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题名干涉效应对ITO薄膜光学性能的影响
被引量：1
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作者
刘子健
赵亚丽
李晓云
罗湘玉
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机构
晋中学院数理学院
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出处
《大学物理》
2021年第3期72-78,共7页
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基金
山西省自然科学基金(201701D121007和201701D121050)
晋中学院博士基金启动项目(jzxybsjjxm2019039,jzxybsjjxm2019014和jzxybsjjxm2019005)
晋中学院教学改革创新项目(Jg202048)资助。
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文摘
为揭示ITO薄膜膜厚对透光率及色泽感影响规律,本文采用TFCalc光学薄膜设计软件计算了50~700 nm膜厚的ITO薄膜可见光透光率,平均透光率和人眼最为敏感波长550 nm的透光率与膜厚的关系.采用膜层干涉理论研究了ITO膜厚和入射角对其透光率和色泽感影响规律和物理机制.研究结果表明:对特定膜厚的ITO薄膜,其可见光随膜厚增加会出现系列透射峰,膜厚越大,对应透射峰也相应增加.ITO薄膜可见光透光率,平均透光率和特定波长550 nm的可见光透光率随膜厚的增加呈锯齿状;随膜厚增加,ITO薄膜的颜色呈现黄绿色、橙色、紫红色、青色、黄绿色周期性的变化.当ITO膜厚为300 nm,入射角从30°增加到60°时,薄膜色泽从暗紫色变为亮紫色.通过本论文的研究,建立了ITO薄膜和膜厚关系的色卡,这对工业控制及改善ITO薄膜的色泽提供技术支撑.
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关键词
ITO
可见光透光率
色泽感
膜厚
入射角度
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Keywords
ITO
visible transmittance
colouration
thickness of film
incident angle
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分类号
O4-3
[理学—物理]
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