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薄膜厚度系统的类前馈解耦PID控制
1
作者
隆媛媛
蒋品群
+1 位作者
李廷会
李杨帆
《现代电子技术》
2010年第17期177-179,183,共4页
薄膜厚度控制系统是一个复杂的多变量耦合系统。利用相对增益矩阵对其进行了耦合性分析,并采用多变量类前馈解耦与PID控制相结合的方法,实现了系统的完全动态解耦控制。仿真结果表明,本解耦控制具有不改变主控制通道特性、控制效果好的...
薄膜厚度控制系统是一个复杂的多变量耦合系统。利用相对增益矩阵对其进行了耦合性分析,并采用多变量类前馈解耦与PID控制相结合的方法,实现了系统的完全动态解耦控制。仿真结果表明,本解耦控制具有不改变主控制通道特性、控制效果好的优点,具有较大的应用价值。
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关键词
薄膜厚度系统
类前馈解耦
PID控制
多变量耦合
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职称材料
题名
薄膜厚度系统的类前馈解耦PID控制
1
作者
隆媛媛
蒋品群
李廷会
李杨帆
机构
广西师范大学电子工程学院
出处
《现代电子技术》
2010年第17期177-179,183,共4页
基金
广西教育厅科研项目(200608MS133)
广西高校重点建设实验室资助项目(200912)
文摘
薄膜厚度控制系统是一个复杂的多变量耦合系统。利用相对增益矩阵对其进行了耦合性分析,并采用多变量类前馈解耦与PID控制相结合的方法,实现了系统的完全动态解耦控制。仿真结果表明,本解耦控制具有不改变主控制通道特性、控制效果好的优点,具有较大的应用价值。
关键词
薄膜厚度系统
类前馈解耦
PID控制
多变量耦合
Keywords
film thickness system
similar-feed-forward decoupling
PID control
multivariable coupling
分类号
TN919-34 [电子电信—通信与信息系统]
TP273 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
薄膜厚度系统的类前馈解耦PID控制
隆媛媛
蒋品群
李廷会
李杨帆
《现代电子技术》
2010
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