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微极流体薄膜层通过以滑移速度移动的可渗透无限平板时流体特性变化和热辐射对流动和热传导的影响 被引量:2
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作者 M·A·A·哈玛麦德 S·E·瓦希德 《应用数学和力学》 CSCD 北大核心 2012年第5期628-642,共15页
微极流体薄膜层通过按滑移速度移动的可渗透无限竖直平板时,研究热辐射对混合对流薄膜层流动和热传导的影响.假定流体粘度和热传导率变化是温度的一个函数.对一些典型的可变参数值,应用Chebyshev谱方法,数值求解流动的控制方程.将所得... 微极流体薄膜层通过按滑移速度移动的可渗透无限竖直平板时,研究热辐射对混合对流薄膜层流动和热传导的影响.假定流体粘度和热传导率变化是温度的一个函数.对一些典型的可变参数值,应用Chebyshev谱方法,数值求解流动的控制方程.将所得结果与已发表文献的结果进行比较,结果是一致的.绘出并讨论了可变参数对速度、微旋转速度、温度分布曲线、表面摩擦因数和Nusselt数的影响. 展开更多
关键词 微极流体 薄膜层 滑移速度 可变流体特性 热辐射 Chebyshev谱方法
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超级薄膜层临时支护 被引量:1
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作者 梅宁 《建井技术》 北大核心 2003年第6期17-17,共1页
关键词 围岩加固 超级薄膜层 喷射混凝土 支护技术 临时支护 MBT国际公司
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使用热熔液晶单体纤维的印刷超薄膜层的新型丝网
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作者 丁一 《丝网印刷》 2007年第9期13-15,共3页
网版印刷无需高价的设备,作为能简单地形成自数微米至数十微米厚膜的印刷技术,已经实际用于以印刷电路板为首的电子部件、太阳能电池的电极、等离子显示屏的衍生物的印刷等各个领域。已有用网版印刷形成薄膜的尝试,如有机EL元件的发光... 网版印刷无需高价的设备,作为能简单地形成自数微米至数十微米厚膜的印刷技术,已经实际用于以印刷电路板为首的电子部件、太阳能电池的电极、等离子显示屏的衍生物的印刷等各个领域。已有用网版印刷形成薄膜的尝试,如有机EL元件的发光层、有机薄膜晶体管、有机太阳电池的半导体层的形成。 展开更多
关键词 网版印刷 薄膜层 有机薄膜晶体管 丝网 纤维 单体 液晶 热熔
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一种五层共挤薄膜的回收利用与碳足迹分析
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作者 战胜祺 张奥深 +3 位作者 许雪容 周明钰 陈祥慈 郑华明 《印刷与数字媒体技术研究》 北大核心 2025年第1期145-153,共9页
随着人们对塑料制品的需求与日俱增,塑料的污染问题也成为人们关注的重点,其中塑料包装薄膜在其整个生命周期中对环境产生的负面影响,已引起全球公众和政府的高度关注。单一材质制备的多层复合薄膜凭借优越的功能性和成熟的加工工艺,已... 随着人们对塑料制品的需求与日俱增,塑料的污染问题也成为人们关注的重点,其中塑料包装薄膜在其整个生命周期中对环境产生的负面影响,已引起全球公众和政府的高度关注。单一材质制备的多层复合薄膜凭借优越的功能性和成熟的加工工艺,已经成为目前包装材料的研究热点。本研究以低密度聚乙烯(LDPE)、聚乙烯醇(PVA)、茂金属聚乙烯(mPE)为原材料,制备五层共挤聚乙烯复合膜LDPE/mPE/PVA/mPE/LDPE,分析了回收循环方式对薄膜生命周期结果的影响、回收循环次数对分子量的变化影响和回收循环次数对薄膜物理性能的影响。结果表明,与直线型生产相比,回收循环质量分数为10%的五层共挤薄膜,在经过3次循环后,每生产1吨塑料产品可减少309.125kg的CO_(2)排放。通过对比分子量、剪切黏度、物理机械性能和阻隔性的变化,发现本研究使用的回收循环五层共挤薄膜可以在减少碳排放的同时依然具有良好的性能。 展开更多
关键词 单一材质 复合薄膜 生命周期分析 物理性能
