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菲索干涉仪中精确移相的实现被引量：7: 1; 作者苏志德史振广 +2 位作者彭吉隋永新杨怀江《中国光学》 EI CAS 2013年第2期244-250,共7页; 为了实现移相式菲索干涉仪对光学元件面形的高精度测量,建立了干涉仪同步采集移相系统,并对精确移相方法进行了研究。介绍了移相系统的构成和工作原理,计算了测量过程中移相器的速度。针对PZT移相器在移相过程中会引入离焦误差,并存在... 展开更多; 关键词菲索干涉仪移相系统同步采集面形测量标定; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于菲索干涉仪的边界层测风激光雷达研究被引量：5: 2; 作者刘继桥陈卫标 +2 位作者周军余婷胡企铨《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2005年第2期74-77,共4页; 分析了多光束菲索(Fizeau)干涉仪的光学特性,以及影响干涉光谱性能的参数,并研究了激光雷达系统接收信号能力,提出了一套基于Fizeau干涉仪和CCD探测器的边界层测风激光雷达系统。利用标准大气参数和切合实际的激光雷达系统参数,对干涉... 展开更多; 关键词多普勒激光雷达直接探测多光束菲索干涉仪风速; 在线阅读下载PDF 职称材料

应用高精度旋转法的干涉仪检测误差校正被引量：4: 3; 作者韩冬松何昕 +1 位作者魏仲慧李一芒《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第5期1297-1303,共7页; 针对利用高精度菲索型干涉仪和旋转平均法对光学元件进行面形绝对检测时对旋转精度的要求,提出了一种旋转误差校正模型来修正面形绝对检测中的旋转非对称项误差。首先基于经典N步旋转平均法理论,通过泽尼克多项式给出面形误差的数学表... 展开更多; 关键词菲索干涉仪旋转平均法旋转非对称项面形误差面形绝对检测泽尼克多项式; 在线阅读下载PDF 职称材料

干涉仪仪器传递函数的检测方法被引量：3: 4; 作者孙鸽马冬梅张海涛《中国光学》 EI CAS 2014年第1期137-143,共7页; 为了得到干涉仪的空间频率响应特性,开展了针对干涉仪的仪器传递函数的测评方法研究。建立了干涉仪成像系统的仪器传递函数的理论计算模型,利用光学设计软件仿真了菲索型干涉仪检测光路,计算并分析了该干涉系统的仪器传递函数的理论值... 展开更多; 关键词菲索型干涉仪干涉仪的仪器传递函数(ITF) 空间频率响应特性调制传递函数(MTF); 在线阅读下载PDF 职称材料

用于测量太赫兹的菲索波长计: 5; 作者西迪科李萍 +1 位作者李卓杨苏辉《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2006年第z3期354-356,共3页; 给出了菲索干涉仪的工作原理,研究了用于测量脉冲太赫兹源的菲索波长计的特性。理论上计算了菲索干涉仪的楔角和干涉条纹间距与被测太赫兹波长的关系,给出了关系曲线。优化了用于太赫兹探测时菲索干涉仪的楔角值。; 关键词太赫兹菲索干涉仪太赫兹波; 在线阅读下载PDF 职称材料

光学系统纵向色差的仿真及验证被引量：2: 6; 作者庄锦程张齐元 +5 位作者王芳吴鹏王浩宇王全召吴泉英韩森《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2020年第5期1037-1046,共10页; 现有的焦距检测方法通常由于检测仪器光源波长与光学系统不完全匹配从而产生纵向色差影响检测结果。针对这一问题,研究光学系统纵向色差的变化规律,并确定在400 nm^1 000 nm波段用于表示其函数关系的Conrady公式和复消色差特性公式。根... 展开更多; 关键词纵向色差波长单色系统消色差系统菲索干涉仪; 在线阅读下载PDF 职称材料

