低损耗薄膜铌酸锂光集成器件的研究进展 被引量：1

1

作者 林锦添 高仁宏 +3 位作者 管江林 黎春桃 姚妮 程亚 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2024年第3期372-394,共23页

近年来得益于薄膜铌酸锂晶圆离子切片技术和低损耗微纳刻蚀工艺的飞速发展,薄膜铌酸锂光集成结构提供了光场紧束缚、快速电光调谐、高效频率转换和声光转换的空前能力,各种高性能的薄膜铌酸锂光集成器件不断涌现,且朝着大规模光集成芯... 近年来得益于薄膜铌酸锂晶圆离子切片技术和低损耗微纳刻蚀工艺的飞速发展,薄膜铌酸锂光集成结构提供了光场紧束缚、快速电光调谐、高效频率转换和声光转换的空前能力,各种高性能的薄膜铌酸锂光集成器件不断涌现,且朝着大规模光集成芯片的方向迅猛发展,为高速信息处理、精密测量、量子信息、人工智能等重要应用提供了全新的发展动力。本文主要围绕铌酸锂晶体发展历史、薄膜铌酸锂离子切片技术发展历程、极低损耗微纳刻蚀技术演化进程,以及高性能的薄膜铌酸锂光集成器件进展进行总结,并展望了未来的发展趋势。 展开更多

关键词 薄膜铌酸锂 微纳加工 光集成器件 非线性光学 电光调制器 光频梳

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基于亚波长光栅辅助定向耦合器的集成铌酸锂偏振分束器 被引量：1

2

作者 陈力 周旭东 +2 位作者 袁明瑞 肖恢芙 田永辉 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2024年第3期465-471,共7页

绝缘体上铌酸锂(LNOI)是实现高速光子集成回路(PICs)的理想平台。通过充分利用铌酸锂(LN)的优势,LNOI平台能够实现高速电光和高效非线性光学集成器件。偏振分束器(PBS)作为分离和组合两种正交偏振光模式的关键无源器件之一,在实现片上... 绝缘体上铌酸锂(LNOI)是实现高速光子集成回路(PICs)的理想平台。通过充分利用铌酸锂(LN)的优势,LNOI平台能够实现高速电光和高效非线性光学集成器件。偏振分束器(PBS)作为分离和组合两种正交偏振光模式的关键无源器件之一,在实现片上偏振复用系统并提升光通信系统数据传输容量方面发挥着至关重要的作用。近年来,基于不同结构的PBS已经被成功实现,其中,基于亚波长光栅辅助定向耦合结构的PBS表现出优异的器件性能和紧凑的器件尺寸。本文基于氮化硅-铌酸锂异质集成的间接刻蚀方案,实现了一种亚波长光栅辅助定向耦合结构的高性能PBS。仿真结果表明,当波长在1500~1600 nm时,器件的偏振消光比均大于24.49 dB。实验数据进一步证实,当波长在1500~1580 nm时,器件偏振消光比均大于18.06 dB。 展开更多

关键词 薄膜铌酸锂集成光子学 氮化硅-铌酸锂 偏振调控器件 偏振分束器 亚波长光栅 定向耦合器

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晶圆级薄膜铌酸锂波导制备工艺与性能表征 被引量：2

3

作者 叶志霖 李世凤 +5 位作者 崔国新 尹志军 王学斌 赵刚 胡小鹏 祝世宁 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2024年第3期426-433,共8页

