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薄膜微结构的近红外透射诱导增强特性 被引量:4
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作者 葛少博 刘卫国 +6 位作者 周顺 杨鹏飞 李世杰 黄岳田 孙雪平 林大斌 张进 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第7期190-200,共11页
在SiNx薄膜中引入微金字塔结构,综合利用包含界面的薄膜光学微结构的折射、衍射与干涉现象,实现透反射的调控.通过单点金刚石切削与纳米压印、等离子体各向异性刻蚀技术相结合,将大面积、高效率、低成本的微结构制备方法推广至光学薄膜... 在SiNx薄膜中引入微金字塔结构,综合利用包含界面的薄膜光学微结构的折射、衍射与干涉现象,实现透反射的调控.通过单点金刚石切削与纳米压印、等离子体各向异性刻蚀技术相结合,将大面积、高效率、低成本的微结构制备方法推广至光学薄膜中,实现了多种尺寸的金字塔薄膜微结构的制备,结构单元尺寸可以在1.5~10μm之间进行调控.光谱特性检测结果表明,SiNx薄膜微金字塔结构阵列在近红外至长波红外波段,表现出超宽波段的减反射特性;在0.8~2.5μm的近红外波段,反射率低于1.0%;在3~5μm的中红外波段,反射率小于2.5%;在10~12μm长波红外波段,平均反射率低于5%;与传统的四分之一波长抗反射膜系相比,SiNx薄膜微金字塔结构阵列的减反射效果的实现,无需膜系设计时的折射率匹配,简化了膜系结构.研究发现SiNx薄膜微金字塔结构阵列的近红外透射诱导增强特性,高度为2~4μm的SiNx薄膜微金字塔结构阵列,均在2.1μm波长处出现明显的透射诱导增强效应,且高为4μm,底宽为8μm的微金字塔结构阵列的透射增强作用最为明显,透射率达到了96%以上.实验检测与仿真分析证明,透射增强的位置和强度由微结构的形貌尺寸及其结构比例关系决定. 展开更多
关键词 薄膜微结构 单点金刚石切削 纳米压印 减反射 透射增强
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薄膜微结构换能元温度测量技术研究 被引量:2
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作者 张一中 韦学勇 +4 位作者 张国栋 赵玉龙 平川 张蕊 任炜 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2022年第8期1011-1017,共7页
为了适应火工品微型化、集成化和智能化等发展趋势,薄膜微结构换能元的引发温度测试已成为一项亟需解决的关键问题。采用MEMS技术将薄膜铂电阻和薄膜微结构换能元集成在氮化硅基底上,利用原子力显微镜等设备对薄膜铂电阻的几何尺寸进行... 为了适应火工品微型化、集成化和智能化等发展趋势,薄膜微结构换能元的引发温度测试已成为一项亟需解决的关键问题。采用MEMS技术将薄膜铂电阻和薄膜微结构换能元集成在氮化硅基底上,利用原子力显微镜等设备对薄膜铂电阻的几何尺寸进行了表征,通过实验测量了薄膜微结构换能元在不同直流激励下铂电阻的阻值变化,从而得到了薄膜微结构换能元的温度响应曲线。此外,测得斯蒂芬酸铅的点火温度平均为318℃,与理论值330~350℃接近,验证了将薄膜铂电阻与薄膜微结构换能元集成于一体测量微小尺寸条件下发火温度的可行性与有效性。 展开更多
关键词 MEMS火工品 引发温度 薄膜微结构换能元 薄膜铂电阻
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不同衬底制备硅薄膜的微结构研究 被引量:5
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作者 李红菊 张丽伟 +2 位作者 杨根 赵剑涛 张宇翔 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期1318-1321,共4页
本文用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术,在普通玻璃衬底、未织构的氧化锌掺铝(AZO)覆盖的普通玻璃衬底和石英衬底上室温下制备了微晶硅薄膜。然后用快速光热退火炉(RTP)在600℃下对样品进行了7m in的退火处理,借助Ram an和SEM对退... 本文用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术,在普通玻璃衬底、未织构的氧化锌掺铝(AZO)覆盖的普通玻璃衬底和石英衬底上室温下制备了微晶硅薄膜。然后用快速光热退火炉(RTP)在600℃下对样品进行了7m in的退火处理,借助Ram an和SEM对退火前后硅薄膜微结构进行了研究,并用声子限域理论和纳晶表面效应对实验现象进行了分析。结果表明:(1)薄膜沉积过程中,衬底结构对薄膜微结构有重要影响,相对来说石英衬底上沉积的硅薄膜最容易晶化,其次是玻璃衬底,再其次是未织构的AZO覆盖的玻璃衬底。初步分析认为,主要是因为衬底的无序结构与硅的晶体结构的失配程度不同造成的影响;(2)退火后,薄膜晶粒尺寸均增大。进一步推测,AZO薄膜微结构随退火的变化将导致硅薄膜微结构受到牵连影响。 展开更多
关键词 拉曼 SEM 薄膜微结构 衬底
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微薄膜超材料复合隔声结构的低频宽带隔声研究 被引量:3
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作者 李安康 杨坤 +1 位作者 彭安 吴恒亮 《噪声与振动控制》 CSCD 北大核心 2023年第3期260-264,共5页
在治理环境噪声方面低频隔声是一个难以解决的顽疾。随着声学超材料的发展,发现由薄膜微结构周期排列构成的轻质隔声材料具有优异的低频隔声性能。研究这种低频隔声材料与传统隔声材料的组合,通过设计这样一种复合结构实现覆盖低频到中... 在治理环境噪声方面低频隔声是一个难以解决的顽疾。随着声学超材料的发展,发现由薄膜微结构周期排列构成的轻质隔声材料具有优异的低频隔声性能。研究这种低频隔声材料与传统隔声材料的组合,通过设计这样一种复合结构实现覆盖低频到中高频的高效宽带隔声。在理论上推导出薄膜微结构的隔声量计算公式及简化公式,同时结合传统均质板的隔声理论,实现对复合隔声结构整体隔声的理论预测。通过对所设计样件的测试验证了理论模型的有效性,结果表明该复合结构具有高效的宽带隔声效果。该研究对低频宽带噪声控制具有较大应用价值。 展开更多
关键词 声学 薄膜微结构 声学超材料 低频宽带隔声 驻波管 声学小样
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脉冲激光沉积法制备立方焦绿石结构的Bi_(1.5)ZnNb_(1.5)O_7薄膜 被引量:4
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作者 张效华 辛凤 +4 位作者 胡跃辉 杨丰 陈义川 范跃农 曾庆明 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第3期232-235,共4页
