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准分子激光选择CVD技术的SnO_2薄膜图形生长及微透镜制作被引量：2: 1; 作者王庆亚姜喜兰 +1 位作者马力郑伟《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第S1期328-330,共3页; 准分子激光ＣＶＤ由于紫外光参与并促进了其源分解，所以对激光光束具有很强的选择性从而可以实现图形转换和直接图形生长，我们利用这一特点在自己建立的准分子激光选择ＣＶＤ系统上得到了ＳｎＯ２薄膜生长速率与激光能量密度间的关系... 展开更多; 关键词准分子激光微透镜薄膜图形 CVD技术 SnO₂ 薄膜生长速率图形转换高斯分布准分子激光器激光能量密度; 在线阅读下载PDF 职称材料

图形化固体薄膜技术及其摩擦学性能的研究进展被引量：13: 2; 作者邵天敏耿哲《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第2期1-26,共26页; 固体薄膜技术可以用于显著提高材料的摩擦学性能,表面图形化技术则通过在部件表面制备预先设计的图形来改善摩擦副的接触和润滑行为。近年来,人们尝试将表面图形化技术和固体薄膜技术相结合,出现了一类称之为图形化薄膜的技术。研究表明... 展开更多; 关键词图形化固体薄膜制备技术摩擦学性能减摩耐磨机理应用研究; 在线阅读下载PDF 职称材料

条纹图形Heusler合金CoFeMnSi薄膜的制备及其磁特性研究: 3; 作者乔礼红游才印 +2 位作者付花睿马丽田娜《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第4期4170-4174,共5页; 以CoFeMnSi作为研究对象,对其进行图形化设计,以研究图形化CoFeMnSi薄膜的磁学特性。利用感光溶胶-凝胶法和激光干涉法制得条纹图形ZrO2薄膜,之后利用磁控溅射法在其表面溅射沉积CoFeMnSi,以达到制得图形化CoFeMnSi磁性薄膜的目的,并对... 展开更多; 关键词 HEUSLER合金 CoFeMnSi 图形化薄膜磁控溅射磁性; 在线阅读下载PDF 职称材料