随着光子集成和光通信技术的快速发展,低损耗波导是实现高效光子传输的关键元件,其性能直接影响整个集成芯片的性能。因此,低损耗波导的制备技术是当前铌酸锂集成光子技术研究的热点和难点。本研究针对晶圆级低损耗薄膜铌酸锂波导的制... 随着光子集成和光通信技术的快速发展,低损耗波导是实现高效光子传输的关键元件,其性能直接影响整个集成芯片的性能。因此,低损耗波导的制备技术是当前铌酸锂集成光子技术研究的热点和难点。本研究针对晶圆级低损耗薄膜铌酸锂波导的制备工艺进行了深入研究,在4英寸的薄膜铌酸锂晶圆上,基于深紫外光刻和电感耦合等离子体刻蚀技术,成功制备出了传输损耗低于0.15 dB/cm的波导,同时刻蚀深度误差控制在10%以内,极大地提高了波导结构的精确度。此外,本研究还提出了一种基于微环谐振腔的晶圆上波导损耗的表征方案,能更精确地评估波导性能。通过测试,发现所制备的波导合格率超过85%,显示出良好的可重复性和可靠性。本文中发展的晶圆级薄膜铌酸锂加工工艺,对推进铌酸锂波导的大规模制备和应用具有重要意义。 展开更多

关键词 薄膜铌酸锂 晶圆级加工 波导损耗测量 深紫外光刻 ICP刻蚀 集成光子技术

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集成铌酸锂光子器件技术的研究进展 被引量：4

4

作者 张涛 何杰 +2 位作者 胡少勤 许昕 张玉蕾 《压电与声光》 CAS 北大核心 2020年第6期837-842,共6页

铌酸锂单晶薄膜(LNOI)具有透光光谱宽,折射率高,二阶非线性高及压电响应大等优点,是一种重要的集成光子学基础材料。LNOI材料具有亚波长尺度的光约束和光电器件的高密度集成能力,能够实现具有更高性能、更低成本的全新器件及应用,给光... 铌酸锂单晶薄膜(LNOI)具有透光光谱宽,折射率高,二阶非线性高及压电响应大等优点,是一种重要的集成光子学基础材料。LNOI材料具有亚波长尺度的光约束和光电器件的高密度集成能力,能够实现具有更高性能、更低成本的全新器件及应用,给光通信和微波光子学带来革命性的变革。该文重点综述了LNOI的制备技术、LNOI电光调制器、LNOI声光调制器和LNOI电光频率梳的最新研究进展,简要讨论了铌酸锂光子器件在制作工艺和系统实现中面临的挑战。 展开更多

关键词 绝缘体上铌酸锂 集成光子器件 铌酸锂单晶薄膜(LNOI)电光调制器 铌酸锂单晶薄膜(LNOI)声光调制器 铌酸锂单晶薄膜(LNOI)光学频率梳

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一种并行多路薄膜铌酸锂电光调制器 被引量：2

5

作者 杨鹏毅 《光通信研究》 北大核心 2024年第6期85-89,共5页

【目的】为了解决现有电光调制器体积大、集成度低和带宽小等技术问题,文章提出了一种并行多路薄膜铌酸锂电光调制器的设计方法,给出了薄膜铌酸锂电光调制器设计原理并分析了微波光传输链路增益和噪声系数指标。【方法】文章通过Lumeric... 【目的】为了解决现有电光调制器体积大、集成度低和带宽小等技术问题,文章提出了一种并行多路薄膜铌酸锂电光调制器的设计方法,给出了薄膜铌酸锂电光调制器设计原理并分析了微波光传输链路增益和噪声系数指标。【方法】文章通过Lumerical Interconnect光学仿真软件,给出了微波光传输链路的仿真模型,分析研究了调制器半波电压对链路增益和噪声系数指标的影响,并对40 GHz 4路集成薄膜铌酸锂电光调制器的核心指标进行了测试。【结果】文章设计的4路集成薄膜铌酸锂电光调制器的插入损耗、半波电压、3 dB带宽和产品尺寸分别为4.5 dB、3.5 V、40 GHz和30 mm×20 mm×10 mm。使用薄膜铌酸锂电光调制器的微波光传输链路噪声系数约为30 dB。【结论】文章所提4路集成薄膜铌酸锂电光调制器比传统铌酸锂电光调制器性能更为优越。 展开更多

