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工件位置对薄膜沉积速率的影响
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作者 郑锦华 许璐 +1 位作者 范忠雷 马新灵 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第5期1030-1035,共6页
研究发现在实际的DLC薄膜沉积过程中,薄膜的沉积速率与工件所处的位置有关,在同一装置内沿轴向取30 mm为间隔放置工件进行薄膜沉积,沉积一小时后三个工件表面薄膜沉积厚度依次为2.4μm、2.1μm、1.8μm。通过有限元模拟软件Ansys对这种... 研究发现在实际的DLC薄膜沉积过程中,薄膜的沉积速率与工件所处的位置有关,在同一装置内沿轴向取30 mm为间隔放置工件进行薄膜沉积,沉积一小时后三个工件表面薄膜沉积厚度依次为2.4μm、2.1μm、1.8μm。通过有限元模拟软件Ansys对这种现象进行了分析,沉积装置内部气体的压强和气体质量分数分布变化不大,而装置不同位置处工件表面气体流速和气体密度有明显的变化,三个工件表面气体流速依次为0.072~0.103 m/s,0.089~0.121 m/s,0.114~0.148 m/s,气体密度为6.37e^(-5)kg/m3,5.81e^(-5)kg/m3,5.18e^(-5)kg/m3。因此,在沉积过程中,不同位置处的薄膜沉积速率的主要影响因素是气体流速和气体密度。 展开更多
关键词 类金刚石薄膜 薄膜沉积厚度 ANSYS 气体密度 气体流速
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