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新型宽温区压力传感器技术
被引量：
4
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作者
段磊
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2009年第12期17-18,共2页
为研制新型耐高温和耐低温压力传感器,提出了一种基于SOS(蓝宝石上硅)技术制造的压力传感器。所述硅-蓝宝石压力传感器采用先封装再刻制应变电阻的新工艺,制成的应变电阻和补偿用热电阻精度高、质量好,且在整个工艺流程中不使用化学药品...
为研制新型耐高温和耐低温压力传感器,提出了一种基于SOS(蓝宝石上硅)技术制造的压力传感器。所述硅-蓝宝石压力传感器采用先封装再刻制应变电阻的新工艺,制成的应变电阻和补偿用热电阻精度高、质量好,且在整个工艺流程中不使用化学药品,对环境无污染。制成的硅-蓝宝石压力传感器,可以测量在-55^+400℃宽温区范围内的流体压力,并可以同时测量温度。给出了该传感器的试验数据,得到了比较满意的结果。
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关键词
宽温区
压力传感器
蓝宝石上硅技术
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职称材料
题名
新型宽温区压力传感器技术
被引量：
4
1
作者
段磊
机构
上海交通大学船舶海洋与建筑工程学院
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2009年第12期17-18,共2页
文摘
为研制新型耐高温和耐低温压力传感器,提出了一种基于SOS(蓝宝石上硅)技术制造的压力传感器。所述硅-蓝宝石压力传感器采用先封装再刻制应变电阻的新工艺,制成的应变电阻和补偿用热电阻精度高、质量好,且在整个工艺流程中不使用化学药品,对环境无污染。制成的硅-蓝宝石压力传感器,可以测量在-55^+400℃宽温区范围内的流体压力,并可以同时测量温度。给出了该传感器的试验数据,得到了比较满意的结果。
关键词
宽温区
压力传感器
蓝宝石上硅技术
Keywords
wide temperature range
pressure sensor
technology of silicon on sapphire （SOS）
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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作者
出处
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1
新型宽温区压力传感器技术
段磊
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2009
4
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