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基于液滴锡靶LPP-EUVL光源多层膜的溅射损伤研究
1
作者
吴涛
姚拴
《华中师范大学学报（自然科学版）》
CAS
北大核心
2017年第2期162-167,共6页
基于Navier-Stokes方程的自相似解,研究了最小质量限制液滴Sn靶激光等离子高能离子的时空分布特性,并将该结果应用于高能离子碎屑刻蚀导致的极紫外光刻(EUVL)光源收集镜寿命的评估.对于不同的绝热膨胀指数γ=1.67、1.3和1.1,数值计算了...
基于Navier-Stokes方程的自相似解,研究了最小质量限制液滴Sn靶激光等离子高能离子的时空分布特性,并将该结果应用于高能离子碎屑刻蚀导致的极紫外光刻(EUVL)光源收集镜寿命的评估.对于不同的绝热膨胀指数γ=1.67、1.3和1.1,数值计算了激光等离子体平均电离度、等离子体羽辉尺寸、羽辉膨胀速率和离子动能随时间的演化,并得到了高能Sn离子碎屑通量的角分布及其轰击溅射Ru、Mo和Si膜的溅射产额及溅射刻蚀速率.研究发现,激光液滴靶等离子体中的高能Sn离子对Mo,Si多层膜的溅射刻蚀率的角分布满足cos3θ的关系.对EUVL光源而言,为了延长EUV收集镜寿命,降低激光等离子体电离度和采用最小质量限制液滴Sn靶是一条有效的途径.
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关键词
激光等离子体
自相似膨胀
离子碎屑
溅射产额
极紫外光刻
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职称材料
题名
基于液滴锡靶LPP-EUVL光源多层膜的溅射损伤研究
1
作者
吴涛
姚拴
机构
武汉工程大学理学院
出处
《华中师范大学学报（自然科学版）》
CAS
北大核心
2017年第2期162-167,共6页
基金
国家自然科学基金项目(11304235)
武汉工程大学校长基金项目(2014067)
武汉工程大学科学研究基金项目(K201310)
文摘
基于Navier-Stokes方程的自相似解,研究了最小质量限制液滴Sn靶激光等离子高能离子的时空分布特性,并将该结果应用于高能离子碎屑刻蚀导致的极紫外光刻(EUVL)光源收集镜寿命的评估.对于不同的绝热膨胀指数γ=1.67、1.3和1.1,数值计算了激光等离子体平均电离度、等离子体羽辉尺寸、羽辉膨胀速率和离子动能随时间的演化,并得到了高能Sn离子碎屑通量的角分布及其轰击溅射Ru、Mo和Si膜的溅射产额及溅射刻蚀速率.研究发现,激光液滴靶等离子体中的高能Sn离子对Mo,Si多层膜的溅射刻蚀率的角分布满足cos3θ的关系.对EUVL光源而言,为了延长EUV收集镜寿命,降低激光等离子体电离度和采用最小质量限制液滴Sn靶是一条有效的途径.
关键词
激光等离子体
自相似膨胀
离子碎屑
溅射产额
极紫外光刻
Keywords
laser produced plasma
self-similar expansion
ion debris
sputtering yield
EUVL
分类号
O539 [理学—等离子体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
基于液滴锡靶LPP-EUVL光源多层膜的溅射损伤研究
吴涛
姚拴
《华中师范大学学报（自然科学版）》
CAS
北大核心
2017
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