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Al/Ca(IO_(3))_(2 )/PVDF基高能杀菌“三明治”结构薄膜的构建及其燃烧性能机理
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作者 陈苏杭 唐魁 +5 位作者 谢晓 唐振华 柯香 秦钊 徐抗震 赵凤起 《火炸药学报》 北大核心 2025年第1期78-87,I0006,共11页
为了提高杀菌高能薄膜的燃烧性能和碘含量,使用Al/Ca(IO_(3))_(2)/30%PVDF膜(30PVDF)封装39%Al/Ca(IO_(3))/(5%或10%)PVDF铝热剂(5PVDF或10PVDF)得到“三明治”结构的3、5、7和9层薄膜,并通过燃速和火焰温度测试以及DSC-TG热分析研究了... 为了提高杀菌高能薄膜的燃烧性能和碘含量,使用Al/Ca(IO_(3))_(2)/30%PVDF膜(30PVDF)封装39%Al/Ca(IO_(3))/(5%或10%)PVDF铝热剂(5PVDF或10PVDF)得到“三明治”结构的3、5、7和9层薄膜,并通过燃速和火焰温度测试以及DSC-TG热分析研究了铝热剂层活性及其分布结构(层数和厚度)对“三明治”结构薄膜燃烧性能和释能效应的影响规律,同时探究了薄膜各组分间的反应温度和反应机理。结果表明,封装39%5PVDF铝热剂“三明治”结构薄膜比封装10PVDF的燃速高18%~35%,表现出更好的燃烧性能,其中5层薄膜具有最大燃速,二者分别为10.2 cm/s和8.6 cm/s,综合了30PVDF膜层的厚度、低燃速和膜-铝热剂层在界面的传质传热效率的影响;并且多层薄膜的平均火焰温度随着铝热剂厚度的减小而增加。DSC-TG结果表明,Al/Ca(IO_(3))_(2)/PVDF基多层薄膜主要在330~410℃发生Al-Ca(IO_(3))_(2)-PVDF释碘放热反应,Ca(IO_(3))_(2)/PVDF(质量为1.55∶1)在320~350℃的剧烈放热反应和燃烧产物中的AlF 3、CaF 2、CaO等进一步证实了该反应的发生。 展开更多
关键词 物理化学 杀菌多薄膜 静电喷雾沉积 燃烧性能调控 Al/Ca(IO_(3))_(2)/PVDF “三明治”结构 铝热剂
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Al/Ni和Al/Ti纳米多层薄膜制备与表征 被引量:5
6
作者 李东乐 朱朋 +3 位作者 付帅 沈瑞琪 叶迎华 华天丽 《含能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第6期749-753,共5页
用磁控溅射法制备了Al/Ni、Al/Ti纳米多层薄膜。用场发射扫描电子显微镜(FESEM)、原子力显微镜(AFM)和X-射线衍射仪(XRD)对其进行了结构表征和成分分析。用差示扫描量热法(DSC)测定了纳米多层薄膜的反应放热量。结果表明:工作压力为0.4 ... 用磁控溅射法制备了Al/Ni、Al/Ti纳米多层薄膜。用场发射扫描电子显微镜(FESEM)、原子力显微镜(AFM)和X-射线衍射仪(XRD)对其进行了结构表征和成分分析。用差示扫描量热法(DSC)测定了纳米多层薄膜的反应放热量。结果表明:工作压力为0.4 Pa,Al、Ni、Ti溅射功率分别为200,220,180 W条件下制备的Al/Ni、Al/Ti多层薄膜表面均匀致密,无尖锐峰,层状结构分明,组成成分分别为Al、Ni和Al、Ti单质状态;Al/Ni、Al/Ti多层薄膜放热量分别为1134.64,918.36 J·g-1,达到理论值的82.2%,80.7%。 展开更多
关键词 军事化学与烟火技术 AL Ni纳米多薄膜 AL Ti纳米多薄膜 磁控溅射 结构表征 热分析
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衬底温度对AZO/Cu/AZO多层薄膜结构及光电特性的影响 被引量:5
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作者 杨田林 张之圣 +4 位作者 宋淑梅 李延辉 吕茂水 韩圣浩 庞智勇 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第9期1209-1213,共5页