关键词 薄膜铌酸锂 电光调制器 并行多路 微波光传输 微波光子

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基于X切薄膜铌酸锂的4×4 MMI耦合器的设计和制造

6

作者 邓冶 李坚平 张振荣 《光通信技术》 北大核心 2024年第4期54-57,共4页

针对多模干涉(MMI)耦合器存在尺寸大、插入损耗高、工艺复杂的问题,在基于X切薄膜铌酸锂(X-cut TFLN)平台上设计了一种基于横电(TE)模式的4×4 MMI耦合器,采用三维时域有限差分(FDTD)方法对MMI区域长度及宽度进行仿真优化,最后根据... 针对多模干涉(MMI)耦合器存在尺寸大、插入损耗高、工艺复杂的问题,在基于X切薄膜铌酸锂(X-cut TFLN)平台上设计了一种基于横电(TE)模式的4×4 MMI耦合器,采用三维时域有限差分(FDTD)方法对MMI区域长度及宽度进行仿真优化,最后根据优化结果并利用电感耦合等离子体(ICP)刻蚀方法在该平台上制造4×4 MMI耦合器。仿真结果表明,优化后的4×4 MMI耦合器总插入损耗为0.36 dB,实际测量插入损耗为0.78 dB。 展开更多

关键词 薄膜铌酸锂 多模干涉耦合器 光子集成 低插入损耗 电感耦合等离子体刻蚀

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高性能硅和铌酸锂异质集成薄膜电光调制器(特邀) 被引量：5

7

作者 孙时豪 蔡鑫伦 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2021年第7期22-24,共3页

硅基光子集成平台因其高集成度、CMOS工艺兼容性等特点在光通信领域受到了广泛的关注,而电光调制器作为光通信系统中最为重要的器件之一,承担着将电信号加载至光信号上的关键作用,为打破硅基调制器的性能限制,可利用硅和铌酸锂的大面积... 硅基光子集成平台因其高集成度、CMOS工艺兼容性等特点在光通信领域受到了广泛的关注,而电光调制器作为光通信系统中最为重要的器件之一,承担着将电信号加载至光信号上的关键作用,为打破硅基调制器的性能限制,可利用硅和铌酸锂的大面积键合技术以及铌酸锂低损耗波导刻蚀技术实现高性能硅和铌酸锂异质集成薄膜电光调制器,目前该类调制器的性能可达半波电压3 V,3 dB电光带宽超过70 GHz,插入损耗小于1.8 dB,消光比大于40 dB。文中对比了硅和铌酸锂异质集成调制器的研究现状并介绍了该异质集成薄膜调制器的结构设计与工艺实现方法。 展开更多

关键词 光通信 硅基光子学 硅和铌酸锂异质集成 薄膜电光调制器

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基于铌酸锂光子线波长分裂器的研究

8

作者 陈明 赵永乐 +1 位作者 牛奔 宋华 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2016年第6期227-230,共4页

在集成光学领域,光波长分裂器对于光信号重新分配具有重要作用。设计了一种光波长分离器,这种器件可以把波长为1.31μm和1.55μm光的TE模式分裂开。该器件基于两个平行铌酸锂光子线的定向耦合器的工作原理,并且可以用有限元法设计和仿... 在集成光学领域,光波长分裂器对于光信号重新分配具有重要作用。设计了一种光波长分离器,这种器件可以把波长为1.31μm和1.55μm光的TE模式分裂开。该器件基于两个平行铌酸锂光子线的定向耦合器的工作原理,并且可以用有限元法设计和仿真。计算稳态场分布表明,波长为1.31μm与1.55μm的光波在空间上可以分离开。并且,1.31μm波的透射率可以达到91%,1.55μm波的透射率可以达到86%。该器件的尺寸只有26.2μm×10.1μm。 展开更多

