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铂薄膜电阻温度传感器玻璃密封材料的稳定性能研究 被引量:2
1
作者 吴昊 侯彬 +6 位作者 洪嘉旺 王耀成 李志凯 汪伟 杜少杰 李丽 王晓春 《陶瓷学报》 CAS 北大核心 2024年第2期290-299,共10页
针对铂薄膜电阻温度传感器中绝缘封装过程中存在的气密、绝缘等性能问题,研究了两种玻璃与铂薄膜温度传感器氧化铝基底间浸润性、气密性、绝缘性及热循环稳定性等性能,优选性能最佳的玻璃密封材料应用在铂薄膜温度传感器中。研究结果表... 针对铂薄膜电阻温度传感器中绝缘封装过程中存在的气密、绝缘等性能问题,研究了两种玻璃与铂薄膜温度传感器氧化铝基底间浸润性、气密性、绝缘性及热循环稳定性等性能,优选性能最佳的玻璃密封材料应用在铂薄膜温度传感器中。研究结果表明,热稳定性存在差异SiO_(2)-Ba O-Al_(2)O_(3)-CaO系微晶玻璃与SiO_(2)-B_(2)O_(3)-Al_(2)O_(3)-CaO系微晶玻璃在800℃~1000℃间与氧化铝基底均具有良好的浸润性。SiO_(2)-Ba O-Al_(2)O_(3)-CaO系玻璃与SiO_(2)-B_(2)O_(3)-Al_(2)O_(3)-CaO系玻璃密封材料在800℃、通气压力在20.7 k Pa下的漏气率分别约为0.0073 sccm·cm^(-1)和0.0065 sccm·cm^(-1),绝缘电阻率分别约为21.6×106Ω·cm和31.1×106Ω·cm。此外,在30℃~800℃热循环500次后,两种玻璃表面出现尺寸不一的孔洞,其中,SiO_(2)-Ba O-Al_(2)O_(3)-CaO玻璃经历500次热循环后孔洞尺寸由0.13μm增至15.62μm,而SiO_(2)-B_(2)O_(3)-Al_(2)O_(3)-CaO系玻璃孔洞尺寸变化较小,表面形貌较为致密。以上研究结果表明,SiO_(2)-B_(2)O_(3)-Al_(2)O_(3)-CaO系玻璃具有更加优异的密封性能、高温绝缘性能及热循环稳定性,更适合用于铂薄膜电阻温度传感器的封装工艺。 展开更多
关键词 薄膜电阻温度传感器 玻璃密封材料 浸润性能 密封性能 绝缘性能 热循环稳定性
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康铜薄膜电阻应变传感器的制作 被引量:1
2
作者 黄蕙芬 陈国平 何学梅 《传感技术学报》 CAS CSCD 1992年第3期54-56,共3页
在应变元件与应变膜之间允许直接形成一体的场合下,把应变电阻元件沉积在接受应变的弹性元件上,将使应变传递性能大大改善,这是不言而喻的.但需解决应变电阻膜与接受应变的金属弹性片间的绝缘层问题.本文介绍作者研制的康铜薄膜电阻应... 在应变元件与应变膜之间允许直接形成一体的场合下,把应变电阻元件沉积在接受应变的弹性元件上,将使应变传递性能大大改善,这是不言而喻的.但需解决应变电阻膜与接受应变的金属弹性片间的绝缘层问题.本文介绍作者研制的康铜薄膜电阻应变传感器的制造工艺和测试结果,证实了采用双层介质膜是解决绝缘隔离这一技术难点的良好途径. 展开更多
关键词 康铜 薄膜 电阻 传感器
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电阻应变式土压力传感器的设计方法(一) 被引量:2
3
作者 刘宝有 《传感器技术》 CSCD 1989年第4期1-6,共6页
众所周知,量测土压力是比较困难的,因为土介质和结构物材料的变形特性是变化的,所以要求土压力传惑器与土介质或结构材料的变形特性达到完全匹配是不可能的。一个设计得好的土压力传感器,就是在不完全匹配的情况下,使传感器在量测时的... 众所周知,量测土压力是比较困难的,因为土介质和结构物材料的变形特性是变化的,所以要求土压力传惑器与土介质或结构材料的变形特性达到完全匹配是不可能的。一个设计得好的土压力传感器,就是在不完全匹配的情况下,使传感器在量测时的工作特性按一定的规律变化,所产生的误差是可知的。一、设计土压力传感器的理论依据 几十年来,国内外对土压力传感器进行了大量的理论和实验研究。 展开更多
关键词 土压力 传感器 应变式 电阻
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电阻应变式土压力传感器的设计方法(二) 被引量:1
4
作者 刘宝有 《传感器技术》 CSCD 1989年第5期1-4,共4页