采用固相反应法合成具有焦绿石立方结构的Bi1.5ZnNb1.507(BZN)陶瓷靶材,采用脉冲激光沉积法在Pt/SiO2/si(100)基片制备立方BZN薄膜。研究了随衬底温度的变化,薄膜的结晶性能,微观形貌以及介电性能的差异。结果表明当衬底温度在... 采用固相反应法合成具有焦绿石立方结构的Bi1.5ZnNb1.507(BZN)陶瓷靶材,采用脉冲激光沉积法在Pt/SiO2/si(100)基片制备立方BZN薄膜。研究了随衬底温度的变化,薄膜的结晶性能,微观形貌以及介电性能的差异。结果表明当衬底温度在550-650℃时,薄膜具有纯的立方BZN结构,并且在600℃时薄膜的晶粒发育比较完整,此时薄膜具有较高的介电常数和较低的损耗。 展开更多
关键词 Bi1.5ZnNb1.5O7薄膜脉冲激光沉积微结构介电性能
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基于仿生平衡棒结构的共振隧穿导航传感器研究 被引量:1
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作者 沈翔 赵立业 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第8期82-90,共9页
家蝇等飞行昆虫利用后翅棒状平衡器检测哥氏力,实现了在空中飞行过程中的快速航行控制。本文基于家蝇后翅微球杆结构建立了一种仿生机械平衡器的运动学模型,并采用MATLAB分析了该模型的航行控制原理。结合家蝇的微球杆平衡结构原理和共... 家蝇等飞行昆虫利用后翅棒状平衡器检测哥氏力,实现了在空中飞行过程中的快速航行控制。本文基于家蝇后翅微球杆结构建立了一种仿生机械平衡器的运动学模型,并采用MATLAB分析了该模型的航行控制原理。结合家蝇的微球杆平衡结构原理和共振隧穿薄膜微结构(resonant tunneling membrane structure,RTS)的力电耦合效应,设计了一种新型的高精度仿生微型棒状导航传感器(bionic micro-stick-shaped navigation sensor,BMSSNS),并研究了BMSSNS的加工工艺、信号检测方式与路径解算方法。基于ANSYS对该BMSSNS结构进行仿真分析,仿真结果表明,给定初始边界条件下,通过测量平衡棒的哥氏力信息和驱动力信息,可积分解算出运动路径。进一步的路径实验研究结果表明,该BMSSNS能有效检测传感器的俯仰,翻滚和偏航的姿态和路径信息,其短时水平和垂直路径定位精度分别达1. 5 mm和0. 5 mm。该传感器能够在小空间、高定位精度要求的场所中实现精确路径定位。 展开更多
关键词 家蝇后翅 航行控制 仿生微型棒状导航传感器 共振隧穿薄膜微结构 仿真与实验
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有机光伏薄膜的力学性能调控与预测
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作者 孙冰 李赛萌 +2 位作者 周康康 彭忠祥 叶龙 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2023年第9期173-181,共9页
有机光伏电池(OPVs)具有颜色丰富、质轻、柔性等优点,在半透明、可穿戴/可拉伸电子器件领域具有极大的应用前景.本文重点评述了高效率有机光伏活性层薄膜的力学性能调整策略,并概述了其力学性能的理论预测模型.首先,简要介绍了薄膜的力... 有机光伏电池(OPVs)具有颜色丰富、质轻、柔性等优点,在半透明、可穿戴/可拉伸电子器件领域具有极大的应用前景.本文重点评述了高效率有机光伏活性层薄膜的力学性能调整策略,并概述了其力学性能的理论预测模型.首先,简要介绍了薄膜的力学性能参数及其测试方法;随后,结合最新实例分别阐述了聚合物∶小分子和全聚合物两类OPVs共混薄膜力学性能的调控方法和理论模型;最后,对有机光电薄膜未来的研究趋势进行了展望. 展开更多
关键词 有机光伏电池 力学性能 弹性模量 共轭高分子 薄膜微结构
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光学薄膜参数测试
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《中国光学》 CAS 2004年第4期68-68,共1页
采用ZYGO Markm一GPI数字波面干涉仪对电子束蒸发方法制备的ZrO:薄膜中的残余应力进行了研究,讨论了沉积温度、沉积速率等工艺参量对ZrO:薄膜残余应力的影响。实验结果表明,随着沉积温度及沉积速率的升高,Zr():薄膜中残余应力状态由张... 采用ZYGO Markm一GPI数字波面干涉仪对电子束蒸发方法制备的ZrO:薄膜中的残余应力进行了研究,讨论了沉积温度、沉积速率等工艺参量对ZrO:薄膜残余应力的影响。实验结果表明,随着沉积温度及沉积速率的升高,Zr():薄膜中残余应力状态由张应力变为压应力,且压应力值随着沉积温度升高而增大。 展开更多
关键词 沉积速率 数字波面干涉仪 沉积温度 电子束蒸发 薄膜残余应力 薄膜微结构 应力状态 工艺参量 张应力 光学薄膜
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薄膜光学锥形光栅的制备与光学特性分析 被引量:4
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作者 葛少博 刘卫国 +2 位作者 周顺 李世杰 杨鹏飞 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2019年第2期342-348,共7页
为了在光学薄膜中引入连续轮廓的微结构,综合利用薄膜的干涉效应与微结构的折反射、衍射效应,提出一种薄膜光学微结构的制备工艺。基于时域有限差分方法设计了具有可见光波段减反射特性的薄膜光学锥形光栅;采用单点金刚石车削技术,结合... 为了在光学薄膜中引入连续轮廓的微结构,综合利用薄膜的干涉效应与微结构的折反射、衍射效应,提出一种薄膜光学微结构的制备工艺。基于时域有限差分方法设计了具有可见光波段减反射特性的薄膜光学锥形光栅;采用单点金刚石车削技术,结合纳米压印与电感耦合等离子体刻蚀技术,在SiNx薄膜中制备出高1.6μm,周期4.1μm的锥形光栅;在可见光波段,SiNx薄膜光学锥形光栅的平均反射率为5.7%,反射率的实验检测结果与仿真计算结果达到很高的一致性;当入射光角度在30°以内,薄膜光学锥形光栅的减反特性表现出对光波入射角度的不敏感性。该制备工艺突破了单点金刚石车削技术的材料局限,将连续轮廓的微结构的直接形成工艺拓展至介质薄膜当中,实现了宽光谱、宽入射角度的减反射。 展开更多
关键词 薄膜光学微结构 锥形光栅 单点金刚石车削 纳米压印 减反射
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大气红外波段的片上集成式偏振光谱成像器件
