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蓝宝石晶片研磨工艺的研究
被引量:
4
1
作者
王永辉
赵慧峰
《三门峡职业技术学院学报》
2009年第1期119-121,共3页
通过对蓝宝石晶片研磨试验的研究,得出了不同磨料种类、不同磨料浓度和加工压力对表面粗糙度和材料去除率的影响。结果表明,在众多磨料中SiO2比较适宜研磨,用此磨料在浓度15wt%时材料去除率比较高,在压力9.8N时综合效果较佳,而MgO磨料...
通过对蓝宝石晶片研磨试验的研究,得出了不同磨料种类、不同磨料浓度和加工压力对表面粗糙度和材料去除率的影响。结果表明,在众多磨料中SiO2比较适宜研磨,用此磨料在浓度15wt%时材料去除率比较高,在压力9.8N时综合效果较佳,而MgO磨料适合获得理想表面粗糙度。
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关键词
蓝宝石晶片
研磨
工艺参数
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职称材料
蓝宝石晶片表面净化技术研究
被引量:
4
2
作者
周海
杭寅
姚绍峰
《电子机械工程》
2005年第6期42-45,共4页
阐述了在氮化镓生长中使用的蓝宝石晶片净化的重要性。论述了蓝宝石晶片的净化原理。通过净化试验研究,提出了适合于工业化生产的蓝宝石晶片清洗剂和净化工艺,满足了光电子领域所需的开盒即用的蓝宝石晶片表面质量要求。
关键词
蓝宝石晶片
净化工艺
清洗剂
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职称材料
LED用蓝宝石晶片湿法腐蚀清洗技术的研究
被引量:
1
3
作者
郑佳晶
孙敏
张金凤
《电子工业专用设备》
2013年第9期8-10,58,共4页
介绍了蓝宝石晶片的清洗原理;通过分析蓝宝石的表面净化原理和对湿法腐蚀清洗工艺试验的研究,提出了一种适用于工业化生产蓝宝石晶片的清洗剂和净化工艺,满足了LED领域的蓝宝石晶片表面洁净度要求。
关键词
蓝宝石晶片
净化工艺
清洗剂
湿法腐蚀
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职称材料
青岛市蓝宝石晶片项目投产建设LED产业链
4
《中国科技财富》
2010年第9期I0009-I0009,共1页
由青岛市招商局积极促进,4月8日上午,总投资25亿元人民币的蓝宝石晶片加工项目在青岛高新区举行了开业仪式,这也是青岛市高新区建成后首家开工投产的企业。
关键词
蓝宝石晶片
青岛市
投产
产业链
LED
晶
片
加工
高新区
人民币
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职称材料
面向蓝宝石加工的纹理化研磨盘设计及试验研究
5
作者
万林林
郭晋伟
+2 位作者
刘伟
张先洋
冉晓茹
《航空制造技术》
CSCD
北大核心
2023年第21期95-101,共7页
蓝宝石晶片在研磨加工中会受到诸多因素的影响,为了提高蓝宝石研磨加工后的表面质量,本文从研磨液体积分布及流动均匀性出发,设计了研磨盘表面纹理。采用有限元计算对所设计的研磨盘进行流场模拟,同时对研磨盘表面应力分布进行了有限元...
蓝宝石晶片在研磨加工中会受到诸多因素的影响,为了提高蓝宝石研磨加工后的表面质量,本文从研磨液体积分布及流动均匀性出发,设计了研磨盘表面纹理。采用有限元计算对所设计的研磨盘进行流场模拟,同时对研磨盘表面应力分布进行了有限元模拟。为了验证研磨盘的加工性能,将所设计的研磨盘与无槽研磨盘进行研磨试验的对比。结果表明,采用槽宽2 mm、槽深1 mm的阿基米德螺旋线沟槽加径向沟槽的设计,蓝宝石晶片表面粗糙度为0.210μm,晶片表面无破碎、凹坑等损伤,加工效果明显优于无槽研磨盘,因此,本文所设计的研磨盘具有更好的加工性能。
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关键词
蓝宝石晶片
研磨盘
纹理设计
有限元方法
表面质量
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职称材料
四十五所:料摆动多线切割机对蓝宝石切割试验成功
6
《电子工业专用设备》
2014年第6期60-60,共1页
近日,中国电子科技集团公司第四十五研究所用改造的料摆动多线切割机对蓝宝石进行了切割试验获得成功。切割蓝宝石晶片 TTV 误差小于±10μm ,切割速度、效率均满足工艺要求,设备运行稳定。此款蓝宝石切割设备是在原有D X Q-601B...