三、弹性元件的计算 本文只简述比较常用的单弹性薄板式土压力传感器及单油腔土压力传感器的弹性元件厚度的计算方法。 (一)弹性敏感元件的计算 单弹性薄板式土压力传感器的弹性敏感元件为一圆形薄板,计算薄板厚度的控制条件有两种,一... 三、弹性元件的计算 本文只简述比较常用的单弹性薄板式土压力传感器及单油腔土压力传感器的弹性元件厚度的计算方法。 (一)弹性敏感元件的计算 单弹性薄板式土压力传感器的弹性敏感元件为一圆形薄板,计算薄板厚度的控制条件有两种,一种由传感器对土介质的变形模量之比E_g/E_s值控制; 展开更多
关键词 传感器 土压力 应变式 电阻 设计
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电阻应变式传感器及其在多个力传感器测试技术中的运用 被引量:8
5
作者 张虎 《实用测试技术》 2001年第5期23-24,共2页
关键词 电阻应变式传感器 传感器 弹性敏感元件 电阻应变
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电阻应变式传感器应变传递影响因素分析 被引量:16
6
作者 许艺青 杨晓翔 +1 位作者 韦铁平 姚进辉 《中国测试》 CAS 北大核心 2018年第1期136-142,共7页
为研究电阻应变式传感器的应变传递机理,基于剪滞理论建立电阻应变式传感器应变传递的三维模型,推导出应变传递函数,利用有限单元法模拟出传感器各部分的应变分布并与理论值进行比较。具体分析粘接层几何参数和力学性能对应变传递的影... 为研究电阻应变式传感器的应变传递机理,基于剪滞理论建立电阻应变式传感器应变传递的三维模型,推导出应变传递函数,利用有限单元法模拟出传感器各部分的应变分布并与理论值进行比较。具体分析粘接层几何参数和力学性能对应变传递的影响。结果表明:在测量过程中,应变片敏感栅中间部位所受的应变最大,并向两端逐渐递减直至为0;敏感栅、基底和胶结层两端均不受力的作用;基底与敏感栅、胶结层与基底之间存在应变过渡区;胶结层的横向宽度越长、厚度越薄和剪切模量越大,敏感栅有效区域长度越长,越有利于应变传递。研究结果对传感器应变片的选择和粘贴具有理论指导意义。 展开更多
关键词 电阻应变式传感器 应变传递 剪滞理论 有限单元法 胶结层
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电阻应变式力传感器低频冲击频率测量电路设计 被引量:1
7
作者 刘健钊 郑丰隆 +2 位作者 王莉莉 孙夕明 董佩 《工矿自动化》 北大核心 2012年第10期73-76,共4页
针对采用压电式力传感器、冲击力传感器测量冲击频率存在成本高、安装不便等问题,设计了一种电阻应变式力传感器低频冲击频率测量电路。该电路根据电阻应变式力传感器的工作原理,首先采用放大电路将传感器输出信号放大,然后运用电压比... 针对采用压电式力传感器、冲击力传感器测量冲击频率存在成本高、安装不便等问题,设计了一种电阻应变式力传感器低频冲击频率测量电路。该电路根据电阻应变式力传感器的工作原理,首先采用放大电路将传感器输出信号放大,然后运用电压比较电路产生方波信号,最后采用单稳态触发电路对方波信号整形,从而得到标准的方波信号。实际应用表明,该电路工作稳定,测量精度较高。 展开更多
关键词 电阻应变式传感器 低频冲击频率 低频冲击频率测量 冲击力
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电阻应变式称重传感器迟滞性建模及实验研究 被引量:8
8
作者 王靖 高贵军 +2 位作者 寇子明 张昕 薛政宇 《机电工程》 CAS 北大核心 2021年第2期191-197,共7页
针对由于电阻应变式称重传感器的迟滞性对称重系统造成的误差问题,对电阻应变式称重传感器的工作原理进行了分析,对电阻应变式称重传感器进行迟滞性补偿的Preisach模型数值实现方法进行了研究。提出了一种改进的Preisach模型数值实现方... 针对由于电阻应变式称重传感器的迟滞性对称重系统造成的误差问题,对电阻应变式称重传感器的工作原理进行了分析,对电阻应变式称重传感器进行迟滞性补偿的Preisach模型数值实现方法进行了研究。提出了一种改进的Preisach模型数值实现方法,并给出了改进后模型的数学计算公式;利用西门子称重模块对改进前和改进后的Preisach模型数值实现方法进行了实验研究。研究结果表明:相较于改进前Preisach模型的数值实现方法,改进后的Preisach模型的数值实现方法,在增加状态载荷大于递减历史极大值和降低状态载荷小于递增历史极小值的情况下,其计算结果误差更小,实验中最大误差可由10.26%减小到1.66%;随着实验次数的增加,改进后的Preisach模型的数值实现方法有效地减小了误差的累加,为电阻应变式称重传感器的迟滞性提供更加准确的数学模型。 展开更多
