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CVD金刚石薄膜涂层刀具切削性能研究 被引量：8
1
作者 魏昕 张凤林 +1 位作者 王成勇 匡同春 《金刚石与磨料磨具工程》 EI CAS 2000年第3期28-31,共4页
本文采用不同涂层工艺的CVD金刚石薄膜刀具切削高硅铝合金，观测比较刀具的磨损过程、磨损与破损形貌及工件加工表面粗糙度，分析CVD金刚石薄膜刀具切削高硅铝合金的磨损机理和失效原因。研究结果可为涂层工艺的改进提供了理论依据。
关键词 金刚石薄膜 涂层刀具 切削性能 cvd
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CVD金刚石薄膜涂层整体式刀具的制备与应用 被引量：18
2
作者 沈彬 孙方宏 +2 位作者 张志明 沈荷生 郭松寿 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2011年第1期1-5,共5页
化学气相沉积(chemical vapor deposition,CVD)金刚石薄膜具有硬度高、摩擦系数低、耐磨性强以及表面化学性能稳定等优异的机械及摩擦学性能,这使其在硬质合金工模具领域具有广阔的应用前景。本文采用热丝化学气相沉积法(hot filament c... 化学气相沉积(chemical vapor deposition,CVD)金刚石薄膜具有硬度高、摩擦系数低、耐磨性强以及表面化学性能稳定等优异的机械及摩擦学性能,这使其在硬质合金工模具领域具有广阔的应用前景。本文采用热丝化学气相沉积法(hot filament chemical vapor deposition,HFCVD),在具有复杂形状的硬质合金整体式铣刀表面沉积了一层均匀、光滑的金刚石薄膜,并采用石墨以及碳化硅铝基增强复合材料作为工件材料对比考察了金刚石薄膜涂层铣刀和未涂层硬质合金铣刀的切削性能。铣削实验结果显示,在硬质合金整体式铣刀表面沉积一层CVD金刚石薄膜能够大幅提高铣刀的耐磨性,从而提高硬质铣刀的寿命。 展开更多
关键词 cvd金刚石薄膜 热丝cvd法 金刚石薄膜涂层刀具 石墨 碳化硅铝基增强复合材料
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CVD金刚石薄膜涂层刀具精密切削表面质量的研究 被引量：1
3
作者 曾谊晖 刘忠 +1 位作者 罗飞霞 柏春旺 《工具技术》 北大核心 2004年第7期9-11,共3页
CVD金刚石薄膜刀具的表面粗糙度及加工过程中的切削用量是影响加工工件表面质量的关键因素。为改进CVD沉积工艺 ,减小金刚石薄膜表面粗糙度 ,提出了合理控制沉积气压的新工艺方法 ,并通过切削试验研究了不同沉积工艺下制备的CVD薄膜涂... CVD金刚石薄膜刀具的表面粗糙度及加工过程中的切削用量是影响加工工件表面质量的关键因素。为改进CVD沉积工艺 ,减小金刚石薄膜表面粗糙度 ,提出了合理控制沉积气压的新工艺方法 ,并通过切削试验研究了不同沉积工艺下制备的CVD薄膜涂层刀具和加工过程中不同切削用量对精密切削表面质量的影响。 展开更多
关键词 金刚石薄膜 涂层刀具 cvd 精密切削 表面质量 表面粗糙度 切削用量
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CVD金刚石薄膜涂层刀具精密切削表面质量的研究 被引量：1
4
作者 曾谊晖 刘忠 +1 位作者 罗飞霞 柏春旺 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2004年第9期98-99,102,共3页
CVD金刚石薄膜刀具的表面粗糙度和加工过程中的切削用量是影响加工工件表面质量的关键因素。为改进CVD沉积工艺,减小金刚石薄膜表面粗糙度,提出了合理控制沉积气压的新工艺方法,并通过切削试验研究了不同沉积工艺下制备的CVD薄膜涂层刀... CVD金刚石薄膜刀具的表面粗糙度和加工过程中的切削用量是影响加工工件表面质量的关键因素。为改进CVD沉积工艺,减小金刚石薄膜表面粗糙度,提出了合理控制沉积气压的新工艺方法,并通过切削试验研究了不同沉积工艺下制备的CVD薄膜涂层刀具和加工过程中不同切削用量对精密切削表面质量的影响。 展开更多