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作者 周健宇 李全民 +1 位作者 王劲 黄胜弟 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2024年第4期42-50,共9页
红外探测与遥感是气象观测的核心技术,红外辐射探测仪作为气象卫星的重要载荷,主要用于大气温度、湿度的定量化探测,其探测精度取决于光谱和偏振测量的通道数。常见的技术方案是通过组合滤光片与偏振片转轮实现光谱和偏振的探测,这造成... 红外探测与遥感是气象观测的核心技术,红外辐射探测仪作为气象卫星的重要载荷,主要用于大气温度、湿度的定量化探测,其探测精度取决于光谱和偏振测量的通道数。常见的技术方案是通过组合滤光片与偏振片转轮实现光谱和偏振的探测,这造成了系统体积大、功耗高、通道数少的问题。发展片上集成式偏振光谱成像器件是解决上述问题的有效方法,已有研究主要采用薄膜谐振腔或共振微结构的阵列化方案,但二者都无法兼顾光谱和偏振选择的要求。有鉴于此,提出了一种基于薄膜微结构耦合调控的设计新思路,以13μm附近的大气红外波段为例,实现了片上集成式的偏振光谱成像,6个通道的平均透过率和消光比分别达到了94%和30。该器件有望在将来被广泛应用于偏振光谱成像领域中,同时,由于该器件对基底折射率并不敏感,基底的选择也会更加自由。 展开更多
关键词 大气红外 片上集成 薄膜微结构 偏振光谱成像
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Microstructure and electrical properties of La_2 O_3-doped ZnO-based varistor thin films by sol-gel process 被引量:1
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作者 徐东 姜斌 +4 位作者 崔凤单 杨永涛 徐红星 宋琪 于仁红 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS 2014年第1期9-13,共5页
Microstructure and electrical properties of La2 O3-doped ZnO-Bi2 O3 thin films prepared by sol–gel process have been investigated.X-ray diffraction shows that most diffraction peaks of ZnO are equal,and the crystals ... Microstructure and electrical properties of La2 O3-doped ZnO-Bi2 O3 thin films prepared by sol–gel process have been investigated.X-ray diffraction shows that most diffraction peaks of ZnO are equal,and the crystals of ZnO grow well.Scanning electron microscopy and atomic force microscopy results indicate that the samples have a good structure and lower surface roughness.The nonlinear V–I characteristics of the films show that La2 O3 develops the electrical properties largely and the best doped content is 0.3% lanthanum ion,with the leakage current of 0.25 mA,the threshold field of 150 V/mm and the nonlinear coefficient of 4.0 in detail. 展开更多
关键词 zinc oxide VARISTOR FILM sol-gel process electrical properties MICROSTRUCTURE
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Microstructure and abrasive wear behaviour of anodizing composite films containing Si C nanoparticles on Ti6Al4V alloy 被引量:6
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作者 李松梅 郁秀梅 +3 位作者 刘建华 于美 吴量 杨康 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS 2014年第12期4415-4423,共9页
Anodized composite films containing Si C nanoparticles were synthesized on Ti6Al4 V alloy by anodic oxidation procedure in C4O6H4Na2 electrolyte. Scanning electron microscopy(SEM), energy dispersive spectroscopy(EDS) ... Anodized composite films containing Si C nanoparticles were synthesized on Ti6Al4 V alloy by anodic oxidation procedure in C4O6H4Na2 electrolyte. Scanning electron microscopy(SEM), energy dispersive spectroscopy(EDS) and X-ray photoelectron spectroscopy(XPS) were employed to characterize the morphology and composition of the films fabricated in the electrolytes with and without addition of Si C nanoparticles. Results show that Si C particles can be successfully incorporated into the oxide film during the anodizing process and preferentially concentrate within internal cavities and micro-cracks. The ball-on-disk sliding tests indicate that Si C-containing oxide films register much lower wear rate than the oxide films