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题名白光干涉法测量薄膜表面微观不平度的研究
被引量：2
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作者
孙艳
杨玉孝
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机构
空军工程大学航空电子工程系
西安交通大学
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出处
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第2期150-152,共3页
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文摘
文中提出了一种白光干涉法测量薄膜表面微观不平度的方法。无需测量干涉条纹,通过对透明薄膜的反射光谱进行分析,可以测出薄膜的厚度。测试膜片上不同点的厚度,可以得到物体表面微观状貌。该方法测量精度高、对薄膜无破坏作用。薄膜厚度测量范围为0.2～小于20μm,无横向测试范围的限制。在对SiO_2薄膜的测试中,和椭圆偏振仪的测试结果相对照,纵向测量误差小于2nm。文中介绍的测试系统结构简单,测试精度高,测试结果可靠,具有较强的实用性。文章最后给出了对介质薄膜钛酸铅(PbTiO_3)表面的测试研究结果。
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关键词
白光干涉法
薄膜表面微观不平度
光纤
测量
钛酸铅薄膜
厚度
电容器
工作原理
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Keywords
surface roughness
white light interference
fiber
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分类号
TH741.3
[机械工程—光学工程]
TM53
[电气工程—电器]
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