关键词 刀具 精密切削 表面质量 cvd金刚石 切削用量 加工工件 切削试验 薄膜涂层 新工艺 沉积工艺
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金刚石薄膜涂层刀具的发展与应用 被引量：5
5
作者 周灵平 靳九成 李绍禄 《工具技术》 北大核心 1997年第7期3-6,共4页
对CVD金刚石薄膜涂层刀具的制造方法、性能特点、切削试验及应用前景进行了综合分析及预测。
关键词 涂层刀具 cvd金刚石薄膜 金刚石
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纳米金刚石涂层刀具高速铣削7075铝合金的工艺参数优化 被引量：3
6
作者 邵伟平 张韬 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2022年第4期473-480,共8页
采用热丝CVD法制备纳米金刚石薄膜涂层刀具,利用场发射扫描电子显微镜表征薄膜的表面形貌,并用已制备的CVD金刚石涂层刀具,在无润滑干切条件下高速铣削7075铝合金工件,对其精铣工艺参数进行单因素及正交试验,探索精铣后工件的表面粗糙... 采用热丝CVD法制备纳米金刚石薄膜涂层刀具,利用场发射扫描电子显微镜表征薄膜的表面形貌,并用已制备的CVD金刚石涂层刀具,在无润滑干切条件下高速铣削7075铝合金工件,对其精铣工艺参数进行单因素及正交试验,探索精铣后工件的表面粗糙度变化规律并进行工艺参数优化。结果表明:随着主轴转速n从5000 r/min提高到8000 r/min,工件平均表面粗糙度在逐级缓慢降低;当进给速度v_(f)在1000~7000 mm/min范围内,随着v_(f)提高工件平均表面粗糙度快速增大,在v_(f)为7000 mm/min时,其值达1.790μm;当轴向切削深度a_(p)在0.1~0.4 mm范围内,随着a_(p)提高,工件平均表面粗糙度逐步增大,但a_(p)在0.2 mm之后其增大趋势变缓。对7075铝合金工件精铣表面粗糙度影响最大的是v_(f),其次为n,a_(p)的影响最弱;其精铣的最优参数组合是a_(p)=0.2 mm、v_(f)=1000 mm/min、n=8000 r/min,精铣后的表面粗糙度平均值为0.516μm。选用纳米金刚石薄膜涂层刀具精铣7075铝合金时,为得到较低的表面粗糙度,应选择高主轴转速、低进给速度、合适的轴向切削深度。 展开更多
关键词 切削加工工艺 cvd纳米金刚石薄膜涂层刀具 精加工 高速铣削 正交试验 优化组合
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微波等离子体刻蚀对WC-Co硬质合金基体金刚石薄膜附着力的影响 被引量：12
7
作者 刘学深 孙方宏 +1 位作者 陈明 张志明 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2001年第5期5-8,共4页
金刚石薄膜的附着力是影响CVD金刚石涂层刀具切削性能的关键因素。本文采用EACVD法在硬质合金 (YG6 )基体上沉积金刚石涂层 ;用Ar -H2 微波等离子对WC -Co衬底进行刻蚀处理 ,以改变基体表面与金刚石涂层间的界面结构 ,提高金刚石涂层的... 金刚石薄膜的附着力是影响CVD金刚石涂层刀具切削性能的关键因素。本文采用EACVD法在硬质合金 (YG6 )基体上沉积金刚石涂层 ;用Ar -H2 微波等离子对WC -Co衬底进行刻蚀处理 ,以改变基体表面与金刚石涂层间的界面结构 ,提高金刚石涂层的附着力 ;采用压痕法评估涂层附着力 ;借助SEM等观察刻蚀预处理方法对膜基界面的影响 ,并对此进行分析和讨论。 展开更多
关键词 cvd 金刚石涂层 微波等离子刻蚀 硬质合金 金刚石薄膜 附着力 涂层刀具