采用射频磁控溅射和离子束溅射联合设备在玻璃衬底上制备出了具有良好附着性、低电阻率和高透过率的AZO/Cu/AZO多层薄膜。研究了衬底温度对薄膜的结构和光电特性影响。X射线衍射谱表明AZO/Cu/AZO多层薄膜是多晶膜,AZO层具有六角纤锌矿结... 采用射频磁控溅射和离子束溅射联合设备在玻璃衬底上制备出了具有良好附着性、低电阻率和高透过率的AZO/Cu/AZO多层薄膜。研究了衬底温度对薄膜的结构和光电特性影响。X射线衍射谱表明AZO/Cu/AZO多层薄膜是多晶膜,AZO层具有六角纤锌矿结构,最佳取向为(002)方向,Cu层具有立方结构。当三层薄膜制备过程中,衬底始终加热,衬底温度为100℃时,制备的薄膜具有最高的品质因子2.26×10^(-2)Ω^(-1),其方块电阻为11Ω·□^(-1),在波长500~800nm范围内平均透过率达到了87%。当制备靠近衬底的AZO层,衬底才加热时,发现衬底温度为250℃时,制备的多层薄膜光电特性最优,其方块电阻为8Ω·□^(-1),平均透过率为86%。 展开更多
关键词 AZO 薄膜 离子束溅射 透明导电膜
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钛金属表面结构可控多层钛酸盐纳米管薄膜的制备和结构稳定性 被引量:4
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作者 潘琰 郭玉鹏 +1 位作者 宋文波 刘志辉 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第2期225-229,共5页
在水热条件下,通过控制反应温度和氢氧化钠的浓度,在钛金属表面得到结构可控的多层钛酸盐纳米管薄膜.根据扫描电子显微镜和高倍透射电子显微镜的观测结果,认为钛金属表面多层钛酸盐纳米管薄膜的形成经历以下4个阶段:(1)钛金属的水合和... 在水热条件下,通过控制反应温度和氢氧化钠的浓度,在钛金属表面得到结构可控的多层钛酸盐纳米管薄膜.根据扫描电子显微镜和高倍透射电子显微镜的观测结果,认为钛金属表面多层钛酸盐纳米管薄膜的形成经历以下4个阶段:(1)钛金属的水合和碱性钛酸盐水凝胶的生成;(2)碱性钛酸盐水凝胶分解并形成层状Na2Ti3O7;(3)层状Na2Ti3O7的生长;(4)层状Na2Ti3O7的劈裂和多层卷曲成轴形成纳米管.研究了薄膜形成后机械处理对薄膜形貌和结构稳定性的影响,并利用超声的方法实现了多层膜的层分离. 展开更多
关键词 钛酸盐纳米管 薄膜 稳定性
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基于BCB的薄膜多层基板在毫米波T/R组件中的应用 被引量:8
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作者 张兆华 崔鲁婧 +1 位作者 李浩 王从香 《微波学报》 CSCD 北大核心 2017年第1期63-66,共4页
基于BCB的薄膜多层基板具有优异的高频特性,是毫米波频段多芯片组件集成封装的重要途径。研究了BCB薄膜多层基板在Ka波段相控阵雷达T/R组件中应用的可行性,首先与LTCC基板对比验证了BCB微带线的传输特性,然后研制了功率分配/合成器、穿... 基于BCB的薄膜多层基板具有优异的高频特性,是毫米波频段多芯片组件集成封装的重要途径。研究了BCB薄膜多层基板在Ka波段相控阵雷达T/R组件中应用的可行性,首先与LTCC基板对比验证了BCB微带线的传输特性,然后研制了功率分配/合成器、穿墙过渡等关键微波无源电路,最后设计了八通道的无源组件进行微波性能测试评估,结果表明基于BCB的薄膜多层基板能够满足应用需要。 展开更多
关键词 苯并环丁烯(BCB) 薄膜基板 毫米波 T/R组件
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周期结构对AlTiN多层薄膜结合能影响 被引量:4
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作者 罗庆洪 杨会生 +3 位作者 陆永浩 娄艳芝 于栋利 王燕斌 《航空材料学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第2期45-50,共6页
