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遗传算法在薄膜特性参量测量中的应用
被引量：
2
1
作者
宫兴致
陈燕平
+1 位作者
刘玉玲
余飞鸿
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第11期2053-2056,共4页
利用遗传算法,将光学常量作为参量建立全局优化模型.通过遗传变异进行迭代计算从而优化解.它不但避免了接触式测量对样品的破坏,而且相对于其它算法简单清晰,在保证准确度的同时,具有良好的稳定性.实验结果与理想模型误差在1 nm以内,实...
利用遗传算法,将光学常量作为参量建立全局优化模型.通过遗传变异进行迭代计算从而优化解.它不但避免了接触式测量对样品的破坏,而且相对于其它算法简单清晰,在保证准确度的同时,具有良好的稳定性.实验结果与理想模型误差在1 nm以内,实际样品与台阶仪的测量结果误差控制在20 nm以内.
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关键词
薄膜参量测量
遗传算法
非接触
测量
全局优化算法
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职称材料
题名
遗传算法在薄膜特性参量测量中的应用
被引量：
2
1
作者
宫兴致
陈燕平
刘玉玲
余飞鸿
机构
浙江大学光电系现代光学仪器国家重点实验室
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第11期2053-2056,共4页
文摘
利用遗传算法,将光学常量作为参量建立全局优化模型.通过遗传变异进行迭代计算从而优化解.它不但避免了接触式测量对样品的破坏,而且相对于其它算法简单清晰,在保证准确度的同时,具有良好的稳定性.实验结果与理想模型误差在1 nm以内,实际样品与台阶仪的测量结果误差控制在20 nm以内.
关键词
薄膜参量测量
遗传算法
非接触
测量
全局优化算法
Keywords
Film parameters measurement
GA
Non-contact measurement
Global optimization
分类号
O484.5 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
遗传算法在薄膜特性参量测量中的应用
宫兴致
陈燕平
刘玉玲
余飞鸿
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
2
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