关键词 电阻应变式称重传感器 迟滞性 PREISACH模型 状态载荷
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电阻应变式测力传感器的设计与性能研究 被引量:3
9
作者 陈双健 《农机使用与维修》 2023年第2期11-14,共4页
目前我国农业机械生产相关力学传感器、热敏传感器和气体传感器及其核心部件90%以上依赖进口,因此,需要对核心技术进行突破与发展,逐步提高我国自主研发水平。以农业机械受力监测传感器研制为主要目标,研制一种新型电阻应变式测力传感器... 目前我国农业机械生产相关力学传感器、热敏传感器和气体传感器及其核心部件90%以上依赖进口,因此,需要对核心技术进行突破与发展,逐步提高我国自主研发水平。以农业机械受力监测传感器研制为主要目标,研制一种新型电阻应变式测力传感器,系统论述其基本结构与工作原理,并开展力学特性分析与检测,研究结果表明,所设计的电阻应变式测力传感器可以满足旋耕机田间工作时的受力及疲劳监测要求,其应用经济效益和社会效益均具有显著的优势。研究结果可以为农业机械化和智能化生产、制造提供技术支持。 展开更多
关键词 传感器 电阻应变式 农业机械 智能化
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利用电阻应变式称重传感器测量木材含水率的理论分析 被引量:1
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作者 付琼 马玲 +3 位作者 涂洪森 吴晓峰 栾奕 谭志域 《林业机械与木工设备》 北大核心 2004年第3期34-35,共2页
关键词 电阻应变式称重传感器 测量 木材 含水率 工作原理 电阻应变
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镍薄膜电阻作为多功能传感器的温度敏感元件 被引量:8
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作者 王蔚 刘晓为 +1 位作者 王喜莲 马战 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第3期378-380,共3页
为解决铝薄膜和银薄膜电阻率小、热敏电阻灵敏度低、耐腐蚀性差、工作温度低等问题 ,提出镍薄膜电阻可以作为温度敏感元件集成在压力传感器上 .对镍薄膜热敏电阻的制备方法、温度敏感特性进行了分析与实验研究 ,并将其集成在耐高温压力... 为解决铝薄膜和银薄膜电阻率小、热敏电阻灵敏度低、耐腐蚀性差、工作温度低等问题 ,提出镍薄膜电阻可以作为温度敏感元件集成在压力传感器上 .对镍薄膜热敏电阻的制备方法、温度敏感特性进行了分析与实验研究 ,并将其集成在耐高温压力传感器上 ,对制备的压力 -温度多功能传感器进行了测试 .结果表明传感器可在室温至 2 0 0℃温度范围工作并达到较高精度 ,可以推广使用 . 展开更多
关键词 薄膜电阻 温度敏感元件 多功能传感器
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微型热敏传感器的薄膜电阻设计研究 被引量:3
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作者 刘奎 苑伟政 +2 位作者 邓进军 马炳和 姜澄宇 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期202-204,共3页
应用微型热敏传感器薄膜电阻的电阻温度系数设计方法,得到基于热敏电阻的电阻温度系数的计算和设计参数.结合针对流体壁面剪应力测量的应用要求,分析多晶硅和铂金属热敏电阻的优缺点,并且对试验电阻进行电阻温度系数和时间常数的分析计... 应用微型热敏传感器薄膜电阻的电阻温度系数设计方法,得到基于热敏电阻的电阻温度系数的计算和设计参数.结合针对流体壁面剪应力测量的应用要求,分析多晶硅和铂金属热敏电阻的优缺点,并且对试验电阻进行电阻温度系数和时间常数的分析计算,依据计算结果确定微型热敏传感器薄膜电阻的基体材料、薄膜材料和特征尺寸等参数,为微型热敏传感器的实际应用提供参考依据和分析方法. 展开更多
