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具有自由悬浮敏感膜的硅微机械电容式麦克风的设计与仿真计算
被引量：
2
1
作者
王伟
董健
计时鸣
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第11期1571-1575,共5页
提出了一种具有自由悬浮敏感膜和带孔铜底板的硅微机械电容式麦克风。采用低压化学汽相淀积工艺制作而成的复合敏感膜一端固定于硅基,其余部分处于自由悬浮状态,可以释放敏感膜的内应力。底板采用铜电镀技术制作,底板上呈蜂窝状分布的...
提出了一种具有自由悬浮敏感膜和带孔铜底板的硅微机械电容式麦克风。采用低压化学汽相淀积工艺制作而成的复合敏感膜一端固定于硅基,其余部分处于自由悬浮状态,可以释放敏感膜的内应力。底板采用铜电镀技术制作,底板上呈蜂窝状分布的圆形通气孔用来调节敏感膜与底板间的空气压膜阻尼。仿真计算表明在5V偏置电压下麦克风灵敏度为10.62mV/Pa,工作稳定最大电压为9.7V,工作频率带宽为0～10.57kHz。分析结果表明该微机械麦克风能满足市场需求。
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关键词
硅微机械电容式麦克风
自由悬浮敏感膜
空气压
膜
阻尼
灵敏度
频率带宽
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职称材料
题名
具有自由悬浮敏感膜的硅微机械电容式麦克风的设计与仿真计算
被引量：
2
1
作者
王伟
董健
计时鸣
机构
浙江工业大学特种装备制造与先进加工技术教育部重点实验室
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第11期1571-1575,共5页
基金
浙江省自然科学基金资助(Y107445)
浙江省重中之重学科开放基金资助(20060313)
文摘
提出了一种具有自由悬浮敏感膜和带孔铜底板的硅微机械电容式麦克风。采用低压化学汽相淀积工艺制作而成的复合敏感膜一端固定于硅基,其余部分处于自由悬浮状态,可以释放敏感膜的内应力。底板采用铜电镀技术制作,底板上呈蜂窝状分布的圆形通气孔用来调节敏感膜与底板间的空气压膜阻尼。仿真计算表明在5V偏置电压下麦克风灵敏度为10.62mV/Pa,工作稳定最大电压为9.7V,工作频率带宽为0～10.57kHz。分析结果表明该微机械麦克风能满足市场需求。
关键词
硅微机械电容式麦克风
自由悬浮敏感膜
空气压
膜
阻尼
灵敏度
频率带宽
Keywords
silicon condenser micromachined microphone
a free floating sensing diaphragm
air squeeze-film damping
sensitivity
frequency bandwidth
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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出处
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1
具有自由悬浮敏感膜的硅微机械电容式麦克风的设计与仿真计算
王伟
董健
计时鸣
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2009
2
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