without Si C under dry sliding condition. Si C particles are likely to melt and then are oxidized by frictional heat during sliding tests. Potentiodynamic polarization behavior reveals that the anodized alloy with Si C nanoparticles results in a reduction in passive current density to about 1.54×10-8 A/cm2, which is more than two times lower than that of the Ti O2 film(3.73×10-8 A/cm2). The synthesized composite film has good anti-wear and anti-corrosion properties and the growth mechanism of nanocomposite film is also discussed. 展开更多
关键词 Ti6Al4V alloy anodic oxidation Si C nanoparticle composite film
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Preparation and characterization of nanocrystalline SnO_2 thin film by electrodeposition technique 被引量:2
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作者 何则强 李新海 +4 位作者 熊利芝 麻明友 吴显明 肖卓炳 刘文萍 《Journal of Central South University of Technology》 EI 2005年第4期437-442,共6页
A novel process for preparing tin oxide thin films directly on copper foil by electrodeposition was developed. An optimal preparation technology to obtain SnOz thin films was proposed with current density of 8 mA/cm^2... A novel process for preparing tin oxide thin films directly on copper foil by electrodeposition was developed. An optimal preparation technology to obtain SnOz thin films was proposed with current density of 8 mA/cm^2, the time of deposition of 120 min, the concentration of tin dichloride of 0.02 mol/L and the concentration of dissociated acid of 0. 03 mol/L. The phase identification, microstructure and morphology of the thin films were investigated by thermogravimetric analysis and differential thermal analysis, X-ray diffraction, Fourier transform infrared spectra,scanning electron microscopy and transmission electron microscopy. The as-deposited thin film was composed of SnO2·xH2O was obtained by drying at room temperature. Nanocrystalline SnO2 thin film having tetragonal structure with average grain size in the range of 8 to 20 nm and porous, uniform surface was obtained by heat-treating the as-deposited film at 400 ℃ for 2 h. Electrochemical characterization shows that SnO2 film can deliver a discharge capacity of 798 mAh/g and the SnO2 film with smooth surface and annealed at 400 ℃ for 2 h has better cycle performance than that with rough surface and annealed at 150℃ for 10 h. 展开更多
关键词 tin oxidet film ELECTRODEPOSITION lithium ion battery electrochemical properties
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Optical and electrical properties of room temperature preparedα-IGZO thin films using an In_(2)Ga_(2)ZnO_(7) ceramic target
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作者 ZHANG Yu CHEN Jie +5 位作者 SUN Ben-shuang LIU Shuai WANG Zhi-jun LIU Shu-han SHU Yong-chun HE Ji-lin 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS CSCD 2022年第4期1062-1074,共13页