关键词 微型传感器 热敏元件 薄膜电阻 电阻温度系数
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二氧化锡薄膜气敏传感器对常见室内污染气体的电阻-温度特性及机理分析 被引量:5
13
作者 孙兰侠 季振国 +3 位作者 杜娟 周强 陈琛 赵丽娜 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2005年第1期47-49,52,共4页
采用无机试剂 (SnCl2 ·2H2 O)为原料 ,用溶胶 凝胶提拉法制备了二氧化锡薄膜及相应的气敏传感器 ,并研究了二氧化锡薄膜气敏传感器在常见室内污染气体气氛中的电阻 - 温度变化关系。结果发现不同气氛下电阻 温度特性各不相同 ,... 采用无机试剂 (SnCl2 ·2H2 O)为原料 ,用溶胶 凝胶提拉法制备了二氧化锡薄膜及相应的气敏传感器 ,并研究了二氧化锡薄膜气敏传感器在常见室内污染气体气氛中的电阻 - 温度变化关系。结果发现不同气氛下电阻 温度特性各不相同 ,由此可以获得被测气体的相关信息。本文还用分子轨道计算软件对四种室内污染气体的分子轨道进行了计算 ,并根据分子轨道能级的相对位置定性解释了二氧化锡薄膜气敏传感器在不同气氛中的电阻 温度曲线。通过对甲醛、苯、甲苯、二甲苯四种气体电阻 温度曲线的测试可以确定被测气体的种类。 展开更多
关键词 二氧化锡薄膜 气敏传感器 溶胶-凝胶法 电阻-温度曲线
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金属薄膜式热敏电阻器在压力传感器中的应用 被引量:5
14
作者 王蔚 刘晓为 +1 位作者 王喜莲 刘玉强 《传感器技术》 CSCD 2000年第2期44-46,共3页
金属薄膜式热敏电阻器应用于压力传感器中 ,即可以测温 ,又可以对压力进行温度补偿 ,研究了金属薄膜式电阻器的温度特性和制备工艺 ,讨论了铂、镍、银薄膜式电阻器在压力传感器中的应用。
关键词 金属薄膜 热敏电阻 压力传感器
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流量传感器中敏感薄膜电阻制备及其特性分析 被引量:1
15
作者 齐虹 李玉玲 +2 位作者 王晓光 张岩 寇文兵 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2016年第5期12-14,共3页
通过对热膜式流量传感器中敏感薄膜电阻制备技术的研究,分别介绍了流量传感器中敏感薄膜电阻设计的基本原理、敏感薄膜生长方法及一些具体应用实例。分析了影响薄膜黏附性和内应力的工艺因素,提高了敏感薄膜电阻的温度系数,制作出了具... 通过对热膜式流量传感器中敏感薄膜电阻制备技术的研究,分别介绍了流量传感器中敏感薄膜电阻设计的基本原理、敏感薄膜生长方法及一些具体应用实例。分析了影响薄膜黏附性和内应力的工艺因素,提高了敏感薄膜电阻的温度系数,制作出了具有良好稳定性和一致性的敏感薄膜电阻,满足流量传感器的使用要求。使流量传感器重复性可达±1%,该制备方法适用于热膜式流量传感器的小批量生产。 展开更多
关键词 流量传感器 敏感薄膜电阻 温度系数
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基于薄膜电阻的新型光纤电流传感器的研究 被引量:4
16
作者 贾丹平 高浠萌 王大力 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2016年第4期8-10,共3页
为了满足电力需求,在高压直流输电技术的基础上,提出了基于薄膜电阻的新型无源光纤电流传感器的设计方案。在实验室条件下,为金属薄膜电阻选取合适的性能参数,利用有限元热分析ANSYS软件对传感器部分进行建模分析,搭建实验平台,根据荧... 为了满足电力需求,在高压直流输电技术的基础上,提出了基于薄膜电阻的新型无源光纤电流传感器的设计方案。在实验室条件下,为金属薄膜电阻选取合适的性能参数,利用有限元热分析ANSYS软件对传感器部分进行建模分析,搭建实验平台,根据荧光余辉特性得知,荧光寿命τ与温度存在对应关系,采集测量数据,通过前期算法比较,在低压端选择prony算法处理测量数据。结果表明:该方案稳定性高、误差小,理论分析与实验监测结果比较吻合,可完成高压大电流的测量。 展开更多
关键词 高压直流输电 电流传感器 薄膜电阻 光纤 温度 ANSYS仿真 荧光余辉 PRONY算法