图形化薄膜等效弹性模量的声表面波表征研究: 4; 作者陈龙肖夏 +1 位作者张立戚海洋《应用数学和力学》 CSCD 北大核心 2023年第4期381-393,共13页; 基于分层材料等效弹性性质理论,建立了单大马士革和双大马士革结构的细观力学等效模型.通过引入图形化结构等效弹性常数,建立了声表面波在图形化薄膜/衬底分层结构中的传播模型,利用Green函数和矩阵法计算得到了表面波理论色散曲线.采... 展开更多; 关键词声表面波大马士革结构图形化薄膜等效弹性模量数值模拟; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名准分子激光选择CVD技术的SnO_2薄膜图形生长及微透镜制作被引量：2: 1; 作者王庆亚姜喜兰马力郑伟; 机构吉林大学电子工程系集成光电子国家重点实验室吉林大学实验区; 出处《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第S1期328-330,共3页; 文摘准分子激光ＣＶＤ由于紫外光参与并促进了其源分解，所以对激光光束具有很强的选择性从而可以实现图形转换和直接图形生长，我们利用这一特点在自己建立的准分子激光选择ＣＶＤ系统上得到了ＳｎＯ２薄膜生长速率与激光能量密度间的关系曲线，并玻璃和Ｓｉ衬底上实现了ＳｎＯ２薄膜的宽约８０μｍ条伏和面积１００×１００μｍ２方形图形生长，同时也在Ｓｉ衬底进行了微透镜制作的尝试，获得了半径约４５μｍ近高斯分布的ＳｎＯ２，薄膜，其中心最大厚度约９７０ｍｍ。; 关键词准分子激光微透镜薄膜图形 CVD技术 SnO₂ 薄膜生长速率图形转换高斯分布准分子激光器激光能量密度; 分类号 O484.1 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名图形化固体薄膜技术及其摩擦学性能的研究进展被引量：13: 2; 作者邵天敏耿哲; 机构清华大学摩擦学国家重点实验室; 出处《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第2期1-26,共26页; 基金国家重点基础研究发展计划(973计划)(2012CB934101) 国家自然科学基金(51321092); 文摘固体薄膜技术可以用于显著提高材料的摩擦学性能,表面图形化技术则通过在部件表面制备预先设计的图形来改善摩擦副的接触和润滑行为。近年来,人们尝试将表面图形化技术和固体薄膜技术相结合,出现了一类称之为图形化薄膜的技术。研究表明:在很多情况下,与单纯的完整薄膜或图形化表面相比,图形化薄膜能够同时发挥薄膜的强化作用和图形化改变摩擦界面行为的作用,在改善和提高摩擦学性能方面具有综合优势。文中总结了图形化薄膜技术方面的研究工作;介绍了图形化薄膜的制备技术、分类、摩擦学性能以及应用;分析讨论了图形化薄膜的作用机理;并展望了图形化薄膜的发展前景。; 关键词图形化固体薄膜制备技术摩擦学性能减摩耐磨机理应用研究; Keywords patterned thin solid film preparation technology tribological performance mechanism of friction reduction and anti-wear application research; 分类号 TH117 [机械工程—机械设计及理论] TB43 [一般工业技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名条纹图形Heusler合金CoFeMnSi薄膜的制备及其磁特性研究: 3; 作者乔礼红游才印付花睿马丽田娜; 机构西安理工大学材料科学与工程学院; 出处《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第4期4170-4174,共5页; 基金国家自然科学基金资助项目(51771145)。; 文摘以CoFeMnSi作为研究对象,对其进行图形化设计,以研究图形化CoFeMnSi薄膜的磁学特性。利用感光溶胶-凝胶法和激光干涉法制得条纹图形ZrO2薄膜,之后利用磁控溅射法在其表面溅射沉积CoFeMnSi,以达到制得图形化CoFeMnSi磁性薄膜的目的,并对其表面形貌和磁学特性进行了表征。采用金相显微镜分析验证CoFeMnSi薄膜继承了ZrO2的条纹图形结构,条纹图形周期约为2μm;面内磁性测量显示薄膜398 kA/m磁场下的磁化强度与外磁场和条纹夹角θ呈180°周期性变化关系,且磁化强度介于390~440 kA/m;利用CoFeMnSi平膜面内磁化强度及面外磁化强度与外加磁场方向的变化关系,解释了条形薄膜磁化强度的θ角度依赖关系;采用磁力显微镜观察到磁畴结构形态为蜂窝状,磁畴尺寸大约1~2μm。; 关键词 HEUSLER合金 CoFeMnSi 图形化薄膜磁控溅射磁性; Keywords Heusler alloys CoFeMnSi patterned film magnetron sputtering magnetic properties; 分类号 TB34 [一般工业技术—材料科学与工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名图形化薄膜等效弹性模量的声表面波表征研究: 4; 作者陈龙肖夏张立戚海洋; 机构天津大学微电子学院浙江省计量科学研究院; 出处《应用数学和力学》 CSCD 北大核心 2023年第4期381-393,共13页; 基金国家自然科学基金项目(61571319)。; 文摘基于分层材料等效弹性性质理论,建立了单大马士革和双大马士革结构的细观力学等效模型.通过引入图形化结构等效弹性常数,建立了声表面波在图形化薄膜/衬底分层结构中的传播模型,利用Green函数和矩阵法计算得到了表面波理论色散曲线.采用有限元法计算了24种不同体积比的大马士革结构数值算例,并与能量法计算结果进行了对比验证.结果表明,厚度为300 nm的双大马士革薄膜和厚度为100 nm的单大马士革薄膜等效弹性模量平均相对误差分别为2.06%和2.27%.验证了等效图形化结构模型的正确性以及声表面波方法表征图形化薄膜机械特性的可行性,研究结果可为开发适用于图形化薄膜、低压力的化学机械抛光工艺提供参考.; 关键词声表面波大马士革结构图形化薄膜等效弹性模量数值模拟; Keywords surface acoustic wave damascene structure patterned film equivalent Young’s modulus numerical simulation; 分类号 O341 [理学—固体力学] TN47 [电子电信—微电子学与固体电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	准分子激光选择CVD技术的SnO_2薄膜图形生长及微透镜制作	王庆亚姜喜兰马力郑伟	《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心	1995	2	在线阅读下载PDF 职称材料
2	图形化固体薄膜技术及其摩擦学性能的研究进展	邵天敏耿哲	《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2015	13	在线阅读下载PDF 职称材料
3	条纹图形Heusler合金CoFeMnSi薄膜的制备及其磁特性研究	乔礼红游才印付花睿马丽田娜	《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心	2020	0	在线阅读下载PDF 职称材料
4	图形化薄膜等效弹性模量的声表面波表征研究	陈龙肖夏张立戚海洋	《应用数学和力学》 CSCD 北大核心	2023	0	在线阅读下载PDF 职称材料