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基于单晶薄膜晶圆的低插损高抑制声表面波滤波器
1
作者
罗文汀
陈华志
+5 位作者
潘祺
米佳
肖强
贺艺
陈平静
张婷杨
《压电与声光》
北大核心
2025年第4期683-687,共5页
针对新一代北斗导航系统对声表面波滤波器提出的低插损、高抑制需求,设计了一种单晶薄膜晶圆膜层结构,并建立了COM数据库和全三维电磁模型。将高频谐振器接入并联电路,在滤波器高端引入一个零点,在不改变原有插损、矩形度的情况下,提升...
针对新一代北斗导航系统对声表面波滤波器提出的低插损、高抑制需求,设计了一种单晶薄膜晶圆膜层结构,并建立了COM数据库和全三维电磁模型。将高频谐振器接入并联电路,在滤波器高端引入一个零点,在不改变原有插损、矩形度的情况下,提升了滤波器的高端带外抑制。所研制的薄膜声表面波滤波器,其中心频率为1 650 MHz,插入损耗为0.65 dB,带外抑制高达61.3 dBc,矩形系数(BW_(-40 dB)/BW_(-1 dB))为1.78,相对带宽为4.15%。
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关键词
低插入损耗
高带外抑制
单晶
薄膜
晶圆
薄膜声表面波滤波器
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职称材料
题名
基于单晶薄膜晶圆的低插损高抑制声表面波滤波器
1
作者
罗文汀
陈华志
潘祺
米佳
肖强
贺艺
陈平静
张婷杨
机构
中国电子科技集团公司第二十六研究所
出处
《压电与声光》
北大核心
2025年第4期683-687,共5页
文摘
针对新一代北斗导航系统对声表面波滤波器提出的低插损、高抑制需求,设计了一种单晶薄膜晶圆膜层结构,并建立了COM数据库和全三维电磁模型。将高频谐振器接入并联电路,在滤波器高端引入一个零点,在不改变原有插损、矩形度的情况下,提升了滤波器的高端带外抑制。所研制的薄膜声表面波滤波器,其中心频率为1 650 MHz,插入损耗为0.65 dB,带外抑制高达61.3 dBc,矩形系数(BW_(-40 dB)/BW_(-1 dB))为1.78,相对带宽为4.15%。
关键词
低插入损耗
高带外抑制
单晶
薄膜
晶圆
薄膜声表面波滤波器
Keywords
low insertion loss
high band rejection
piezoelectric-on-insulator wafer
the film SAW filter
分类号
TN65 [电子电信—电路与系统]
TN713 [电子电信—电路与系统]
TN912 [电子电信—通信与信息系统]
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题名
作者
出处
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1
基于单晶薄膜晶圆的低插损高抑制声表面波滤波器
罗文汀
陈华志
潘祺
米佳
肖强
贺艺
陈平静
张婷杨
《压电与声光》
北大核心
2025
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