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SiC薄膜热敏电阻器及温度传感器 被引量:1
17
作者 田民波 王英华 汤海鹏 《传感器技术》 CSCD 1989年第4期26-31,共6页
利用射频溅射法用烧结多晶碳化硅靶制取了SiC薄膜热敏电阻器;研究并分析了SiC薄膜从非晶态到晶态的转变过程及有关现象;制取了SiC薄膜温度传感器;对非晶态及晶态SiC薄膜温度传感器的电学性能、热稳定性及热敏特性进行了对比和研究。
关键词 SIC薄膜 热敏电阻 温度传感器
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薄膜SOI扩展电阻温度传感器
18
作者 李斌 刘百勇 +1 位作者 郑学仁 黎沛涛 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2003年第5期3-5,共3页
重点阐述了在薄膜SOI上制成的扩展电阻温度(SRT)传感器的阻温特性(R-T).利用器件二维模拟软件PISCES研究了最高工作温度(Tmax)的Si膜厚度效应,模拟结果表明,在相同的衬底掺杂浓度下,Si膜厚度越薄,器件的Tmax越高.实验结果也验证了这一点... 重点阐述了在薄膜SOI上制成的扩展电阻温度(SRT)传感器的阻温特性(R-T).利用器件二维模拟软件PISCES研究了最高工作温度(Tmax)的Si膜厚度效应,模拟结果表明,在相同的衬底掺杂浓度下,Si膜厚度越薄,器件的Tmax越高.实验结果也验证了这一点,薄膜SOISRT传感器不仅具有非常好的器件特性,Tmax高至450℃以上,而且它的工作偏置电流低至1μA,比体Si SRT传感器小103倍.因此,薄膜SOISRT传感器具有很广阔的低功耗应用前景. 展开更多
关键词 扩展电阻 温度传感器 阻温特性 薄膜SOI SRT
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高精度应变式三维力传感器研究 被引量:5
19
作者 骆训煌 周兴林 +2 位作者 关佳希 朱攀 张海峰 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2022年第5期64-67,71,共5页
维间耦合误差一直是影响多维力传感器测量精度的一个重要原因,低维间耦合一直是多维力传感器研究中的重要方向。提出一种结构简单的应变式三维力传感器,用于测量X,Y,Z三方向力的大小。介绍了应变式三维力传感器的结构及其测量原理,对其... 维间耦合误差一直是影响多维力传感器测量精度的一个重要原因,低维间耦合一直是多维力传感器研究中的重要方向。提出一种结构简单的应变式三维力传感器,用于测量X,Y,Z三方向力的大小。介绍了应变式三维力传感器的结构及其测量原理,对其进行了静力学仿真分析,确定了弹性体最佳贴片位置。针对应变式三维力传感器的输出信号设计了一种调理电路。实验结果表明:所研制的应变式胎-路三维力传感器较目前的应变式多维力传感器相比,维间耦合误差具有较大改善,最大误差发生在力F_(Z)作用时,维间干扰仅为0.8775%。解耦验证分析表明,所研制的传感器具有较高精度,满足实际大多场合三维力测量精度需求。 展开更多
关键词 三维力传感器 电阻应变式 调理电路 维间耦合 解耦分析
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栅丝型薄膜铂电阻表面温度传感器空间温度测量应用技术 被引量:1
20
作者 端木丹丹 王海清 +1 位作者 郑帮林 沈杰 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2009年第B11期347-349,共3页
介绍了一种在太空空间特殊环境下应用的栅丝型薄膜铂电阻表面温度传感器,详细阐述了传感器的设计方法和制造工艺。结合大量的性能测试和环境试验结果,对可能存在的测量误差进行了分析。试验结果表明,该传感器能够在特殊的太空空间环境... 介绍了一种在太空空间特殊环境下应用的栅丝型薄膜铂电阻表面温度传感器,详细阐述了传感器的设计方法和制造工艺。结合大量的性能测试和环境试验结果,对可能存在的测量误差进行了分析。试验结果表明,该传感器能够在特殊的太空空间环境条件下,完成卫星电池表面温度的长期且较为精确的测量。 展开更多
关键词 栅丝型薄膜电阻 温度传感器 空间温度测量
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