关键词 集成光学 铌酸锂光子线 波长分裂器 耦合长度

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铌酸锂晶体的缺陷结构 被引量：2

9

作者 刘宏德 王维维 +4 位作者 张中正 郑大怀 刘士国 孔勇发 许京军 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2024年第3期355-371,共17页

铌酸锂是集电光、声光、压电和非线性等性能于一体的人工晶体,在光子学及光电子学等领域具有广泛的应用前景,被誉为“光学硅”或“光子学硅”。近年来随着基于薄膜铌酸锂的集成光子学的迅猛发展,铌酸锂晶体受到更加广泛的关注。然而铌... 铌酸锂是集电光、声光、压电和非线性等性能于一体的人工晶体,在光子学及光电子学等领域具有广泛的应用前景,被誉为“光学硅”或“光子学硅”。近年来随着基于薄膜铌酸锂的集成光子学的迅猛发展,铌酸锂晶体受到更加广泛的关注。然而铌酸锂是一种典型的非化学计量比晶体,其含有大量的本征缺陷,严重影响了晶体性能;同时,铌酸锂晶格对众多杂质离子都有良好的固溶性,而且晶体的性质随着杂质离子的种类和浓度不同产生显著变化。如同单晶硅等半导体材料的缺陷工程,缺陷已经并且必将继续对晶体的性能及铌酸锂集成光子学产生重要影响。本文对铌酸锂晶体的缺陷结构做了一个简要的回顾,尤其是近期涉及薄膜铌酸锂晶体的相关内容,涵盖了本征缺陷结构、非本征缺陷结构、缺陷结构的表征、缺陷结构的理论计算、缺陷结构与晶体性能的构效关系等方面,以期对当前的铌酸锂集成光子学研究贡献微薄之力。 展开更多

关键词 铌酸锂 缺陷结构 薄膜铌酸锂 集成光子学 构效关系

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基于铌酸锂光子线的极化分裂器的设计和仿真 被引量：1

10

作者 薛赞 陈迪 陈明 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2015年第5期694-696,共3页

为了设计一种基于铌酸锂光子线的极化分裂器,采用基于有限元法的电磁仿真软件,对该器件进行了优化和仿真分析,得到了结构尺寸紧凑的设计结果。同时考虑到常规工艺误差的影响,分析了波导宽度变化对器件的透射率的影响。结果表明,极化分... 为了设计一种基于铌酸锂光子线的极化分裂器,采用基于有限元法的电磁仿真软件,对该器件进行了优化和仿真分析,得到了结构尺寸紧凑的设计结果。同时考虑到常规工艺误差的影响,分析了波导宽度变化对器件的透射率的影响。结果表明,极化分裂器的带宽、能量透过率与波导耦合长度有着紧密的联系。 展开更多

关键词 集成光学 极化分裂器 铌酸锂光子线 带宽

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高效铌酸锂薄膜波导模斑转换器设计 被引量：1

11

作者 丁国建 王晓晖 +4 位作者 冯琦 于萍 贾海强 陈弘 汪洋 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2023年第9期273-281,共9页

铌酸锂薄膜光子集成技术在高速光电子领域不断凸显,被广泛用于各种片上功能实现,如电光调制、光频梳、滤波器、非线性光学频率转换器、非线性量子光源、激光器等。在铌酸锂薄膜光子集成技术发展过程中,目前面临的一个重要的技术瓶颈就... 铌酸锂薄膜光子集成技术在高速光电子领域不断凸显,被广泛用于各种片上功能实现,如电光调制、光频梳、滤波器、非线性光学频率转换器、非线性量子光源、激光器等。在铌酸锂薄膜光子集成技术发展过程中,目前面临的一个重要的技术瓶颈就是铌酸锂薄膜纳米波导与单模光纤的高效耦合。针对这一问题,设计了一种基于SiO_(2)、SiON锥形结构以及双层铌酸锂锥形结构的模斑转换器,实现铌酸锂薄膜纳米波导与单模光纤之间模式和能量的高效传递与转换。采用三维有限差分光束传播法对器件结构进行了模拟仿真,并优化了结构参数,可实现与铌酸锂薄膜波导与单模光纤的高效耦合,耦合效率在82.2%~89.0%之间,同时,得到了±1.8μm光纤耦合对准容差,可为下一步制备出高效耦合的铌酸锂薄膜光子器件提供参考。 展开更多