近日,中国电子科技集团公司第四十五研究所用改造的料摆动多线切割机对蓝宝石进行了切割试验获得成功。切割蓝宝石晶片 TTV 误差小于±10μm ,切割速度、效率均满足工艺要求,设备运行稳定。此款蓝宝石切割设备是在原有D X Q-601B 多线切割机的基础上改进而来,在继承四十五所多线切割机现有成熟技术的基础上,技术和工艺人员通过对送料系统、冷却系统、驱动系统、控制软件和切割工艺方式等进行研究和改进,最终实现了摆动切割的功能。在经过连续的空载试验和切割试验后,设备运行和切割状态稳定良好,各项指标能达到国际先进设备的同等水平,且试切已获得客户认可。
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关键词
蓝宝石晶片
线切割机
试验成功
摆动
十五
中国电子科技集团公司
切割试验
设备运行
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职称材料
临近空间飞行高温真空光纤绝压传感器设计
7
作者
张雨彤
江毅
+1 位作者
杨水旺
张大有
《火箭推进》
CAS
北大核心
2024年第3期118-123,共6页
研制了一种用于临近空间飞行器在高温环境下的蓝宝石非本征法布里-珀罗干涉仪(extrinsic Fabry-Perot interferometer,EFPI)型光纤绝对压力传感器。蓝宝石晶片压力传感头由3片厚度不同的蓝宝石晶片键合构成,形成复合法布里-珀罗(Fabry-P...
研制了一种用于临近空间飞行器在高温环境下的蓝宝石非本征法布里-珀罗干涉仪(extrinsic Fabry-Perot interferometer,EFPI)型光纤绝对压力传感器。蓝宝石晶片压力传感头由3片厚度不同的蓝宝石晶片键合构成,形成复合法布里-珀罗(Fabry-Perot,FP)腔,可以同时测量温度和绝对压力,通过实时监测温度,对压力测量进行温度补偿,去除温度对压力测量的影响。实验结果表明:900℃内的每个温度点下,密封FP腔的光学腔长随压力线性变化;室温下,压力灵敏度为11.6 nm/kPa,压力灵敏度随温度的上升略微升高,压力测量的分辨率达到86 Pa。
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关键词
光纤压力传感器
非本征法布里-珀罗干涉仪
蓝宝石晶片
绝对压力测量
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职称材料
英飞凌交付业界首款具有砷化镓性能的CMOS射频开关
8
《电子与电脑》
2008年第3期89-89,共1页
英飞凌科技股份公司.近日宣布,该公司正在批量供应全球第一款采用CMOS工艺在硅晶圆上制成的射频开关,这种射频开关具有与采用砷化镓(GaAs)工艺制成的射频开关相同的性能——这是一项前所未有的技术突破。迄今为止,CMOS射频开关只能采...
