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低电压缴反射镜型微机械光开关的设计与制作
被引量：
1
1
作者
董玮
阮圣平
+7 位作者
张歆东
刘彩霞
贾翠萍
潘建旋
张龙
孙东明
纪平
陈维友
《高技术通讯》
EI
CAS
CSCD
2003年第7期46-49,共4页
利用 (1 0 0 )硅片和偏 2 5°的 (1 1 1 )硅片制作了静电驱动扭臂结构微反射镜型 2× 2光开关。微反射镜、自对准V型槽和扭臂结构是在 (1 0 0 )硅片上制作的 ,反射镜与光纤槽之间靠晶向自对准 ,反射镜与光轴垂直度较好。在偏 2...
利用 (1 0 0 )硅片和偏 2 5°的 (1 1 1 )硅片制作了静电驱动扭臂结构微反射镜型 2× 2光开关。微反射镜、自对准V型槽和扭臂结构是在 (1 0 0 )硅片上制作的 ,反射镜与光纤槽之间靠晶向自对准 ,反射镜与光轴垂直度较好。在偏 2 5°的 (1 1 1 )硅片上制作倾斜下电极结构 ,实验测得的 pull in电压为 1 3 2V ,几乎比平面下电极的 pull in电压降低一半。采用准直光纤耦合 ,开关的插入损耗小于 1 4dB ,串话小于 - 5 0dB。
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关键词
微机械
光开关
微反射镜
硅
静电驱动
扭臂结构
倾斜下电极
自对准v型糟
制作方法
全光网络
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
低电压缴反射镜型微机械光开关的设计与制作
被引量：
1
1
作者
董玮
阮圣平
张歆东
刘彩霞
贾翠萍
潘建旋
张龙
孙东明
纪平
陈维友
机构
吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室
出处
《高技术通讯》
EI
CAS
CSCD
2003年第7期46-49,共4页
基金
863计划 ( 2 0 0 2AA3 12 0 2 3 )
国家自然科学基金 ( 6993 70 10 )
吉林省科学计划发展 ( 2 0 0 10 3 19)资助项目
文摘
利用 (1 0 0 )硅片和偏 2 5°的 (1 1 1 )硅片制作了静电驱动扭臂结构微反射镜型 2× 2光开关。微反射镜、自对准V型槽和扭臂结构是在 (1 0 0 )硅片上制作的 ,反射镜与光纤槽之间靠晶向自对准 ,反射镜与光轴垂直度较好。在偏 2 5°的 (1 1 1 )硅片上制作倾斜下电极结构 ,实验测得的 pull in电压为 1 3 2V ,几乎比平面下电极的 pull in电压降低一半。采用准直光纤耦合 ,开关的插入损耗小于 1 4dB ,串话小于 - 5 0dB。
关键词
微机械
光开关
微反射镜
硅
静电驱动
扭臂结构
倾斜下电极
自对准v型糟
制作方法
全光网络
Keywords
Optical switch, Reflecti
v
e micromirror, Electrostatic actuator, Slanted under electrode
分类号
TH703 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
低电压缴反射镜型微机械光开关的设计与制作
董玮
阮圣平
张歆东
刘彩霞
贾翠萍
潘建旋
张龙
孙东明
纪平
陈维友
《高技术通讯》
EI
CAS
CSCD
2003
1
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职称材料
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