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LSI 薄膜台阶测量仪的研制
1
作者
王云庆
李庆祥
+1 位作者
薛实福
周兆英
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1998年第3期268-273,共6页
本文介绍了一台实用化的用于ＬＳＩ薄膜台阶在线检测的台阶测量仪，它采用精密机械——ＬＶＤＴ——信号处理——计算机控制的方案。使用方便，实现了台阶的自动测量。实验表明：仪器重复测量精度可达±０．０１４７μｍ，很好地满...
本文介绍了一台实用化的用于ＬＳＩ薄膜台阶在线检测的台阶测量仪，它采用精密机械——ＬＶＤＴ——信号处理——计算机控制的方案。使用方便，实现了台阶的自动测量。实验表明：仪器重复测量精度可达±０．０１４７μｍ，很好地满足了ＬＳＩ生产线上的要求。
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关键词
台阶
测量仪
触针
片簧支承
模糊控制
薄膜台阶
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职称材料
题名
LSI 薄膜台阶测量仪的研制
1
作者
王云庆
李庆祥
薛实福
周兆英
机构
清华大学精密仪器与机械学系
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1998年第3期268-273,共6页
文摘
本文介绍了一台实用化的用于ＬＳＩ薄膜台阶在线检测的台阶测量仪，它采用精密机械——ＬＶＤＴ——信号处理——计算机控制的方案。使用方便，实现了台阶的自动测量。实验表明：仪器重复测量精度可达±０．０１４７μｍ，很好地满足了ＬＳＩ生产线上的要求。
关键词
台阶
测量仪
触针
片簧支承
模糊控制
薄膜台阶
Keywords
Step height measurement,Stylus,Leaf spring bearing,Fuzzy control.
分类号
O484.5 [理学—固体物理]
TH821 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
LSI 薄膜台阶测量仪的研制
王云庆
李庆祥
薛实福
周兆英
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1998
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