使用TiAl合金靶,利用中频反应磁控溅射系统,通过交替改变氮气流量的方法,在高速钢(W18Cr4V)基体上沉积了氮含量周期性改变的AlTiN多层薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电镜(FE-SEM)和高分辨透射电镜(HRTEM)等方法研究了AlTiN多... 使用TiAl合金靶,利用中频反应磁控溅射系统,通过交替改变氮气流量的方法,在高速钢(W18Cr4V)基体上沉积了氮含量周期性改变的AlTiN多层薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电镜(FE-SEM)和高分辨透射电镜(HRTEM)等方法研究了AlTiN多层薄膜微观组织和结构;AlTiN多层薄膜的力学以及膜基结合性能用纳米压痕硬度仪和划痕试验得到。结果表明,制备的AlTiN薄膜,尽管交替的两层中氮含量不同,但每一单层都为非晶包裹纳米晶的纳米复合结构,所不同的是,低氮含量层中纳米晶密度较小。多层结构的形成能够很大的提高AlTiN多层薄膜的临界载荷和结合能,同时硬度和弹性模量值均有微小的提高,氮气流量的增加有利于多层膜性能的改善。 展开更多
关键词 中频反应磁控溅射 AlTiN多薄膜 显微结构 结合能
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室温生长AZO/Al2O3叠层薄膜晶体管性能研究 被引量:2
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作者 宁洪龙 曾勇 +12 位作者 姚日晖 刘贤哲 陶瑞强 郑泽科 方志强 胡诗犇 陈建秋 蔡炜 徐苗 兰林锋 王磊 彭俊彪 李正操 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第11期1372-1377,共6页
针对目前大多数氧化物薄膜晶体管都需要采用热退火工艺来提高其性能不利于其在柔性显示器件中应用这一问题,提出了一种采用室温工艺制备的新型TFT器件,无需退火处理即可获得较好的器件性能。该器件采用脉冲激光沉积技术制备的AZO/Al_2O_... 针对目前大多数氧化物薄膜晶体管都需要采用热退火工艺来提高其性能不利于其在柔性显示器件中应用这一问题,提出了一种采用室温工艺制备的新型TFT器件,无需退火处理即可获得较好的器件性能。该器件采用脉冲激光沉积技术制备的AZO/Al_2O_3叠层结构作为沟道层。与单层AZO-TFT器件相比,叠层TFT器件具有更优异的性能,其迁移率为2.27 cm2·V-1·s-1,开关比为1.43×106。通过对AZO/Al_2O_3叠层薄膜的厚度、密度、粗糙度、物相、界面特性及能带结构等进行分析,发现这种叠层结构能够使电子的运动被限制在AZO薄膜平面内,即形成了二维电子传输,从而提升TFT器件的性能。 展开更多
关键词 薄膜晶体管 室温工艺 二维电子传输
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聚电解质结构及盐浓度对基于DNA和聚阳离子的层层组装型大孔薄膜结构的影响 被引量:3
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作者 于永江 魏光耀 +5 位作者 周颖 李文超 李秋顺 王珺楠 姚卫国 董文飞 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第11期2644-2649,共6页
选择2种不同类型的聚阳离子[强电解质型聚二烯丙基二甲基氯化铵(PDDA)和弱电解质型聚盐酸丙烯胺(PAH)],分别和脱氧核糖核酸(DNA)分子通过静电吸附作用制备层层组装膜.利用原子力显微镜和紫外-可见分光光度计研究了聚阳离子结构和组装分... 选择2种不同类型的聚阳离子[强电解质型聚二烯丙基二甲基氯化铵(PDDA)和弱电解质型聚盐酸丙烯胺(PAH)],分别和脱氧核糖核酸(DNA)分子通过静电吸附作用制备层层组装膜.利用原子力显微镜和紫外-可见分光光度计研究了聚阳离子结构和组装分子溶液中盐(NaCl)浓度对大孔结构及薄膜生长规律的影响.结果表明,在DNA/PDDA体系中,盐浓度对于大孔结构的形成起到关键性作用.而对于DNA/PAH薄膜体系,即使增加DNA或PAH溶液中盐的浓度,也不会有大孔结构出现,这主要是由PAH分子的弱电解质特性决定的. 展开更多
关键词 自组装 聚阳离子 脱氧核糖核酸 大孔多薄膜
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薄膜多层内连(TFML)技术 被引量:1
13
作者 孙文珍 梁彤翔 +1 位作者 王英华 李恒德 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1997年第1期11-14,共4页
薄膜多层内连(TFML)是实现集成电路高密度、高速度封装的一种理想途径。本文对TFML的多种制作工艺进行了简介。
关键词 MCM 薄膜 电子封装 内连 集成电路
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Cr/CrN/CrTiAlN/CrTiAlCN多元多层薄膜在微型钻头上的应用性能 被引量:2
