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自支撑金刚石厚膜表面外延掺硼金刚石薄膜研究 被引量:2
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作者 魏俊俊 李成明 +4 位作者 文星凯 张建军 刘金龙 陈良贤 黑立富 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第12期3433-3438,共6页
采用微波等离子体化学气相沉积技术(MPCVD),在抛光厚度0.5 mm的高热导率自支撑金刚石厚膜表面沉积厚度10μm掺硼金刚石薄膜,通过热导率测试仪、扫描电子显微镜、激光拉曼光谱、X射线光电子能谱以及四探针仪等测试手段对材料的热导率、... 采用微波等离子体化学气相沉积技术(MPCVD),在抛光厚度0.5 mm的高热导率自支撑金刚石厚膜表面沉积厚度10μm掺硼金刚石薄膜,通过热导率测试仪、扫描电子显微镜、激光拉曼光谱、X射线光电子能谱以及四探针仪等测试手段对材料的热导率、形貌及微观质量、表面键合状态及导电性能等进行分析。结果表明,优化工艺后在自支撑金刚石厚膜表面外延形成了质量优异,结合力佳的掺硼金刚石薄膜,其电阻率最低为1.7×10^(-2)Ω·cm。同时,鉴于界面同质外延特性以及大尺寸晶粒特点,整体材料的热导率可高达1750 W/(m·K),显示这种层状复合材料良好的整体导热性能及表面导电性能。 展开更多
关键词 自支撑金刚石厚膜 掺硼金刚石 同质外延 热导率 电导率
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自支撑金刚石厚膜片的HFCVD法制备及摩擦学特性 被引量:1
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作者 冯伟 杨斌 卢文壮 《华南理工大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第11期97-102,共6页
探讨了自支撑金刚石厚膜片的晶体生长模型,并依据模型通过热丝化学气相沉积(HFCVD)法制备了厚度为0.6 mm的自支撑金刚石厚膜片.采用球-盘式摩擦磨损试验机进行摩擦学实验,借助扫描电镜、拉曼光谱仪等研究了自支撑金刚石厚膜片分别与钢... 探讨了自支撑金刚石厚膜片的晶体生长模型,并依据模型通过热丝化学气相沉积(HFCVD)法制备了厚度为0.6 mm的自支撑金刚石厚膜片.采用球-盘式摩擦磨损试验机进行摩擦学实验,借助扫描电镜、拉曼光谱仪等研究了自支撑金刚石厚膜片分别与钢球、陶瓷球以及铝球组成对偶副时的摩擦学特性.结果表明:铝球做对偶球时平均摩擦系数最大,在对磨初始阶段很快出现了金属转移层;陶瓷球做对偶球时摩擦系数最小,球表面物质的微观形貌呈微细碎屑状分布;对磨后自支撑金刚石厚膜片的磨损量非常小,是良好的耐磨材料. 展开更多
关键词 热丝化学气相沉积法 自支撑金刚石厚膜 摩擦系数 磨损
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晶面及液体环境对氧化镓研磨过程摩擦学特性的影响研究 被引量:1
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作者 冯伟 周海 +5 位作者 黄传锦 徐晓明 徐彤彤 夏斯伟 赵雪雅 卢文壮 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第5期192-197,共6页
目的探讨具有各向异性的氧化镓晶片不同晶面的研磨加工差异。方法通过化学气相沉积法制备了高质量的自支撑金刚石厚膜,采用扫描电镜及拉曼光谱对其进行表征,将其作为摩擦副材料,在三种不同液体环境下研磨β-Ga_(2)2O_(3)晶片的(100)晶面... 目的探讨具有各向异性的氧化镓晶片不同晶面的研磨加工差异。方法通过化学气相沉积法制备了高质量的自支撑金刚石厚膜,采用扫描电镜及拉曼光谱对其进行表征,将其作为摩擦副材料,在三种不同液体环境下研磨β-Ga_(2)2O_(3)晶片的(100)晶面及(010)晶面,比较摩擦学特性的差别。借助三维扫描系统、扫描电镜及EDS能谱,观察与分析了加工后的氧化镓及自支撑金刚石厚膜的表面形貌、成分及磨损机理。结果 (100)晶面及(010)晶面在去离子水环境中的摩擦系数最大,而当液体环境为乙二醇及三乙醇胺溶液时,研磨过程中形成了很薄的化学反应膜,减少了犁沟效应,摩擦系数较小。且在液体环境为三乙醇胺时,加工后氧化镓晶片的(100)晶面及(010)晶面的粗糙度最小。研磨加工后,(010)晶面比(100)晶面的表面粗糙度(Ra)小。结论 (010)晶面与(100)晶面在不同液体环境下研磨加工存在一定的差异性,(010)晶面比(100)晶面更易获得较好的表面质量。加工过程中,磨损机理为先产生二体磨损,一段时间后再形成三体磨粒磨损。 展开更多
关键词 氧化镓晶体 晶面 研磨 自支撑金刚石厚膜 摩擦系数
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