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蓝宝石MEMS光纤动态压力传感器技术研究
1
作者
姜晓龙
窦雁巍
+3 位作者
程振乾
孙志强
毕佳宇
邵志强
《传感器与微系统》
北大核心
2025年第8期124-127,共4页
首次提出了一种蓝宝石MEMS光纤动态压力传感器。利用有限元分析软件设计了蓝宝石MEMS敏感结构,采用湿法腐蚀和直接键合工艺制作了蓝宝石F-P敏感结构。为了快速提取出压力信息,提出了采用基于光强-干涉自补偿解调方法对传感器进行解调。...
首次提出了一种蓝宝石MEMS光纤动态压力传感器。利用有限元分析软件设计了蓝宝石MEMS敏感结构,采用湿法腐蚀和直接键合工艺制作了蓝宝石F-P敏感结构。为了快速提取出压力信息,提出了采用基于光强-干涉自补偿解调方法对传感器进行解调。搭建了动态压力测试平台,在室温环境下对传感器执行了10Hz~1kHz的动态压力测试和固有频率测试。测试结果表明,在10Hz~1kHz频率范围内,传感器的幅值灵敏度相对误差优于±0.5%,传感器的固有频率为430kHz。
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关键词
动态压力传感器
湿法腐蚀
直接键合
自补偿解调方法
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职称材料
题名
蓝宝石MEMS光纤动态压力传感器技术研究
1
作者
姜晓龙
窦雁巍
程振乾
孙志强
毕佳宇
邵志强
机构
黑龙江省微纳敏感器件与系统重点实验室黑龙江大学
中国电子科技集团公司第四十九研究所
出处
《传感器与微系统》
北大核心
2025年第8期124-127,共4页
文摘
首次提出了一种蓝宝石MEMS光纤动态压力传感器。利用有限元分析软件设计了蓝宝石MEMS敏感结构,采用湿法腐蚀和直接键合工艺制作了蓝宝石F-P敏感结构。为了快速提取出压力信息,提出了采用基于光强-干涉自补偿解调方法对传感器进行解调。搭建了动态压力测试平台,在室温环境下对传感器执行了10Hz~1kHz的动态压力测试和固有频率测试。测试结果表明,在10Hz~1kHz频率范围内,传感器的幅值灵敏度相对误差优于±0.5%,传感器的固有频率为430kHz。
关键词
动态压力传感器
湿法腐蚀
直接键合
自补偿解调方法
Keywords
dynamic pressure sensor
wet etching
direct bonding
self compensation demodulation method
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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作者
出处
发文年
被引量
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1
蓝宝石MEMS光纤动态压力传感器技术研究
姜晓龙
窦雁巍
程振乾
孙志强
毕佳宇
邵志强
《传感器与微系统》
北大核心
2025
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