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AlN薄膜腔声谐振器的制备及性能研究被引量：1: 1; 作者胡宽顾豪爽 +3 位作者张凯胡光吴小鹏熊娟《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第A02期735-737,共3页; 采用体硅微细加工工艺制备了基于AlN压电材料的薄膜腔声谐振器，研究了器件结构中谐振区形状和面积对谐振器性能的影响。以X射线衍射仪、扫描电镜表征了AlN压电薄膜的结构及形貌，高频网络分析仪表征谐振器频率特性。测试结果表明，谐... 展开更多; 关键词薄膜腔声谐振器氮化铝压电薄膜频率特性; 在线阅读下载PDF 职称材料

一种新的CDMA手机射频解决方案: 2; 作者肖辉《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2001年第2期45-47,共3页; 介绍了一种新的ＣＤＭＡ手机射频解决方案。首先对射频元器件的发展趋势及ＣＤＭＡ手机的总体结构进行了介绍，然后详细介绍了一系列的手机射频芯片。一种全新技术的双工器技术─爆膜腔声谐振器（ＦＢＡＲ）双工器在本文的最后一部分进... 展开更多; 关键词射频薄膜腔声谐振器 CDMA 手机移动通信; 在线阅读下载PDF 职称材料

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