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硅微机械结构的微电流型电化学气体传感器
被引量：
3
1
作者
周仲柏
吴青海
刘炯权
《传感器技术》
CSCD
1996年第5期20-23,共4页
探索研究了用于构制以硅为基体材料、具有特定三维微结构的微电流型电化学气体传感器的微加工工艺，提出了双面光刻、高硼掺杂腐蚀止停、化学各向异性刻蚀和硅表面多层膜剥离成形等既实用而又相容的硅微机械加工关键技术。如此构制的微...
探索研究了用于构制以硅为基体材料、具有特定三维微结构的微电流型电化学气体传感器的微加工工艺，提出了双面光刻、高硼掺杂腐蚀止停、化学各向异性刻蚀和硅表面多层膜剥离成形等既实用而又相容的硅微机械加工关键技术。如此构制的微电流型电化学气体传感器，在器件结构、检测灵敏度、电流响应的稳定重现性等方面，与用传统工艺制成的常规电流型气体传感器相比，具有独特的优点。
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关键词
微电流型
电化学
气体传感器
薄膜微电极
硅
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职称材料
题名
硅微机械结构的微电流型电化学气体传感器
被引量：
3
1
作者
周仲柏
吴青海
刘炯权
机构
武汉大学
出处
《传感器技术》
CSCD
1996年第5期20-23,共4页
基金
中国科学院传感技术国家重点实验室资助
文摘
探索研究了用于构制以硅为基体材料、具有特定三维微结构的微电流型电化学气体传感器的微加工工艺，提出了双面光刻、高硼掺杂腐蚀止停、化学各向异性刻蚀和硅表面多层膜剥离成形等既实用而又相容的硅微机械加工关键技术。如此构制的微电流型电化学气体传感器，在器件结构、检测灵敏度、电流响应的稳定重现性等方面，与用传统工艺制成的常规电流型气体传感器相比，具有独特的优点。
关键词
微电流型
电化学
气体传感器
薄膜微电极
硅
Keywords
Microelectrochemical amperometric gas sensor devices
Thin-film microelectrode
Silicon integrated electrochemical microcell
Silicon micromachining techniques
分类号
TN304.12 [电子电信—物理电子学]
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
硅微机械结构的微电流型电化学气体传感器
周仲柏
吴青海
刘炯权
《传感器技术》
CSCD
1996
3
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