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题名LGS声学特性分析及自然单向性抑制方法
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作者
孙铭辰
胡梵冰
程利娜
王文
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机构
中国科学院声学研究所
中国科学院大学
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出处
《压电与声光》
北大核心
2024年第6期890-893,共4页
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基金
国家重点研发计划资助项目(2024YFE0199800)。
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文摘
(0°,138.5°,26.5°)硅酸镓镧(LGS)基底存在的自然单向性导致声能叠加不完全,出现了能量泄露。分析了表面负载不同厚度的Pt薄层时,(0°,138.5°,26.5°)LGS衬底的声学特性变化,结果表明,Pt薄层的归一化厚度在2%~3%时,LGS基底慢度曲线对称性显著改善。采用有限元法,结合三维周期性模型频响曲线验证了理论计算结果的有效性,并进一步分析了归一化厚度为2.5%~2.9%的Pt/LGS频响结果。结果表明,h/λ=2.7%和2.8%时第二谐振峰完全消失,基底自然单向性被完全抑制。为抑制(0°,138.5°,26.5°)LGS基底自然单向性提供了最佳Pt电极厚度,能有效抑制双谐振峰的出现,减少能量泄露,为高性能谐振器设计提供了理论基础。
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关键词
硅酸镓镧(LGS)
声表面波(SAW)
谐振器
自然单向性
有限元法
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Keywords
langasite(LGS)
surface acoustic wave(SAW)
resonator
natural unidirectionality
finite element method
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分类号
TN384
[电子电信—物理电子学]
TN65
[电子电信—电路与系统]
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