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硬质合金表面去钴和脱碳对金刚石薄膜粘结性能的影响 被引量：2
8
作者 孙心瑗 周灵平 +2 位作者 林良武 李德意 李绍禄 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第6期969-973,共5页
金刚石涂层的粘结性能是影响CVD金刚石薄膜涂层刀具使用寿命的关键因素。本文分别对硬质合金 (YG6 )表面进行酸蚀去钴和原位脱碳两种不同的预处理后 ,在热丝CVD系统中沉积金刚石薄膜 ,运用压痕试验评价金刚石薄膜与硬质合金基体的粘结... 金刚石涂层的粘结性能是影响CVD金刚石薄膜涂层刀具使用寿命的关键因素。本文分别对硬质合金 (YG6 )表面进行酸蚀去钴和原位脱碳两种不同的预处理后 ,在热丝CVD系统中沉积金刚石薄膜 ,运用压痕试验评价金刚石薄膜与硬质合金基体的粘结性能。结果表明 ,经过原位脱碳预处理的硬质合金表面上金刚石涂层的粘结性能比酸蚀去钴法提高了近一倍 ;同时分析了硬质合金表面酸蚀去钴对金刚石薄膜粘结性能的影响及其剥离机制 。 展开更多
关键词 硬质合金 表面 金刚石薄膜 金刚石涂层 刀具 cvd金刚石 原位 脱碳 粘结性能 薄膜涂层
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铣削玻璃纤维-碳纤维芳纶纸蜂窝板的刀具磨损研究 被引量：2
9
作者 于东民 刘菊东 +2 位作者 叶衔真 杨小璠 晋家伟 《现代制造工程》 CSCD 北大核心 2015年第7期108-112,共5页
以铣削玻璃纤维-碳纤维芳纶纸蜂窝板单因素试验条件为基础,研究切削参数对刀具磨损及加工质量的影响,分析菱齿化学气相沉淀(Chemical Vapor Deposition,CVD)金刚石薄膜涂层刀具(简称涂层刀具)的磨损机理,求出其后刀面磨损量的数学模型... 以铣削玻璃纤维-碳纤维芳纶纸蜂窝板单因素试验条件为基础,研究切削参数对刀具磨损及加工质量的影响,分析菱齿化学气相沉淀(Chemical Vapor Deposition,CVD)金刚石薄膜涂层刀具(简称涂层刀具)的磨损机理,求出其后刀面磨损量的数学模型。结果表明:在其他切削参数不变的条件下,随着主轴转速n、铣削宽度ae的增大,或工件进给速度vf的减小,刀具后刀面磨损量VB均相应增大,且对玻璃纤维的加工质量影响显著;相比于硬质合金刀具,涂层刀具后刀面磨损量小,加工质量好,其磨损形式以磨粒磨损和涂层脱落为主。最后,对试验数据进行回归分析,得到涂层刀具后刀面磨损量的数学模型。 展开更多
关键词 菱齿cvd金刚石薄膜涂层刀具 玻璃纤维-碳纤维芳纶纸蜂窝板 磨损机理 数学模型
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铣削玻璃纤维/碳纤维芳纶纸蜂窝板实验研究 被引量：1
10
作者 于东民 刘菊东 +2 位作者 叶衔真 杨小璠 晋家伟 《制造技术与机床》 北大核心 2015年第1期118-121,共4页
以玻璃纤维/碳纤维芳纶纸蜂窝板铣削试验为基础,研究了3种不同刀具和不同铣削宽度对刀具磨损和工件加工质量的影响。结果表明:随着铣削宽度的增加,刀具磨损都随之增加。其中,硬质合金铣刀磨损最严重,磨损量远大于金刚石涂层刀具。在切... 以玻璃纤维/碳纤维芳纶纸蜂窝板铣削试验为基础,研究了3种不同刀具和不同铣削宽度对刀具磨损和工件加工质量的影响。结果表明:随着铣削宽度的增加,刀具磨损都随之增加。其中,硬质合金铣刀磨损最严重,磨损量远大于金刚石涂层刀具。在切削参数相同的条件下,硬质合金铣刀的切削效果最差,而人字形和菱齿CVD金刚石薄膜涂层铣刀的切削效果明显改善,前者玻璃纤维的切削效果最好,后者碳纤维的切削效果最佳。 展开更多
关键词 玻璃纤维/碳纤维芳纶纸蜂窝板 cvd金刚石薄膜涂层刀具 刀具磨损 加工质量
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