In this study,a high-purity In_(2)Ga_(2)ZnO_(7) ceramic target was used to deposit indium gallium zinc oxide(IGZO)films by RF magnetron sputtering technology.The microstructure,growth state,optical and electrical prop... In this study,a high-purity In_(2)Ga_(2)ZnO_(7) ceramic target was used to deposit indium gallium zinc oxide(IGZO)films by RF magnetron sputtering technology.The microstructure,growth state,optical and electrical properties of the IGZO films were studied.The results showed that the surface of the IGZO film was uniform and smooth at room temperature.As the substrate temperature increased,the surface roughness of the film gradually increased.From room temperature to 300℃,all the films maintained amorphous phase and good thermal stabilities.Moreover,the transmission in the visible region decreased from 91.93%to 91.08%,and the band gap slightly decreased from 3.79 to 3.76 eV.The characterization of the film via atomic force microscope(AFM)and X-ray photoelectron spectroscopy(XPS)demonstrated that the film prepared at room temperature exhibited the lowest surface roughness and the largest content of oxygen vacancies.With the rise in temperature,the non-homogeneous particle distribution,increase in the surface roughness,and reduction in the number of oxygen vacancies resulted in lower performance of theα-IGZO film.Comprehensive analysis showed that the best optical and electrical properties can be obtained by depositing IGZO films at room temperature,which indicates their potential applications in flexible substrates. 展开更多
关键词 oxide ceramic sputtering film microstructure photoelectric performance
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Local segregation in Cu-In precursors and its effects on microstructures of selenized CuInSe_2 thin films
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作者 方玲 张弓 +2 位作者 庄大明 赵明 吴敏生 《Journal of Central South University of Technology》 2005年第1期13-16,共4页
Local segregation in Cu-In precursors and its effects on the element distribution and microstructures of selenized CuInSe2 thin films were investigated. Cu-In precursors with an ideal total mole ratio of Cu to In of 0... Local segregation in Cu-In precursors and its effects on the element distribution and microstructures of selenized CuInSe2 thin films were investigated. Cu-In precursors with an ideal total mole ratio of Cu to In of 0.92 were prepared by middle frequency alternating current magnetron sputtering with Cu-In alloy target, then CuInSe2 absorbers for solar cells were formed by selenization process in selenium atmosphere. Scanning electron microscope and energy dispersive X-ray spectroscope were used respectively to observe the surface morphologies and determine the compositions of both Cu-In precursors and CuInSe2 thin films. Their microstructures were characterized by X-ray diffractometry and Raman spectroscope. The results show that Cu-In precursors are mainly composed of (Cu11In9) phase with In-rich solid solution. Stoichiometric CuInSe2 thin films with a homogeneous element distribution and single chalcopyrite phase can be synthesized from a segregated Cu-In precursor film with an ideal total mole ratio of Cu to In of 0.92. CuInSe2 thin film shows P-type conductivity and its resistivity reaches 1.2×103Ω·cm. 展开更多
关键词 solar cell Cu-In precursor CuInSe_2 thin film SELENIZATION magnetron sputtering
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