关键词 集成光学 模斑转换器 三维有限差分光束传播法 铌酸锂薄膜 耦合效率 单模光纤

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铌酸锂薄膜微腔激光器研究进展(特邀) 被引量：2

12

作者 罗强 薄方 +2 位作者 孔勇发 张国权 许京军 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2021年第11期43-55,共13页

绝缘体上铌酸锂薄膜凭借铌酸锂晶体优异的光学性能和薄膜器件的易加工和可集成特性,被视为理想的集成光学平台。除了波导、调制器等传输、控制器件方面的研究之外,最近铌酸锂薄膜激光器的研究也取得了显著的进展。文中将对最近迅速发展... 绝缘体上铌酸锂薄膜凭借铌酸锂晶体优异的光学性能和薄膜器件的易加工和可集成特性,被视为理想的集成光学平台。除了波导、调制器等传输、控制器件方面的研究之外,最近铌酸锂薄膜激光器的研究也取得了显著的进展。文中将对最近迅速发展的铌酸锂薄膜微腔激光器的研究现状进行综述。首先,介绍铌酸锂晶体和铌酸锂薄膜稀土离子掺杂的主要技术方案,以及近期有关于稀土离子掺杂铌酸锂薄膜微纳光学器件制备方面的探索;其次,总结近年来掺铒铌酸锂薄膜微盘腔、微环腔激光器方面的研究进展;然后,阐述微腔激光器体系几种常见的实现单模激光器方法的工作机理,介绍研究者们利用"游标效应"调制模式损耗等方式实现掺铒铌酸锂薄膜单模激光器的研究进展;最后,基于目前报导的铌酸锂薄膜激光器研究成果,对目前研究存在的局限性以及未来的研究方向进行了探讨。 展开更多

关键词 铌酸锂薄膜 微腔激光器 集成光学

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一种基于薄膜铌酸锂调制器芯片的新型电光调制器 被引量：2

13

作者 杨鹏毅 李韬 姚宗影 《光通信技术》 2023年第1期73-76,共4页

针对传统铌酸锂电光调制器体积大、带宽小等技术问题,提出了一种基于薄膜铌酸锂调制器芯片的新型电光调制器的设计方法,给出了薄膜铌酸锂电光调制器高频传输仿真模型,详细介绍了薄膜铌酸锂电光调制器的高频信号馈入设计、过渡薄膜基板... 针对传统铌酸锂电光调制器体积大、带宽小等技术问题,提出了一种基于薄膜铌酸锂调制器芯片的新型电光调制器的设计方法,给出了薄膜铌酸锂电光调制器高频传输仿真模型,详细介绍了薄膜铌酸锂电光调制器的高频信号馈入设计、过渡薄膜基板高频阻抗匹配设计,并测试了40 GHz小尺寸薄膜铌酸锂电光调制器的核心指标。测试结果表明:设计的薄膜铌酸锂电光调制器插入损耗、半波电压、3 dB带宽、产品尺寸分别为4.1 dB、3.9 V、40 GHz、30 mm×10 mm×5 mm,比传统铌酸锂电光调制器性能优越。 展开更多