英飞凌科技股份公司.近日宣布,该公司正在批量供应全球第一款采用CMOS工艺在硅晶圆上制成的射频开关,这种射频开关具有与采用砷化镓(GaAs)工艺制成的射频开关相同的性能——这是一项前所未有的技术突破。迄今为止,CMOS射频开关只能采用专用的、价格昂贵的蓝宝石晶片制作才能达到砷化镓开关的性能。
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关键词
CMOS工艺
射频开关
砷化镓
性能
交付
蓝宝石晶片
股份公司
硅
晶
圆
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职称材料
题名
蓝宝石晶片研磨工艺的研究
被引量:
4
1
作者
王永辉
赵慧峰
机构
三门峡职业技术学院电气工程系
出处
《三门峡职业技术学院学报》
2009年第1期119-121,共3页
文摘
通过对蓝宝石晶片研磨试验的研究,得出了不同磨料种类、不同磨料浓度和加工压力对表面粗糙度和材料去除率的影响。结果表明,在众多磨料中SiO2比较适宜研磨,用此磨料在浓度15wt%时材料去除率比较高,在压力9.8N时综合效果较佳,而MgO磨料适合获得理想表面粗糙度。
关键词
蓝宝石晶片
研磨
工艺参数
Keywords
Sapphire Wafer
Grinding
Technological parameters
分类号
TS933.21 [轻工技术与工程]
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职称材料
题名
蓝宝石晶片表面净化技术研究
被引量:
4
2
作者
周海
杭寅
姚绍峰
机构
盐城工学院机械工程学院
中国科学院上海光学精密机械研究所
兴化祥盛光电子材料公司
出处
《电子机械工程》
2005年第6期42-45,共4页
基金
国家863计划基金资助项目(2002AA311010)
江苏省教育厅自然科学研究计划基金资助项目(04KJD430213)
文摘
阐述了在氮化镓生长中使用的蓝宝石晶片净化的重要性。论述了蓝宝石晶片的净化原理。通过净化试验研究,提出了适合于工业化生产的蓝宝石晶片清洗剂和净化工艺,满足了光电子领域所需的开盒即用的蓝宝石晶片表面质量要求。
关键词
蓝宝石晶片
净化工艺
清洗剂
Keywords
sapphire wafer
cleaning technology
cleaning solution
分类号
TH161 [机械工程—机械制造及自动化]
TN205 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
LED用蓝宝石晶片湿法腐蚀清洗技术的研究
被引量:
1
3
作者
郑佳晶
孙敏
张金凤
机构
中国电子科技集团公司第四十五研究所
出处
《电子工业专用设备》
2013年第9期8-10,58,共4页
文摘
介绍了蓝宝石晶片的清洗原理;通过分析蓝宝石的表面净化原理和对湿法腐蚀清洗工艺试验的研究,提出了一种适用于工业化生产蓝宝石晶片的清洗剂和净化工艺,满足了LED领域的蓝宝石晶片表面洁净度要求。
关键词
蓝宝石晶片
净化工艺
清洗剂
湿法腐蚀
Keywords
Sapphire wafer
Purification process
Cleaning agents
Wet etching
分类号
TN305.97 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
青岛市蓝宝石晶片项目投产建设LED产业链
4
出处
《中国科技财富》
2010年第9期I0009-I0009,共1页
文摘
由青岛市招商局积极促进,4月8日上午,总投资25亿元人民币的蓝宝石晶片加工项目在青岛高新区举行了开业仪式,这也是青岛市高新区建成后首家开工投产的企业。
关键词
蓝宝石晶片
青岛市
投产
产业链
LED
晶
片
加工
高新区
人民币
分类号
TN312.8 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
面向蓝宝石加工的纹理化研磨盘设计及试验研究
5
作者
万林林
郭晋伟
刘伟
张先洋
冉晓茹
机构
湖南科技大学
难加工材料高效精密加工湖南省重点实验室
湖南九五精机有限责任公司
出处
《航空制造技术》
CSCD
北大核心
2023年第21期95-101,共7页
基金
湖南省自然科学基金(2020JJ4309)
湖南省教育厅科学研究重点项目(19A163)
湖南省高新技术产业科技创新引领计划项目(2022GK4025)。
文摘
蓝宝石晶片在研磨加工中会受到诸多因素的影响,为了提高蓝宝石研磨加工后的表面质量,本文从研磨液体积分布及流动均匀性出发,设计了研磨盘表面纹理。采用有限元计算对所设计的研磨盘进行流场模拟,同时对研磨盘表面应力分布进行了有限元模拟。为了验证研磨盘的加工性能,将所设计的研磨盘与无槽研磨盘进行研磨试验的对比。结果表明,采用槽宽2 mm、槽深1 mm的阿基米德螺旋线沟槽加径向沟槽的设计,蓝宝石晶片表面粗糙度为0.210μm,晶片表面无破碎、凹坑等损伤,加工效果明显优于无槽研磨盘,因此,本文所设计的研磨盘具有更好的加工性能。
关键词
蓝宝石晶片
研磨盘
纹理设计
有限元方法
表面质量
Keywords
Sapphire wafer
Lapping plate
Texture design
Finite element method
Surface quality
分类号
TQ164 [化学工程—高温制品工业]
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职称材料
题名