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作者 林松盛 代明江 +1 位作者 侯惠君 朱霞高 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2010年第11期67-69,共3页
为了提高微电子线路板(PCB)加工用微型钻头的使用寿命及保证钻孔质量,采用中频反应磁控溅射、离子束辅助的方法分别在WC硬质合金和微型钻头上沉积了Cr/CrN/CrTiAlN/CrTiAlCN多元多层梯度硬质薄膜,研究了多层膜的结构、形貌及钻削性能。... 为了提高微电子线路板(PCB)加工用微型钻头的使用寿命及保证钻孔质量,采用中频反应磁控溅射、离子束辅助的方法分别在WC硬质合金和微型钻头上沉积了Cr/CrN/CrTiAlN/CrTiAlCN多元多层梯度硬质薄膜,研究了多层膜的结构、形貌及钻削性能。结果表明:在WC硬质合金上沉积的多层膜显微硬度为2631HV,膜/基结合力大于80N,摩擦系数为0.113;镀膜后微钻刃型完好,刃型角度没有改变,同一钻头不同部位沉积的膜层厚度一致;微钻镀膜后使用寿命提高1倍以上,且解决了断针、批锋、塞孔等问题,同时满足孔位精度、孔壁粗糙度等技术要求。 展开更多
关键词 磁控溅射 多元多薄膜 微型钻头 钻削性能
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Cu基Al掺杂ZnO多层薄膜的生长及其性能 被引量:3
15
作者 王钰萍 吕建国 叶志镇 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第6期869-873,905,共6页
本文采用直流磁控溅射技术在玻璃衬底上制备了AZO/Cu、Cu/AZO和AZO/Cu/AZO三种复合结构多层膜,研究了生长温度对多层膜特性的影响,发现AZO/Cu双层薄膜具有最优的光电性能,其最佳生长温度为100~150℃。文中进一步考察了生长温度对AZO/Cu... 本文采用直流磁控溅射技术在玻璃衬底上制备了AZO/Cu、Cu/AZO和AZO/Cu/AZO三种复合结构多层膜,研究了生长温度对多层膜特性的影响,发现AZO/Cu双层薄膜具有最优的光电性能,其最佳生长温度为100~150℃。文中进一步考察了生长温度对AZO/Cu双层薄膜结构性能和表面形貌的影响,结果表明:合适的生长温度有利于改善AZO/Cu双层薄膜的晶体质量,进而提高其光电性能;150℃下沉积的薄膜具有最佳品质因子1.11×10-2Ω-1,此时方块电阻为8.99Ω/sq,可见光透过率为80%,近红外反射率约70%。本文在较低温度下制备的AZO/Cu双层膜具有较优的透明导电性和良好的近红外反射性,可以广泛应用于镀膜玻璃、太阳能电池、平板显示器等光电领域。 展开更多
关键词 AZO 结构薄膜 光电性能 生长温度
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磁性多层薄膜中交换各向异性研究 被引量:3
16
作者 荣建红 云国宏 王焕 《原子与分子物理学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第6期1169-1174,共6页
采用铁磁共振理论研究了自旋阀体系中交换各向异性场和两铁磁薄膜厚度对体系性质的影响,得到系统色散关系的解析表达式.研究表明:体系中存在的交换各向异性场H_E对声学模和光学模的共振场均有影响(其对声学模的影响较大).而且还发现声... 采用铁磁共振理论研究了自旋阀体系中交换各向异性场和两铁磁薄膜厚度对体系性质的影响,得到系统色散关系的解析表达式.研究表明:体系中存在的交换各向异性场H_E对声学模和光学模的共振场均有影响(其对声学模的影响较大).而且还发现声学模共振场随A,B层铁磁薄膜厚度的变化关系依赖于系统中交换各项异性场的强弱;相反,光学模共振场随两铁磁层厚度的增加始终增强. 展开更多
关键词 磁性多薄膜 交换各向异性 铁磁共振 声学(光学)模
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测量多层薄膜材料复介电系数的准光腔技术 被引量:3
17
作者 王守军 胡乐乐 徐得名 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第5期30-33,59,共5页