关键词 薄膜铌酸锂 电光调制器 光传输 微波光子

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美哈佛大学研发铌酸锂制造新技术

14

《航天器工程》 CSCD 北大核心 2018年第1期152-152,共1页

据科技部网站2018年1月24日报道,铌酸锂因其电光特性而闻名,已成为最广泛使用的光学材料之一.日前,哈佛大学的研究人员开发出一种技术,使用铌酸锂制造高性能光学微结构,打开了通往超高效集成光子电路、量子光子学及微波G光转换等领域的... 据科技部网站2018年1月24日报道,铌酸锂因其电光特性而闻名,已成为最广泛使用的光学材料之一.日前,哈佛大学的研究人员开发出一种技术,使用铌酸锂制造高性能光学微结构,打开了通往超高效集成光子电路、量子光子学及微波G光转换等领域的大门.该项研究使用传统微制造工艺,制造出具有超低损耗和高度光学限制的高质量铌酸锂器件.此成果是集成光子学和铌酸锂光子学的一个重大突破,将使各种光电功能成为可能,并意味着铌酸锂将解决数据中心光链路的关键应用问题. 展开更多

关键词 铌酸锂器件 微制造工艺 哈佛大学 新技术 研发 光学材料 光子学 电光特性

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信息时代的铌酸锂晶体:进展与展望 被引量：5

15

作者 刘宏 桑元华 +2 位作者 孙德辉 王东周 王继扬 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2021年第4期708-715,共8页

铌酸锂晶体具有非线性效应、电光效应、声光效应、光折变效应、压电效应与热释电效应等多种物理特性,在表面声波器件、光电器件、声光器件等方面获得广泛的应用。经历了六十多年的发展,铌酸锂晶体历久弥新,随着材料特性的不断开发,新功... 铌酸锂晶体具有非线性效应、电光效应、声光效应、光折变效应、压电效应与热释电效应等多种物理特性,在表面声波器件、光电器件、声光器件等方面获得广泛的应用。经历了六十多年的发展,铌酸锂晶体历久弥新,随着材料特性的不断开发,新功能、新器件、新应用层出不穷,尤其是铌酸锂单晶薄膜在薄膜滤波器、集成光电器件等领域的性能具有明显优势,被称为新一代信息和通信技术的关键材料。应用器件的发展正迫切要求基质晶体材料的发展,本文通过简述近年来铌酸锂的新发现、新应用,相应地探讨了铌酸锂晶体未来发展方向。 展开更多

关键词 铌酸锂 单晶薄膜 大尺寸 集成光电器件

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铌酸锂电光调制器的研究进展 被引量：5

16

作者 喻千尘 梁雪瑞 马卫东 《光通信技术》 北大核心 2020年第4期37-39,共3页

随着5G技术的飞速发展,高速光通信网络的建设迫在眉睫,而铌酸锂电光调制器是高速光通信中信号调制系统的重要组成部分,提高铌酸锂电光调制器的性能是高速信号调制技术进一步发展的基础。从铌酸锂电光调制器市场情况出发,总结了近年来铌... 随着5G技术的飞速发展,高速光通信网络的建设迫在眉睫,而铌酸锂电光调制器是高速光通信中信号调制系统的重要组成部分,提高铌酸锂电光调制器的性能是高速信号调制技术进一步发展的基础。从铌酸锂电光调制器市场情况出发,总结了近年来铌酸锂电光调制器在各方面可行的改进和研究,比较了各种研究成果,探讨了几种改进方法的优缺点,并进行了相应的实验研究,指出了硅基集成铌酸锂电光调制器在未来通信系统中的远大应用前景。 展开更多

关键词 铌酸锂 电光调制器 集成光子学 小尺度

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铌酸锂晶体的光折变效应 被引量：2

17

作者 郑大怀 张宇琦 +5 位作者 王烁琳 刘宏德 刘士国 孔勇发 薄方 许京军 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2022年第9期1626-1642,共17页