四十五所:料摆动多线切割机对蓝宝石切割试验成功
6
机构
中国电子科技集团公司第四十五研究所
出处
《电子工业专用设备》
2014年第6期60-60,共1页
文摘
近日,中国电子科技集团公司第四十五研究所用改造的料摆动多线切割机对蓝宝石进行了切割试验获得成功。切割蓝宝石晶片 TTV 误差小于±10μm ,切割速度、效率均满足工艺要求,设备运行稳定。此款蓝宝石切割设备是在原有D X Q-601B 多线切割机的基础上改进而来,在继承四十五所多线切割机现有成熟技术的基础上,技术和工艺人员通过对送料系统、冷却系统、驱动系统、控制软件和切割工艺方式等进行研究和改进,最终实现了摆动切割的功能。在经过连续的空载试验和切割试验后,设备运行和切割状态稳定良好,各项指标能达到国际先进设备的同等水平,且试切已获得客户认可。
关键词
蓝宝石晶片
线切割机
试验成功
摆动
十五
中国电子科技集团公司
切割试验
设备运行
分类号
TG484 [金属学及工艺—焊接]
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职称材料
题名
临近空间飞行高温真空光纤绝压传感器设计
7
作者
张雨彤
江毅
杨水旺
张大有
机构
北京理工大学光电学院
信息光子技术工业和信息化部重点实验室
包头师范学院物理科学与技术学院
北京振兴计量测试研究所
北京航天计量测试技术研究所
出处
《火箭推进》
CAS
北大核心
2024年第3期118-123,共6页
基金
国家自然科学基金(U20B2057)。
文摘
研制了一种用于临近空间飞行器在高温环境下的蓝宝石非本征法布里-珀罗干涉仪(extrinsic Fabry-Perot interferometer,EFPI)型光纤绝对压力传感器。蓝宝石晶片压力传感头由3片厚度不同的蓝宝石晶片键合构成,形成复合法布里-珀罗(Fabry-Perot,FP)腔,可以同时测量温度和绝对压力,通过实时监测温度,对压力测量进行温度补偿,去除温度对压力测量的影响。实验结果表明:900℃内的每个温度点下,密封FP腔的光学腔长随压力线性变化;室温下,压力灵敏度为11.6 nm/kPa,压力灵敏度随温度的上升略微升高,压力测量的分辨率达到86 Pa。
关键词
光纤压力传感器
非本征法布里-珀罗干涉仪
蓝宝石晶片
绝对压力测量
Keywords
optical fiber pressure sensors
extrinsic Fabry-Perot interferometer
sapphire wafer
absolute pressure measurement
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
英飞凌交付业界首款具有砷化镓性能的CMOS射频开关
8
出处
《电子与电脑》
2008年第3期89-89,共1页
文摘
英飞凌科技股份公司.近日宣布,该公司正在批量供应全球第一款采用CMOS工艺在硅晶圆上制成的射频开关,这种射频开关具有与采用砷化镓(GaAs)工艺制成的射频开关相同的性能——这是一项前所未有的技术突破。迄今为止,CMOS射频开关只能采用专用的、价格昂贵的蓝宝石晶片制作才能达到砷化镓开关的性能。
关键词
CMOS工艺
射频开关
砷化镓
性能
交付
蓝宝石晶片
股份公司
硅
晶
圆
分类号
TN929.11 [电子电信—通信与信息系统]
TM564 [电气工程—电器]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
蓝宝石晶片研磨工艺的研究
王永辉
赵慧峰
《三门峡职业技术学院学报》
2009
4
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职称材料
2
蓝宝石晶片表面净化技术研究
周海
杭寅
姚绍峰
《电子机械工程》
2005
4
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职称材料
3
LED用蓝宝石晶片湿法腐蚀清洗技术的研究
郑佳晶
孙敏
张金凤
《电子工业专用设备》
2013
1
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职称材料
4
青岛市蓝宝石晶片项目投产建设LED产业链
《中国科技财富》
2010
0
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职称材料
5
面向蓝宝石加工的纹理化研磨盘设计及试验研究
万林林
郭晋伟
刘伟
张先洋
冉晓茹
《航空制造技术》
CSCD
北大核心
2023
0
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职称材料
6
四十五所:料摆动多线切割机对蓝宝石切割试验成功
《电子工业专用设备》
2014
0
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职称材料
7
临近空间飞行高温真空光纤绝压传感器设计
张雨彤
江毅
杨水旺
张大有
《火箭推进》
CAS
北大核心
2024
0
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职称材料
8
英飞凌交付业界首款具有砷化镓性能的CMOS射频开关
《电子与电脑》
2008
0
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职称材料
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