PZT移相和CCD非线性对高精度球面面形检测的影响被引量：2: 7; 作者刘勇沈亦兵彭建华《浙江大学学报（工学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第11期2116-2120,2127,共6页; 为了提高球面面形的检测精度,对移相菲索干涉仪的球面测量方法中影响高精度球面面形检测的压电陶瓷晶体(PZT)移相误差和电荷耦合探测器(CCD)非线性误差进行探讨.通过理论分析和数值模拟的方法分别对PZT移相误差、CCD非线性误差进行具体... 展开更多; 关键词菲索干涉仪 PZT移相误差 CCD非线性误差球面面形; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名菲索干涉仪中精确移相的实现被引量：7: 1; 作者苏志德史振广彭吉隋永新杨怀江; 机构中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室中国科学院大学; 出处《中国光学》 EI CAS 2013年第2期244-250,共7页; 基金国家科技重大专项(02专项)资助项目(No.2009ZX02205); 文摘为了实现移相式菲索干涉仪对光学元件面形的高精度测量,建立了干涉仪同步采集移相系统,并对精确移相方法进行了研究。介绍了移相系统的构成和工作原理,计算了测量过程中移相器的速度。针对PZT移相器在移相过程中会引入离焦误差,并存在加速段和减速段的问题,详细设计了移相器的行进过程。最后,对移相器的性能进行了标定。在改造后的干涉仪上开展了重复性验证实验,结果表明:干涉仪可以获得λ/11 340的RMS测量重复性。对改造后干涉仪与Zygo公司生产的Verifire XP/D干涉仪的测量精度做了比对实验,结果显示:相同元件下两者测量结果的面形RMS之差约为0.9 nm,表明提出的移相系统及移相方法在重复性和准确度方面都能满足纳米级面形测量的要求,为研制高精度移相干涉仪奠定了基础。; 关键词菲索干涉仪移相系统同步采集面形测量标定; Keywords Fizeau interferometer phase-shifting system synchronous acquisition surface measurement calibration; 分类号 TH744.3 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于菲索干涉仪的边界层测风激光雷达研究被引量：5: 2; 作者刘继桥陈卫标周军余婷胡企铨; 机构中科院上海光学精密机械研究所先进激光技术与应用系统实验室; 出处《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2005年第2期74-77,共4页; 基金中科院百人计划和上海市光科技计划资助。; 文摘分析了多光束菲索(Fizeau)干涉仪的光学特性,以及影响干涉光谱性能的参数,并研究了激光雷达系统接收信号能力,提出了一套基于Fizeau干涉仪和CCD探测器的边界层测风激光雷达系统。利用标准大气参数和切合实际的激光雷达系统参数,对干涉仪进行优化设计模拟计算,得到了合理的参数,满足边界层 1m/s风速测量精度要求。; 关键词多普勒激光雷达直接探测多光束菲索干涉仪风速; Keywords Doppler lidar direct-detection multi-beam fizeau interferometer wind velocity; 分类号 TN958.98 [电子电信—信号与信息处理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名应用高精度旋转法的干涉仪检测误差校正被引量：4: 3; 作者韩冬松何昕魏仲慧李一芒; 机构中国科学院长春光学精密机械及物理研究所中国科学院大学中国人民解放军防化研究院; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第5期1297-1303,共7页; 基金国家自然科学基金资助项目(No.60902067) 吉林省重大科技攻关项目(No.112DGG001); 文摘针对利用高精度菲索型干涉仪和旋转平均法对光学元件进行面形绝对检测时对旋转精度的要求,提出了一种旋转误差校正模型来修正面形绝对检测中的旋转非对称项误差。首先基于经典N步旋转平均法理论,通过泽尼克多项式给出面形误差的数学表达形式;然后根据旋转角度所引起的误差修正泽尼克系数进而修正旋转非对称项误差;最后用数值仿真及实验的方法验证了校正模型的正确性。在旋转角度误差为0.1°条件下的仿真结果显示:N步旋转平均法所得面形误差RMS值为真实面形的10.13%,校正后面形误差RMS值为真实面形的6.79%;实验结果显示:N步旋转平均法所得面形误差RMS值为真实面形的10.28%,校正后面形误差RMS值为真实面形的5.77%。这些结果证明所提出的校正模型准确可靠,提高了旋转平均法的检测精度。; 关键词菲索干涉仪旋转平均法旋转非对称项面形误差面形绝对检测泽尼克多项式; Keywords Fizeau interferometer rotational averaging method rotationally asymmetric surfacedeviation absolute flatness detection Zernike polynomial; 分类号 TH744.3 [机械工程—光学工程] TB92 [机械工程—测试计量技术及仪器]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名干涉仪仪器传递函数的检测方法被引量：3: 4; 作者孙鸽马冬梅张海涛; 机构中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院大学; 出处《中国光学》 EI CAS 2014年第1期137-143,共7页; 基金国家科技重大专项资助课题(No.2012T1G0032); 文摘为了得到干涉仪的空间频率响应特性,开展了针对干涉仪的仪器传递函数的测评方法研究。建立了干涉仪成像系统的仪器传递函数的理论计算模型,利用光学设计软件仿真了菲索型干涉仪检测光路,计算并分析了该干涉系统的仪器传递函数的理论值。