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薄膜弹性模量的若干测试方法及其适用性分析 被引量:4
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作者 黄莉 宋显辉 钱红兵 《实验技术与管理》 CAS 2003年第2期94-96,105,共4页
薄膜科学是一门涉及物理、化学、电子学、材料、力学等诸多学科的边缘学科.目前为止,有关膜的力学性能的研究工作尚未开展的部分还很多,对膜的弹性模量,也没有得到很多这方面的数据.本文列出了几种测试膜弹性模量的方法,并给出了一种将... 薄膜科学是一门涉及物理、化学、电子学、材料、力学等诸多学科的边缘学科.目前为止,有关膜的力学性能的研究工作尚未开展的部分还很多,对膜的弹性模量,也没有得到很多这方面的数据.本文列出了几种测试膜弹性模量的方法,并给出了一种将镀膜试样作为层合薄板,利用其弯曲时挠度与载荷的关系计算膜弹性模量的方法,同时对这几种方法的适用性作了适当的分析与比较. 展开更多
关键词 薄膜测试 弹性模量 测试方法 适用性
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薄膜试片测试法试片图像采集分析系统
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作者 庞宁 黄华 +2 位作者 吴来明 陈建民 齐春 《文物保护与考古科学》 2009年第S1期48-52,共5页
薄膜试片测试法是一种能够全面有效地对博物馆藏展材料进行评估筛选的测试方法,对其腐蚀现象进行图象采集及进行数据化分析能够得到更为客观准确的测试结果。本工作对应该测试法设计了专门图像采集的硬件装置,采用密闭光源和彩色工业摄... 薄膜试片测试法是一种能够全面有效地对博物馆藏展材料进行评估筛选的测试方法,对其腐蚀现象进行图象采集及进行数据化分析能够得到更为客观准确的测试结果。本工作对应该测试法设计了专门图像采集的硬件装置,采用密闭光源和彩色工业摄像机,可以得到清晰的试片图像。软件系统将采集图像、打开原始图像、图像分割处理、材料分级评价等功能模块化,并根据具体功能设计实现了基本应用的可视化界面。实验表明,该系统能够快速、准确地对藏展材料对试片的腐蚀现象进行数据化分析,使藏展材料的评估分级由人工目测走向计算机视觉计算,具有快速、客观、误差小等特点。 展开更多
关键词 薄膜试片测试 试片图像采集分析系统 系统模块化 计算机可视化界面
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全自动薄膜应力仪 被引量:4
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作者 赵升升 程毓 +1 位作者 张小波 梁凯 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第1期98-102,共5页
基于基片弯曲法原理,利用光杠杆放大曲率的方法,本工作研制了一套高精度全自动薄膜应力测试仪。在前期工作的基础上,该仪器实现了样品中心自动定位,样品表面曲率半径高精度测试,以及薄膜残余应力值自动计算等功能。标准光学玻璃圆台表... 基于基片弯曲法原理,利用光杠杆放大曲率的方法,本工作研制了一套高精度全自动薄膜应力测试仪。在前期工作的基础上,该仪器实现了样品中心自动定位,样品表面曲率半径高精度测试,以及薄膜残余应力值自动计算等功能。标准光学玻璃圆台表面曲率半径的实测结果表明,应力仪测试精度达到千分位。此外,TiN薄膜应力沿层深分布的测试结果进一步验证了设备的可靠性。 展开更多
关键词 薄膜应力测试 应力测试 剥层曲率半径法 残余应力
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Bi-Te基薄膜热电材料的研究进展 被引量:7
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作者 郭涛 李硕 +3 位作者 姚雅萱 南波航 徐桂英 任玲玲 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第4期131-143,共13页
热电材料是一种能够实现热能与电能直接转换的功能材料,由于无法有效降低块体热电材料的热导率,其性能研究进展缓慢。自上世纪90年代初Hicks等提出了低维化能够显著提高热电材料性能的理论后,薄膜热电材料开始受到广泛关注。低维化提高... 热电材料是一种能够实现热能与电能直接转换的功能材料,由于无法有效降低块体热电材料的热导率,其性能研究进展缓慢。自上世纪90年代初Hicks等提出了低维化能够显著提高热电材料性能的理论后,薄膜热电材料开始受到广泛关注。低维化提高材料性能的原因主要是材料在低维化后能够产生量子限制效应,使得电子在被压缩维度的运动受到限制。首先,在费米能级附近,与Seebeck系数呈正相关的电子态密度会增大,导致低维热电材料的Seebeck系数相比块体材料显著增大。其次,与块体材料相比,薄膜材料存在更多能够散射声子的晶界,能有效降低晶格热导率。在这两种效应的共同作用下,材料的热电优值(ZT值)能够显著增大。低维热电材料的研究初期主要是通过数学模型和数值计算,从理论上证明量子效应会影响材料的Seebeck系数和电导率,且能实现二者的独立控制,从而提高材料的ZT值。后期的实验数据证明,通过合适的热处理工艺能够有效降低薄膜材料的缺陷,提高其综合性能。因此,热处理工艺的改进对性能的提升也非常重要。热电材料性能的提升离不开制备工艺的进步。为了获得低维化的热电材料,多种薄膜材料制备工艺被用于样品的制备,且不同的制备工艺各有优缺点。Bi-Te基合金不仅可用于低温发电还可用于低温制冷,是目前应用最广泛的低温热电材料,虽然其块体状态下的热电性能研究已趋于完善,但其薄膜状态下热电性能的理论研究还相差甚远,因此Bi-Te基低温薄膜热电材料成为研究热点。本文介绍了国内外采用不同制备工艺生长Bi-Te基热电薄膜材料的发展状况以及热电性能测试方法,提出了在目前发展薄膜热电材料时需要重点关注的方面,并对低维热电材料的发展方向进行了阐述。 展开更多
关键词 Bi-Te基合金 薄膜热电材料 薄膜材料制备工艺 薄膜热电材料性能测试
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干涉条纹图像处理的相位解包新方法 被引量:9
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作者 万文博 苏俊宏 +1 位作者 杨利红 徐均琪 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2011年第1期70-74,178,共6页
干涉图的处理是光干涉计量中的关键技术。采用泰曼-格林型干涉系统,建立被测物与干涉相位之间的数学模型,通过MATLAB软件,实现对被测参数的自动化测量。基于二维快速傅里叶方法的基本原理,提出一种新的相位解包算法——菱形种子算法,通... 干涉图的处理是光干涉计量中的关键技术。采用泰曼-格林型干涉系统,建立被测物与干涉相位之间的数学模型,通过MATLAB软件,实现对被测参数的自动化测量。基于二维快速傅里叶方法的基本原理,提出一种新的相位解包算法——菱形种子算法,通过识别1个种子点,然后依次向相邻4点扩展,再把这4个点作为第二批种子点,依次向各自的4点邻域扩展,以菱形轨迹遍历所有的有效信息点,以到达整幅图像相位解包的目的。采用该算法测量薄膜样片的厚度,测试结果与ZYGO测试结果比较,PV误差为0.036 4λ,RMS最大误差为0.003λ,证明该算法虽然处理的是单幅干涉图,但可以得到高精度的相位分布。 展开更多
关键词 干涉图 二维快速傅里叶法 相位解包 薄膜测试
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