铌酸锂(LiNbO_(3),LN)是一种多功能多用途的人工晶体,被称为“光学硅”。近期以铌酸锂薄膜(LNOI)为平台的集成光子学发展迅速,有将“光学硅”变为现实的趋势。高集成意味着高局域高光强密度,使铌酸锂晶体的光折变效应变得不容忽视。光... 铌酸锂(LiNbO_(3),LN)是一种多功能多用途的人工晶体,被称为“光学硅”。近期以铌酸锂薄膜(LNOI)为平台的集成光子学发展迅速,有将“光学硅”变为现实的趋势。高集成意味着高局域高光强密度,使铌酸锂晶体的光折变效应变得不容忽视。光折变效应是光致折射率变化的简称,是非线性光学的重要组成部分。本文回顾了铌酸锂晶体光折变效应的发现和机理、不同掺杂及掺杂组合对光折变效应的调控,重点介绍了铋镁双掺铌酸锂晶体的光折变性能及相关理论和实验结果,概述了铌酸锂光折变波导和孤子,及基于LNOI的集成光子学器件中的光折变效应,并对未来的研究趋势进行了展望。期待我国发挥铌酸锂光折变研究及LNOI产业化的优势,在光子学芯片的竞争中占据主导地位。 展开更多

关键词 铌酸锂晶体 光折变效应 机制 掺杂 全息存储及显示 集成光子学

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光学超晶格:从体块到薄膜 被引量：3

18

作者 陈海伟 胡小鹏 祝世宁 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2022年第9期1527-1534,共8页

光学超晶格是一种基于准相位匹配技术的非线性光学材料。通过铁电畴工程研制出不同微结构的光学超晶格,可以实现高效灵活的非线性频率转换,并对光场进行多维调控。光学超晶格的基质材料,经历了从体块到薄膜的发展,伴随着两种材料体系超... 光学超晶格是一种基于准相位匹配技术的非线性光学材料。通过铁电畴工程研制出不同微结构的光学超晶格,可以实现高效灵活的非线性频率转换,并对光场进行多维调控。光学超晶格的基质材料,经历了从体块到薄膜的发展,伴随着两种材料体系超晶格制备技术的突破,催生了激光变频技术、非线性光场调控和多功能集成光量子芯片等重要应用。 展开更多

关键词 光学超晶格 体块材料 铌酸锂薄膜 准相位匹配 激光技术 光场调控 集成光子学

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LiNbO_3薄膜的研究进展 被引量：3

19

作者 王新昌 叶志镇 《材料导报》 EI CAS CSCD 2002年第9期26-28,59,共4页

LiNbO_3薄膜具有优良的压电、热释电、声光及非线性光学特性,在光电子学及集成光学等领域有许多重要应用。着重介绍LiNbO_3的结构、性质与薄膜制备技术,以及在光通信领域中的应用。

关键词 研究进展 LINBO3 薄膜 制备 光通信 铌酸锂 结构 性质 集成光学 光电子学 应用

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基于光电混合集成的四通道外调电/光转换组件 被引量：2

20

作者 吕晓萌 伍艺龙 +4 位作者 赵炳旭 张童童 许玮华 廖翱 刘洋志 《光通信技术》 2021年第2期51-54,共4页

由于单片级集成技术面临开发成本高、周期长等问题,提出一种基于光电混合集成封装的四通道外调电/光转换组件。该组件利用光电混合集成技术,采用空间光学透镜耦合代替原有光纤互连方式、传输微带代替传统电缆互连方式、金丝/金带代替传... 由于单片级集成技术面临开发成本高、周期长等问题,提出一种基于光电混合集成封装的四通道外调电/光转换组件。该组件利用光电混合集成技术,采用空间光学透镜耦合代替原有光纤互连方式、传输微带代替传统电缆互连方式、金丝/金带代替传统低频导线方式以及微组装工艺实现多专业裸芯片一体化气密封装代替分离组件混合装配方式,从而达到大幅度压缩体积、提高集成度的目的。测试结果表明:该组件实现了四通道2~18 GHz的电/光转换功能,波长序列满足8个信道200 GHz通道间隔要求,射频指标S21值为-4 dB±3 dB,驻波小于1.5,噪声系数小于23 dB。 展开更多

关键词 微波光子学 光电混合集成 铌酸锂调制器 外调制

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