对基于特定频率点下的正弦位相板的方法测评干涉仪的仪器传递函数进行仿真分析,并与干涉仪的仪器传递函数的理论值进行了比对,其最大误差不超过0.6%,验证了该方法的正确性。; 关键词菲索型干涉仪干涉仪的仪器传递函数(ITF) 空间频率响应特性调制传递函数(MTF); Keywords Fizeau intefferometer Intefferometer transfer function （ITF） spatial frequency responds Modula-tion Transfer Function （MTF）; 分类号 TP60 [自动化与计算机技术—控制理论与控制工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名用于测量太赫兹的菲索波长计: 5; 作者西迪科李萍李卓杨苏辉; 机构北京理工大学信息科学技术学院; 出处《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2006年第z3期354-356,共3页; 文摘给出了菲索干涉仪的工作原理,研究了用于测量脉冲太赫兹源的菲索波长计的特性。理论上计算了菲索干涉仪的楔角和干涉条纹间距与被测太赫兹波长的关系,给出了关系曲线。优化了用于太赫兹探测时菲索干涉仪的楔角值。; 关键词太赫兹菲索干涉仪太赫兹波; Keywords Terahertz Fizeau interferometer Terahertz-wave; 分类号 O433.1 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名光学系统纵向色差的仿真及验证被引量：2: 6; 作者庄锦程张齐元王芳吴鹏王浩宇王全召吴泉英韩森; 机构苏州科技大学数理学院苏州维纳仪器有限责任公司上海理工大学光电信息与计算机工程学院; 出处《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2020年第5期1037-1046,共10页; 基金 “十三五”江苏省重点学科建设经费(20168765) 国家重点研发计划(2016YFF0101903)。; 文摘现有的焦距检测方法通常由于检测仪器光源波长与光学系统不完全匹配从而产生纵向色差影响检测结果。针对这一问题,研究光学系统纵向色差的变化规律,并确定在400 nm^1 000 nm波段用于表示其函数关系的Conrady公式和复消色差特性公式。根据光学系统近焦位置的离焦量与位置呈线性关系的特性,提出使用菲索干涉仪测量5种不同波长的焦距位置,获得单透镜和双胶合镜头的纵向色差曲线。实验结果表明:在400 nm^1 000 nm波段单色系统和消色差系统的纵向色差的函数关系分别符合Conrady公式和复消色差特性公式,研究结果为焦距的理论计算和精确检测提供了新的思路和参考。; 关键词纵向色差波长单色系统消色差系统菲索干涉仪; Keywords longitudinal chromatic aberration wavelength monochromatic system achromatic system Fizeau interferometer; 分类号 O435.1 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名PZT移相和CCD非线性对高精度球面面形检测的影响被引量：2: 7; 作者刘勇沈亦兵彭建华; 机构浙江大学光电信息工程学系; 出处《浙江大学学报（工学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第11期2116-2120,2127,共6页; 文摘为了提高球面面形的检测精度,对移相菲索干涉仪的球面测量方法中影响高精度球面面形检测的压电陶瓷晶体(PZT)移相误差和电荷耦合探测器(CCD)非线性误差进行探讨.通过理论分析和数值模拟的方法分别对PZT移相误差、CCD非线性误差进行具体分析,着重研究PZT移相误差和CCD非线性误差的综合影响.由五步移相算法,推导得出PZT和CCD的综合误差公式,对影响综合误差大小的主要因素如CCD二次非线性系数、条纹对比度和被检面曲率半径与口径的比值等进行分析.结果表明,提出的控制PZT和CCD综合误差影响的准则和相应的减小误差影响的方法,可以提高球面面形的检测精度.; 关键词菲索干涉仪 PZT移相误差 CCD非线性误差球面面形; Keywords Fizeau interferometer PZT phase-shifting error CCD nonlinear error spherical surfaces; 分类号 O436.1 [机械工程—光学工程] TH744 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	菲索干涉仪中精确移相的实现	苏志德史振广彭吉隋永新杨怀江	《中国光学》 EI CAS	2013	7	在线阅读下载PDF 职称材料
2	基于菲索干涉仪的边界层测风激光雷达研究	刘继桥陈卫标周军余婷胡企铨	《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心	2005	5	在线阅读下载PDF 职称材料
3	应用高精度旋转法的干涉仪检测误差校正	韩冬松何昕魏仲慧李一芒	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2015	4	在线阅读下载PDF 职称材料
4	干涉仪仪器传递函数的检测方法	孙鸽马冬梅张海涛	《中国光学》 EI CAS	2014	3	在线阅读下载PDF 职称材料
5	用于测量太赫兹的菲索波长计	西迪科李萍李卓杨苏辉	《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心	2006	0	在线阅读下载PDF 职称材料
6	光学系统纵向色差的仿真及验证	庄锦程张齐元王芳吴鹏王浩宇王全召吴泉英韩森	《应用光学》 CAS CSCD 北大核心	2020	2	在线阅读下载PDF 职称材料
7	PZT移相和CCD非线性对高精度球面面形检测的影响	刘勇沈亦兵彭建华	《浙江大学学报（工学版）》 EI CAS CSCD 北大核心	2012	2	在线阅读下载PDF 职称材料