本文提出用准光腔测量薄膜材料复介电系数的新技术.根据双层介质的测量原理,把多层薄膜叠加起来并压上一块介电特性已知的平板样品以消除空气间隙及平整卷曲材料.推导了双层介质的正确理论计算公式,更正了以往文献中的失误之处.采... 本文提出用准光腔测量薄膜材料复介电系数的新技术.根据双层介质的测量原理,把多层薄膜叠加起来并压上一块介电特性已知的平板样品以消除空气间隙及平整卷曲材料.推导了双层介质的正确理论计算公式,更正了以往文献中的失误之处.采用简易的变腔长法,对几种薄膜材料进行了测量,取得了满意的结果. 展开更多
关键词 准光腔 介质测量 薄膜材料 变腔长法
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多层结构铁电薄膜的I-V特性性能的研究 被引量:2
18
作者 李兴教 黄新堂 +5 位作者 赵建洪 郑远开 董晓敏 李再光 王新兵 李少平 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1997年第6期398-404,共7页
为FRAM、FFET和FDM的实际应用研究,提出了多层结构铁电薄膜的设计思想,实际制备了M/BIT/p-Si、M/PZT/BIT/p-Si、M/BIT/PZT/BIT/p-Si三种结构铁电薄膜,并测量了它们的I-V特... 为FRAM、FFET和FDM的实际应用研究,提出了多层结构铁电薄膜的设计思想,实际制备了M/BIT/p-Si、M/PZT/BIT/p-Si、M/BIT/PZT/BIT/p-Si三种结构铁电薄膜,并测量了它们的I-V特性曲线。结果表明,夹层结构铁电薄膜M/BIT/PZT/BIT/p-Si漏电流密度J最小,在500nm厚时J+(+3V)约2.8×10-10A/mm2,J-(-3V)约1.2×10-12A/mm2优于单层和双层结构铁电薄膜的结果。 展开更多
关键词 铁电薄膜 PLD方法 I-V特性曲线 铁电体
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超硬多层薄膜的研究现状及展望 被引量:3
19
作者 李宁 宋绪丁 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2005年第7期31-35,共5页
超硬多层薄膜的性能随调制周期的变化而发生变化,在某一范围出现超模、超硬等异常效应。由于其潜在的实际应用价值及理论意义,超硬多层薄膜成为近年来人们研究的热点。综述了近年来国内外学者对超硬多层薄膜的研究结果,介绍了其超硬多... 超硬多层薄膜的性能随调制周期的变化而发生变化,在某一范围出现超模、超硬等异常效应。由于其潜在的实际应用价值及理论意义,超硬多层薄膜成为近年来人们研究的热点。综述了近年来国内外学者对超硬多层薄膜的研究结果,介绍了其超硬多层薄膜类型、主要性能特点以及制备工艺,并对未来的发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 超硬多薄膜 超晶格薄膜 纳米多 类金刚石
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硅基多层无机驻极体薄膜中平均电荷重心和密度的确定 被引量:1
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作者 张晓青 夏钟福 +1 位作者 张冶文 柳襄怀 《应用科学学报》 CAS CSCD 2001年第4期291-294,共4页
报道通过表面电位测量和 C- V分析来确定硅基多层无机驻极体薄膜中平均电荷重心及电荷密度的方法 .它包括两个非破坏性的测量 :首先 ,通过补偿法测量驻极体薄膜自由面的表面电位 ,然后在样品表面蒸镀金属电极 ,形成 MIS结构 ,进行电容电... 报道通过表面电位测量和 C- V分析来确定硅基多层无机驻极体薄膜中平均电荷重心及电荷密度的方法 .它包括两个非破坏性的测量 :首先 ,通过补偿法测量驻极体薄膜自由面的表面电位 ,然后在样品表面蒸镀金属电极 ,形成 MIS结构 ,进行电容电压 (C- V)测试 ,由此得到驻极体薄膜和硅界面的电位 .电荷重心和电荷密度可通过计算得出 .同时利用这一方法确定了硅基 Si3 N4/ Si O2 双层驻极体薄膜中的平均电荷重心 ,发现电荷重心强烈地依赖于电晕充电以后的老化温度 ,经过 40 0°C下老化 2 0 m in,常温正电晕充电驻极体的电荷重心已从近自由面迁移至Si3 N4和 Si O2 界面附近 . 展开更多
关键词 驻极体薄膜 平均电荷重心 电荷密度 表面电位 声电传感器 硅基多薄膜
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