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曝光台校正透镜修正效果的检测
1
作者
李刚
汪健如
应根裕
《真空科学与技术》
EI
CSCD
北大核心
2002年第4期255-259,共5页
检验曝光台校正透镜的修正效果 ,通常是通过在生产线上实际制管来进行。这种方法费时费力 ,并且存在各制作工序误差的积累。本文研制了一种装置 ,通过检测透镜修正前后光落点在荧光屏内表面的落点位移 ,直接检测修正效果 ,并且测量精度...
检验曝光台校正透镜的修正效果 ,通常是通过在生产线上实际制管来进行。这种方法费时费力 ,并且存在各制作工序误差的积累。本文研制了一种装置 ,通过检测透镜修正前后光落点在荧光屏内表面的落点位移 ,直接检测修正效果 ,并且测量精度能达到 3～ 5 μm。
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关键词
曝光台
校正透镜
修正效果
检测
落点位移
光斑图像
荫罩式彩色显像管
制备
光学曝光
在线阅读
下载PDF
职称材料
显示技术、器件及设备
2
《中国光学》
EI
CAS
1996年第1期70-71,共2页
TN141 96010491显示器件的现状及其发展=The current statusand development of display devices[刊,中]/应根裕,杜秉初(清华大学电子工程系)∥光学技术。—
关键词
显示技术
显示器件
光学技术
电子工程
清华大学
大屏幕显示
现状
荫罩式彩色显像管
发展概况
等离子体显示
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职称材料
题名
曝光台校正透镜修正效果的检测
1
作者
李刚
汪健如
应根裕
机构
清华大学电子工程系
出处
《真空科学与技术》
EI
CSCD
北大核心
2002年第4期255-259,共5页
文摘
检验曝光台校正透镜的修正效果 ,通常是通过在生产线上实际制管来进行。这种方法费时费力 ,并且存在各制作工序误差的积累。本文研制了一种装置 ,通过检测透镜修正前后光落点在荧光屏内表面的落点位移 ,直接检测修正效果 ,并且测量精度能达到 3～ 5 μm。
关键词
曝光台
校正透镜
修正效果
检测
落点位移
光斑图像
荫罩式彩色显像管
制备
光学曝光
Keywords
Error correction
Evaluation
Production
分类号
TN141.32 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
显示技术、器件及设备
2
出处
《中国光学》
EI
CAS
1996年第1期70-71,共2页
文摘
TN141 96010491显示器件的现状及其发展=The current statusand development of display devices[刊,中]/应根裕,杜秉初(清华大学电子工程系)∥光学技术。—
关键词
显示技术
显示器件
光学技术
电子工程
清华大学
大屏幕显示
现状
荫罩式彩色显像管
发展概况
等离子体显示
分类号
TN141 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
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1
曝光台校正透镜修正效果的检测
李刚
汪健如
应根裕
《真空科学与技术》
EI
CSCD
北大核心
2002
0
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职称材料
2
显示技术、器件及设备
《中国光学》
EI
CAS
1996
0
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