∶... 】采用溶胶凝胶法制备了ＴｉＯ２－Ｋ２Ｏ－ＬｉＺｎＶＯ４陶瓷薄膜湿敏元件，研究了薄膜的结构和元件的感湿性能。薄膜主要由金红石型ＴｉＯ２构成，化学组成为Ｔｉ∶Ｋ∶Ｌｉ∶Ｚｎ∶Ｖ∶Ｏ＝１∶０．０４∶０．１∶０．１∶０．１∶２．４２（原子摩尔比）。工作频率为４０Ｈｚ时，湿敏元件在全湿度范围内具有良好的阻抗－湿度特性及电容－湿度特性，感湿特性曲线线性良好。元件还具有灵敏度高，滞后小，响应快，长期稳定性好等优点。工作频率和温度对感湿性能有一定影响。 展开更多
关键词 溶胶凝胶法 陶瓷薄膜 湿敏元件 湿敏性能 传感器
在线阅读 下载PDF
溶胶-凝胶法陶瓷超薄膜的制备及其摩擦学研究进展 被引量：17
17
作者 刘维民 陈云霞 李斌 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第2期162-167,共6页
介绍了溶胶-凝胶陶瓷超薄膜制备技术,评述了陶瓷超薄膜性能检测方法以及溶胶-凝胶陶瓷薄膜的摩擦学研究和应用进展.
关键词 溶胶-凝胶法 陶瓷超薄膜 摩擦学 研究进展
在线阅读 下载PDF
陶瓷薄膜制备技术研究进展 被引量：4
18
作者 田永生 陈传忠 +2 位作者 王德云 陈丽霞 雷廷权 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期427-430,434,共5页
陶瓷薄膜具有耐磨、耐蚀、耐高温和抗微生物侵蚀等性能,在航天、化工机械、生物医学等行业获得了广泛的应用,从而推动着陶瓷薄膜的材质和制备工艺不断发展.综述了微弧氧化、溶胶凝胶和电泳沉积等制备陶瓷薄膜常用工艺的研究进展,分析了... 陶瓷薄膜具有耐磨、耐蚀、耐高温和抗微生物侵蚀等性能,在航天、化工机械、生物医学等行业获得了广泛的应用,从而推动着陶瓷薄膜的材质和制备工艺不断发展.综述了微弧氧化、溶胶凝胶和电泳沉积等制备陶瓷薄膜常用工艺的研究进展,分析了工艺参数对陶瓷膜组织结构和性能的影响.目前,制备工艺正向着电子束、离子束和激光束之间的组合和其工艺间复合的方向发展,陶瓷薄膜正向着多元膜、多层膜、梯度膜和纳米复合膜方向发展. 展开更多
关键词 陶瓷薄膜 制备工艺 研究进展 纳米复合膜 梯度膜 多层膜 多元膜
在线阅读 下载PDF
微扰法测量介质陶瓷薄膜的介电特性 被引量：4
19
作者 金浩 董树荣 +1 位作者 王德苗 谢银芳 《微波学报》 CSCD 北大核心 2003年第3期67-71,共5页
对于介质陶瓷薄膜 ,特别是厚度小于 1μm的介质陶瓷薄膜 ,我们提出了一种新的基于微扰理论的测量方法 ,本文对该方案进行了理论推导 ,获得了计算介质陶瓷薄膜复介电常数和Qf的公式 ,并设计了实际的测试方案 ,以具体的介质陶瓷薄膜作了... 对于介质陶瓷薄膜 ,特别是厚度小于 1μm的介质陶瓷薄膜 ,我们提出了一种新的基于微扰理论的测量方法 ,本文对该方案进行了理论推导 ,获得了计算介质陶瓷薄膜复介电常数和Qf的公式 ,并设计了实际的测试方案 ,以具体的介质陶瓷薄膜作了测试验证和误差分析。结果表明 ,该方案是可行的 ,测量结果具有较高的精度 ( 7% ) 。 展开更多
关键词 介质陶瓷薄膜 微扰法 复介电常数 介电特性
在线阅读 下载PDF
陶瓷衬底上淀积薄膜α－Fe_2O_3材料的微结构和气敏特性研究 被引量：3
20
作者 柴常春 彭军 +1 位作者 郭振琪 镇桂芹 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1996年第3期493-498,共6页
本文用常压化学气相淀积（ＡＰＣＶＤ）工艺在陶瓷衬底上成功地制备出了具有超微粒结构的α－Ｆｅ_２Ｏ_３气敏薄膜．对所制备的薄膜进行了Ｘ射线衍射分析和扫描电子显微分析（ＳＥＭ）．研究了淀积工艺条件对α－Ｆｅ_２Ｏ_３薄膜的粒... 本文用常压化学气相淀积（ＡＰＣＶＤ）工艺在陶瓷衬底上成功地制备出了具有超微粒结构的α－Ｆｅ_２Ｏ_３气敏薄膜．对所制备的薄膜进行了Ｘ射线衍射分析和扫描电子显微分析（ＳＥＭ）．研究了淀积工艺条件对α－Ｆｅ_２Ｏ_３薄膜的粒度的影响．气敏特性研究表明，用ＡＰＣＶＤＩ艺制备的超微粒α－Ｆｅ_２Ｏ_３薄膜对烟雾呈现出很高的灵敏度和良好的选择性，这种薄膜可用于感烟探测器． 展开更多
关键词 微结构 氧化铁 气敏性 陶瓷薄膜 衬底 淀积
在线阅读 下载PDF
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 2 … 6 下一页 到第 页
关于我们 | 版权声明 | 联系我们 | 帮助中心| 意见反馈
主办单位：上海市教育委员会
技术支持：重庆维普资讯有限公司
渝公网安备 50019002500403号
使用帮助 返回顶部