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一种高精度宽量程MEMS组合加速度计设计与优化
被引量：
4
1
作者
徐向阳
张伟
《现代电子技术》
2021年第12期35-38,共4页
为了实现大温差宽量程范围内高精度测量载体的加速度、并稳定输出模拟信号与数字信号,文中设计改进一种车载MEMS加速度计。首先通过分析两种加速度计在0g附近的测量精度,然后比对两种电源稳压芯片在大温差范围内的稳定性和两种数/模转...
为了实现大温差宽量程范围内高精度测量载体的加速度、并稳定输出模拟信号与数字信号,文中设计改进一种车载MEMS加速度计。首先通过分析两种加速度计在0g附近的测量精度,然后比对两种电源稳压芯片在大温差范围内的稳定性和两种数/模转换器的分辨率和精度,找出高低温变化时零位温度偏移过大的原因,最后设计多组对照实验进行验证。解决了高低温情况下零位输出温度偏移过大的问题。最终实现了-45~85℃全温范围内零偏变化小于5 mg,改进后的高低温相对常温的零位最大偏差均方差提高了21.42倍,满足了项目要求。
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关键词
加速度计
车载MEMS
芯片稳定性
转换器精度
温度偏移
测量精度
对照实验
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职称材料
题名
一种高精度宽量程MEMS组合加速度计设计与优化
被引量：
4
1
作者
徐向阳
张伟
机构
北京信息科技大学传感器重点实验室
出处
《现代电子技术》
2021年第12期35-38,共4页
基金
北京市教育委员会科技计划重点项目:基于微机械摆的旋转飞行器姿态稳定敏感技术研究(KZ201711232030)
北京市传感器重点实验室开放课题基金资助项目(2019XXX)。
文摘
为了实现大温差宽量程范围内高精度测量载体的加速度、并稳定输出模拟信号与数字信号,文中设计改进一种车载MEMS加速度计。首先通过分析两种加速度计在0g附近的测量精度,然后比对两种电源稳压芯片在大温差范围内的稳定性和两种数/模转换器的分辨率和精度,找出高低温变化时零位温度偏移过大的原因,最后设计多组对照实验进行验证。解决了高低温情况下零位输出温度偏移过大的问题。最终实现了-45~85℃全温范围内零偏变化小于5 mg,改进后的高低温相对常温的零位最大偏差均方差提高了21.42倍,满足了项目要求。
关键词
加速度计
车载MEMS
芯片稳定性
转换器精度
温度偏移
测量精度
对照实验
Keywords
accelerometer
vehicle-mounted MEMS
chip stability
converter accuracy
temperature offset
measurement accuracy
contrast experiment
分类号
TN379-34 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
一种高精度宽量程MEMS组合加速度计设计与优化
徐向阳
张伟
《现代电子技术》
2021
4
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